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- [实用新型]一种石英底座保温桶-CN202221217618.X有效
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李光华;朱海艳
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沈阳芯贝伊尔半导体科技有限公司
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2022-05-20
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2022-09-06
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B65D81/38
- 本实用新型提供了一种石英底座保温桶，属于石英制品技术领域；石英底座保温桶包括：底座、保温桶本体、隔板、丝杠、升降板、连接杆、支撑板、固定板、操作轴、第一锥齿轮和第二锥齿轮；采用上述结构，通过转动操作轴以带动丝杠转动，并通过丝杠带动支撑板和固定板向上移动，以便于晶圆片插入固定板上的固定槽内，从而实现无需将固定板整体从保温桶本体内取出并放置特定位置上，即可实现将晶圆片插入固定板上的固定槽内。由于不需要将固定板放置特定位置上，因此减少晶圆片插入固定板上，将固定板放置指定位置上时时所占用的空间，从而提升产品的适用性。
- 一种石英底座保温桶
- [实用新型]石英保温桶-CN202121157533.2有效
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李光华
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沈阳芯贝伊尔半导体科技有限公司
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2021-05-27
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2022-01-18
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B65D25/10
- 本实用新型提供了一种石英保温桶，石英保温桶包括：壳体、盖体、滑槽、支板、横板、手柄、固定板、容纳槽、限位槽和隔离罩；壳体的一侧设置有开口；盖体盖合在壳体的开口端，盖体的一端与壳体转动连接，且盖体的另一端与壳体相连接；两个滑槽平行设置在壳体底面上；支板垂直于壳体的底面，两个支板分别嵌入两个滑槽内，两个支板分别与两个滑槽滑动连接；横板垂直于支板，且横板的底面同时与两个支板相连接；手柄设置在横板靠近盖体的侧面上；固定板垂直于横板，两个固定板平行设置，且两个固定板同时与横板的顶面相连接；至少四个容纳槽分别对称设置在两个固定板相对的两个侧面上，容纳槽向背离盖体的方向延伸，且容纳槽向靠近壳体的方向凹陷。
- 石英保温桶
- [实用新型]一种石英杯-CN202121159535.5有效
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朱海艳
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沈阳芯贝伊尔半导体科技有限公司
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2021-05-27
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2022-01-18
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B01J19/24
- 本实用新型公开了一种石英杯，所述石英杯配合转料管和接料管一同使用，所述石英杯包括反应杯，所述反应杯为上表面开口的中空腔体，所述反应杯的内侧壁上设有安放环，所述安放环的上端面设有安置台，所述安置台上放有反应物，所述安置台包括架设环，所述支撑板的设置可便于对反应杯进行支撑和固定；所述安置槽的设置可便于在支撑板上放置反应杯，提高反应杯放置在支撑板上的稳定性；四个所述支撑杆的设置可便于对支撑板进行支撑和固定；所述底板的设置一是可便于对四个支撑杆进行支撑和固定，二是在装置进行安置或安放时提高装置的稳定性；本实用新型结构简单，操作方便，实用性强，可推广使用。
- 一种石英
- [实用新型]稳定的石英承载装置-CN202121165480.9有效
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朱海艳
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沈阳芯贝伊尔半导体科技有限公司
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2021-05-27
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2022-01-18
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H01L21/687
- 本实用新型提供了一种稳定的石英承载装置，稳定的石英承载装置放置在桌面上，稳定的石英承载装置包括：底板、通孔、侧板、手柄、第一限位杆、第一卡槽、第二限位杆、第二卡槽和加固杆；底板上设置通孔，确保装置透气性的同时，增大装置与底板的接触面积，使点支撑变为面支撑，从而避免接触点过小，装置易翻转、倾倒的问题产生，提高装置的稳定性。通过设置第一限位杆和第二限位杆对圆晶片进行支撑，避免圆晶片从装置上掉落，确保圆晶片的稳定性；通过设置第一卡槽和第二卡槽，对圆晶片进行限位，确保每个圆晶片之间的间距固定，避免圆晶片相互接触、碰撞，确保圆晶片加工时的稳定性，保证加工正常进行，保证圆晶片的生产质量，保证产生效率。
- 稳定石英承载装置
- [实用新型]一种石英点火装置-CN202121157517.3有效
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李光华
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沈阳芯贝伊尔半导体科技有限公司
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2021-05-27
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2021-12-07
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F23Q2/16
- 本实用新型公开了一种石英点火装置，包括本体和导气管，本体两端分别连接第一罩盖和第二罩盖，导气管贯穿第二罩盖连接软管接头，软管接头连接高温软管，高温软管连接喷火枪头，喷火枪头和软管接头之间设有第一复位弹簧，本体上滑动连接滑杆，滑杆上连接推杆，推杆右端连接第一光杆，本体上设有通槽，第一光杆贯穿通槽连接第二光杆，第二光杆贯穿第二罩盖转动连接铰接杆一端，铰接杆另一端转动连接在喷火枪头表面，第二罩盖和第一光杆之间连接第二复位弹簧，相比较传统的点火装置，该装置通过推拉推杆可改变喷火枪头的喷火方向，方便人们的使用。
- 一种石英点火装置
- [实用新型]一种可调节存放空间的石英舟-CN202121157521.X有效
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朱海艳
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沈阳芯贝伊尔半导体科技有限公司
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2021-05-27
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2021-12-07
