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[实用新型]一种基于MPCVD法制备金刚石膜的基片台-CN202123132689.8有效
发明人：李庆利;甄西合;赵丽媛;刘得顺;朱逢锐;徐悟生;刘畅;徐超;张钦辉 -专利权人： 河南微米光学科技有限公司
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶体合成技术领域，具体的涉及一种基于MPCVD法制备金刚石膜的基片台，包括钼托，以及放置在钼托上的沉积底片，所述钼托的上端面设置有用于放置沉积底片的生长槽，所述钼托的下端面设置有环形槽，环形槽的中心位置设置有中心凸起，中心凸起的高度与环形槽的边缘的高度相同，所述环形槽内设置有不少于一块的带有中心圆孔的环形块，环形块的中心圆孔的内径大于中心凸起的直径，环形块的外径小于环形槽的内径，环形块的高度与中心凸起的高度相同。采用底部环形槽与环形块的配合，有利于提高膜的表面温度均与性，从而提高膜的质量。
一种基于 mpcvd 法制金刚石基片台

[实用新型]一种制备超长晶体的组合式坩埚及生长炉-CN202121892235.8有效
发明人：徐悟生;朱逢锐;周方;彭明林;牛沈军;刘畅;熊加丽 -专利权人： 河南微米光学科技有限公司
申请日： 2021-08-13 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种制备超长晶体的组合式坩埚，包括坩埚主体，所述坩埚主体顶部叠加设置有料仓套，所述料仓套顶部设置有坩埚盖，所述坩埚主体内腔与料仓套内壁配合形成生长仓，所述生长仓内从下至上层叠设置有底模具和延长模具，所述底模具上开设有生长槽，所述延长模具上开设有与生长槽匹配的延长生长孔，所述延长模具与坩埚盖之间的料仓套内设置有原料腔；还提供一种采用上述坩埚的生长炉。本实用新型拆装便捷，生长品质高，且能够降低使用成本。
一种制备超长晶体组合式坩埚生长

[实用新型]一种基于坩埚下降法生长晶体的自动控制装置-CN202122173125.2有效
发明人：徐悟生;张磊;甄西合;徐超;赵丽媛;朱逢锐 -专利权人： 河南微米光学科技有限公司
申请日： 2021-09-09 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶体材料生长领域，具体的涉及一种基于坩埚下降法生长晶体的自动控制装置，包括联动控制模块：用于通过时间计算调控晶体生长过程中温度与坩埚垂直运动之间的关系的信息控制中枢；晶体生长模块：温度调控模块：用于接收联动控制模块信号对炉体加热并对炉体内的温度进行调控，并向联动控制模块发送温度信号，或作为温度控制的输入输出模块组成；坩埚运动模块：用于接收联动控制模块信号，并控制坩埚自动进行垂直运动，并反馈给联动控制模块当前运行的位置、速率和方向相关信息，通过自动控制装置及控制方法，晶体生长操作控制更加简单方便、自动化程度高。
一种基于坩埚下降生长晶体自动控制装置

[实用新型]用于MPCVD设备的腔内气流场调节装置-CN202122106617.X有效
发明人：李庆利;甄西合;赵丽媛;刘得顺;朱逢锐;徐悟生;刘畅 -专利权人： 河南微米光学科技有限公司
申请日： 2021-09-02 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： C30B25/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及金刚石生产技术领域，特别涉及一种用于MPCVD设备的腔内气流场调节装置，包括微波等离子体反应器，基片台，钼托，所述基片台设置有贯穿基片台，连接微波等离子体反应器的内腔体与微波等离子体反应器外侧的抽气管道，还包括设置在基片台顶端，用于放置钼托的衬底支架，所述衬底支架包括支架主体，以及在支架主体顶端开设的用于放置钼托的钼托槽，在所述钼托槽底面的中心处开设有贯穿支架主体并与抽气管道对接的抽气孔，在所述抽气孔周边的支架主体上设置有以抽气孔为中心，向钼托槽边沿延伸的均流槽。通过在衬底支架的支架主体上设置钼托槽及均气槽和与抽气管道对接的抽气孔，使基片台上方的气体均匀的被抽出。
用于 mpcvd 设备气流调节装置

[实用新型]一种基于L形支撑结构件的热释电红外传感器-CN202121970325.4有效
发明人：方聪;甄西合;赵丽媛;朱逢锐;徐悟生;张钦辉 -专利权人： 河南微米光学科技有限公司
申请日： 2021-08-20 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： G01J5/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于L形支撑结构件的热释电红外传感器，包括红外窗帽、金属管座、信号处理电路板、第一红外敏感元、第二红外敏感元、L形支撑件和两条金属引线，所述红外窗帽的罩设固定在金属管座上并配合形成密封空间，所述信号处理电路板设置在密封空间的金属管座表面，所述信号处理电路板上设置有L形支撑件，所述第一红外敏感元设置在L形支撑件竖向的顶部，所述第二红外敏感元设置在L形支撑件横向的表面，所述第一和第二红外敏感元上表面均通过对应的金属引线与信号处理电路板电连接。本实用新型具有更简单的结构和更高的生产效率。
一种基于支撑结构件热释电红外传感器