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H01L21/673
- 本实用新型公开了一种可调节存放空间的石英舟，壳体的内侧壁通过安装座固定安装有轴承座，两个螺纹杆的外侧壁螺纹连接有固定座，固定座的上侧壁固定连接有连接杆的一端，连接杆的另一端固定连接有隔板，通过操作杆带动其中一个活动轴转动，使得螺纹杆随着活动轴转动，通过两个轴承座内部的轴承对两个活动轴进行支撑，保证螺纹杆操作过程的稳定性，从而提高了两个隔板调节过程的稳定性，在螺纹杆转动的时候，使得隔板随着连接杆在石英舟主体的内壁贴合移动，从而调整了隔板的位置，调整了内部的存放空间，根据晶圆片的形状大小进行调整，使得石英舟主体可以用于放置不同大小的晶圆片。
- 一种调节存放空间石英
- [实用新型]石英承载装置-CN202121157525.8有效
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李光华
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沈阳芯贝伊尔半导体科技有限公司
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2021-05-27
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2021-12-07
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H01L21/673
- 本实用新型提供了一种石英承载装置，石英承载装置统包括：侧板、端板、第一固定轴、第一固定槽、第二固定轴、第二固定槽和支撑座；两个侧板对称设置，且两个侧板之间有间距；两个端板的两端分别与两个侧板相连接，两个端板对称设置，且两个端板和两个侧板围成一矩形框架；两个第一固定轴的两端分别与两个端板相连接，两个第一固定轴位于两个侧板之间，且两个第一固定轴之间有间距；第一固定槽呈矩形，至少两个第一固定槽设置在第一固定轴上；两个第二固定轴的两端分别与两个端板相连接，两个第二固定轴位于两个第一固定轴之间，两个第二固定轴之间有间距，且两个第二固定轴位于两个第一固定轴的上方；第二固定槽第一固定槽相对。
- 石英承载装置
- [实用新型]一种石英酒精灯-CN202121159517.7有效
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李光华
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沈阳芯贝伊尔半导体科技有限公司
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2021-05-27
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2021-12-07
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F23Q2/16
- 本实用新型公开了一种石英酒精灯，包括酒精灯本体、灯芯、灯盖和底座，底座内设有长轴，长轴右端连接转盘，长轴表面设有第一锥齿轮，第一锥齿轮通过第二锥齿轮连接螺杆，螺杆表面连接螺块，螺块连接固定座，固定座连接方形板，底座上端设有方形立柱，方形板滑动连接方形立柱上，方形板连接支撑板，支撑板中心处设有加热孔，转动转盘，通过长轴、第一锥齿轮、第二锥齿轮、螺杆、螺块、固定座和方形板的配合带动支撑板升降，支撑板带动其表面上的器皿升降，从而改变了器皿底部与酒精灯火焰之间的距离，通过调节器皿底部与火焰之间距离，即可改变对器皿的加热温度。当器皿底部与灯芯贴合在一起时，灯芯上的火焰熄灭。
- 一种石英酒精灯
- [实用新型]一种石英舟定位装置-CN202121159528.5有效
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朱海艳
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沈阳芯贝伊尔半导体科技有限公司
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2021-05-27
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2021-12-07
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H01L21/68
- 本实用新型公开了一种石英舟定位装置，底板的上侧壁左右对称的固定安装有支撑板，两个支撑板的相对侧壁分别对称的固定连接有导向杆的两端，电机输出轴的右侧壁固定连接有丝杠，丝杠的外侧壁左右对称的螺纹连接有活动块，活动块内置有内螺纹，定位板的内侧壁前后对称的固定安装有滑块，滑块内置有贯穿孔，将石英舟放置在两个导向杆之间，通过电机的输出轴带动丝杠转动，使得两个定位板相对移动，通过两个定位板对石英舟进行定位固定，保证石英舟所在位置的稳定性，使得拿取内部电子元件的时候更加稳定，提高拿取时候的准确性，根据两个定位板之间距离的调节，可以适用于不同大小的石英舟。
- 一种石英定位装置
- [实用新型]晶圆片气相沉积用盖板-CN202020652279.2有效
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朱海艳
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沈阳芯贝伊尔半导体科技有限公司
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2020-04-26
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2020-12-25
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C23C16/458
- 本实用新型提供了一种晶圆片气相沉积用盖板，晶圆片气相沉积用盖板包括：盖板本体、定位孔、支撑脚、透气孔和安装孔；至少两个定位孔贯穿盖板本体，至少两个定位孔均匀设置在盖板本体上，且晶圆片嵌入定位孔内；至少四个支撑脚分别与至少两个定位孔相连接，支撑脚向定位孔中心延伸，且支撑脚与晶圆片相贴合；至少两个透气孔贯穿盖板本体，且至少两个透气孔与至少两个定位孔间隔设置；至少两个安装孔贯穿盖板本体，且至少两个安装孔同时位于盖板本体的中心线上；其中，支撑脚的横截面为梯形，支撑脚的宽度由靠近盖板本体的一端向远离盖板本体的一端减小，且支撑脚与盖板本体为一体式结构。
- 晶圆片气相沉积盖板
- [实用新型]新型石英承载装置-CN202020658116.5有效
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李光华
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沈阳芯贝伊尔半导体科技有限公司
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2020-04-26
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2020-10-30
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H01L21/687
- 本实用新型提供了一种新型石英承载装置，用于承载圆晶片，新型石英承载装置包括：第一支撑板、第二支撑板、第一支撑轴、第二支撑轴、第一定位槽、第二定位槽和支撑架；采用此种连接方式，结构简单，通过使第二定位槽与第一定位槽呈预定角度，以增大喷淋液与圆晶片的接触面积，以便于对圆晶片进行喷淋，确保喷淋液与圆晶片全面接触；同时，便于插入圆晶片；通过使支撑架与第一支撑板呈预定角度，以通过支撑架提供对圆晶片插入时的水平支撑力，以提供给圆晶片一个与插入方向相反的支撑力，从而提升产品整体的稳定性。
- 新型石英承载装置
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