[实用新型]一种镀膜氟化钙中远红外分光镜及辅助检测工装-CN202122034818.3有效
发明人：刘畅;甄西合;赵丽媛;朱逢锐;徐悟生;姜劭华;朱逢旭 -专利权人： 河南微米光学科技有限公司
申请日： 2021-08-27 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： G02B27/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种镀膜氟化钙中远红外分光镜，包括氟化钙基板，所述氟化钙基板一表面上镀有金属膜，所述金属膜表面镀有保护膜，所述金属膜材质为镍，所述保护膜材质为氟化镁；还公开一种辅助检测工装，快速进行分光性能检测。本实用新型分光范围光，能够满足较宽波段范围的分光使用。
一种镀膜氟化钙红外分光镜辅助检测工装

[实用新型]一种可用于光学冷加工的低阻低压力顶针-CN202122160476.X有效
发明人：张钦辉;张学宇;朱逢旭;刘畅;王玉洁;赵玲;姜劭华;张可生 -专利权人： 河南微米光学科技有限公司
申请日： 2021-09-08 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可用于光学冷加工的低阻低压力顶针，包括轴承套，所述轴承套另一端上设置有可拆卸的笔头，所述轴承套另一端上设置有密封盖，所述轴承套内设置有两个角接触球轴承，两个角接触球轴承的内圈与顶针杆一端固定连接，所述顶针杆另一端穿过轴承套至外部设置。本实用新型结构简单，体积小，转动顺畅，有效降低磨损，提高使用寿命。
一种用于光学冷加工低阻低压力顶针

[实用新型]一种镀制红外用类金刚石膜及增透膜的辅助加工装置-CN202122034962.7有效
发明人：刘畅;甄西合;赵丽媛;朱逢锐;徐悟生;姜劭华;熊加丽 -专利权人： 河南微米光学科技有限公司
申请日： 2021-08-27 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种镀制红外用类金刚石膜及增透膜的辅助加工装置，包括母工装和多个子工装，所述母工装上开设有放置子工装的通孔，所述子工装中部设置有台阶孔，所述台阶孔的大端与工件外周匹配，所述台阶孔的小端表面设置为倒角面，子工装设置在母工装的通孔内并通过定位锁紧机构固定。本实用新型镀制方便，无需翻面，大大减少减少划痕的产生。
一种镀制红外用金刚石增透膜辅助加工装置

[发明专利]一种基于坩埚下降法生长晶体的自动控制装置及控制方法-CN202111054199.2在审
发明人：徐悟生;张磊;朱逢锐;徐超;赵丽媛;甄西合 -专利权人： 河南微米光学科技有限公司
申请日： 2021-09-09 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本发明涉及晶体材料生长领域，具体的涉及一种基于坩埚下降法生长晶体的自动控制装置及控制方法，包括以下步骤：步骤一：将晶体生长的原料放入坩埚中，控制垂直升降机构运行到原始位置；步骤二：通过信息输入器输入晶体生长工艺参数；步骤三：开启自动运行控制器与伺服控制器进行通讯，将相应参数输送到伺服控制器，通过伺服控制器对伺服电机进行控制；步骤四：温度感应器和位移感应器的实时数据被信息采集器实时采集；步骤五：程序运行结束后，待炉体内温度降至室温，通过垂直升降机构调节坩埚在炉体内的位置，将晶体取出。通过自动控制装置及控制方法，晶体生长操作控制更加简单方便、自动化程度高。
一种基于坩埚下降生长晶体自动控制装置控制方法

[发明专利]用于MPCVD设备的腔内气流场调节装置及使用方法-CN202111025245.6在审
发明人：李庆利;甄西合;赵丽媛;刘得顺;朱逢锐;徐悟生;刘畅 -专利权人： 河南微米光学科技有限公司
申请日： 2021-09-02 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： C30B25/16 文献下载
摘要：本发明涉及金刚石生产技术领域，特别涉及一种用于MPCVD设备的腔内气流场调节装置及使用方法，步骤如下：步骤一：加工微波等离子体反应器；步骤二：加工基片台；步骤三：加工衬底支架；步骤四：对反应腔室进行抽真空处理；步骤五：通入氢气，激发产生氢等离子体球；步骤六：调节基片台高真空微调阀和主气路高真空微调阀逐步升高气压并且同时提高微波功率，使微波功率和内腔体气压分别保持恒定比例；步骤七：进行金刚石沉积生长；步骤八：通入冷却水在真空环境下冷却；步骤九：对内腔体抽真空至本底真空后保存。通过在衬底支架的支架主体上设置钼托槽及均气槽和与抽气管道对接的抽气孔，使基片台上方的气体均匀的被抽出。
用于 mpcvd 设备气流调节装置使用方法

[实用新型]一种矩形件表面处理用游星轮及研磨机-CN202120671102.1有效
发明人：刘畅;张钦辉;王玉洁;朱逢旭;徐超;朱逢锐;赵丽媛;徐悟生;杨春晖 -专利权人： 河南微米光学科技有限公司
申请日： 2021-04-01 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： B24B37/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种矩形件表面处理用游星轮，包括轮盘本体，所述轮盘本体外周上设置有齿牙，所述轮盘本体表面围绕中心均匀开设有多个圆形从动孔，所述圆形从动孔内设置有圆形从动轮，所述圆形从动轮中部开设有矩形放置槽，所述矩形放置槽的四个边角上设置有避让槽；所述圆形从动孔的内壁于圆形从动轮的外壁之间还设置有下承托部和上承托部，所述下承托部和上承托部沿轮盘本体的厚度方向依次设置，所述下承托部设置在圆形从动孔的内壁上，所述上承托部设置在圆形从动轮的外壁上；还公开一种研磨机。本实用新型能够有效保证研磨效果和研磨质量。
一种矩形表面处理游星研磨机

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