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- [实用新型]一种真空电阻炉电极连接结构-CN202320616917.9有效
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佟辉
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沈阳中科汉达科技有限公司
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2023-03-27
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2023-09-26
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F27D11/10
- 本实用新型涉及一种真空电阻炉电极连接结构，包括钨板电极、铜棒电极，其技术要点是：铜棒电极的一端开设有V型凹槽，V型凹槽的槽底为平面，V型凹槽的第一侧壁与槽底垂直，第二侧壁与槽底的夹角为钝角，钨板电极的末端插入到V型凹槽中，钨板电极的底面与V型凹槽的槽底相贴，钨板电极的一个侧立面与第一侧壁相贴，钨板电极的另一个侧立面与第二侧壁之间夹装有电极压紧块，第二侧壁上设有多个螺纹孔，电极压紧块上设有与螺纹孔一一对应的通孔，螺栓的尖端穿过电极压紧块上的通孔后与螺纹孔连接固定，螺纹孔和通孔分别与水平面垂直。本结构解决了现有电极连接结构在炉内连接难度大的问题，方便连接和检修维护，保证电极连接稳定，使用可靠。
- 一种真空电阻炉电极连接结构
- [实用新型]一种模块式真空测量装置-CN202320873280.1有效
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佟辉
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沈阳中科汉达科技有限公司
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2023-04-19
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2023-08-25
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G01L21/00
- 本实用新型涉及一种模块式真空测量装置，包括高真空规、低真空规、薄膜规和真空压力表，其技术要点是：高真空规、低真空规、薄膜规通过各自的真空接口共同组装于同一测量管件上，测量管件的水平段一端设有用于与真空炉真空接口连接的松套法兰接口，测量管件的垂直段上端设有高真空规接口，水平段顶面设有低真空规接口，水平段侧面设有两个直角形薄膜规接口，直角管件的拐点底面设有压力表接口，压力表接口利用U形气路管与压力表接口连接，真空压力表，高真空规、低真空规、薄膜规和真空压力表均竖直向上布置。本装置解决了现有真空炉炉体上真空接口多的问题，通过减少真空接口减少真空炉加工、焊接、装配难度，减小维护成本。
- 一种模块真空测量装置
- [实用新型]一种真空电阻炉电极安装结构-CN202320864371.9有效
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佟辉
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沈阳中科汉达科技有限公司
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2023-04-18
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2023-08-25
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F27B5/14
- 本实用新型涉及一种真空电阻炉电极安装结构，包括炉体法兰、铜电极杆、水冷组件和密封连接结构，其技术要点是：密封连接结构包括松套法兰、环形承压套、压盖和环形绝缘套。本结构安装完成后，铜电极杆在受到发热体变形影响后，可沿环形承压套和压盖进行上、下位置调节，并利用第一胶圈、第一垫环、第二胶圈、第二垫环和第三胶圈实现密封，同时可带动环形承压套、环形绝缘套以及压盖相对炉体法兰和松套法兰产生水平位移，实现铜电极杆的水平位置调节。从而解决了现有电阻炉电极与发热体连接后不能实现水平方向位置调节的问题，装配方便，且可以为适应发热体变形而进行多自由度调节，减小装配应力，延长使用寿命。
- 一种真空电阻炉电极安装结构
- [实用新型]一种高温炉用水冷挡板-CN202320617697.1有效
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佟辉
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沈阳中科汉达科技有限公司
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2023-03-27
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2023-08-25
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F27D9/00
- 本实用新型涉及一种高温炉用水冷挡板，包括法兰环、固定于法兰环内的多个铜百叶、与法兰环焊接的铜换热管，其技术要点是：所述铜百叶分为两组且对称布置于法兰环前、后口，所述铜换热管为螺旋盘状且位于两组铜百叶之间，所述法兰环设有对应铜换热管入口和出口的通孔，所述通孔中焊接有接管，所述铜换热管入口和出口穿过接管后与其焊接固定，所述铜换热管入口和出口的末端分别焊接水嘴，每组铜百叶形成一个圆形的百叶窗，两个百叶窗的中心位置分别设有贯通口。本实用新型解决了现有水冷挡板阻热能力低且影响抽速的问题，显著增强阻热效果，并保证分子泵的抽速，缩短抽真空时间。
- 一种高温水冷挡板
- [实用新型]一种真空炉用弹簧式安全阀-CN202320653873.7有效
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佟辉
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沈阳中科汉达科技有限公司
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2023-03-29
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2023-07-04
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F16K17/04
- 本实用新型涉及一种真空炉用弹簧式安全阀，包括T形阀座、阀板、弹簧压紧组件，其技术要点是：弹簧压紧组件由压紧螺栓和压紧弹簧组成，阀板上设有与压紧螺栓一一对应的通孔，T形阀座的法兰盘上设有与通孔一一对应的同心缩径螺纹孔，压紧螺栓的螺杆由光杆部、缩径螺杆部和缩径压杆部组成，缩径螺杆部与同心缩径螺纹孔螺纹连接，压紧弹簧套装于光杆部外侧，压紧弹簧上、下两端被挤压于压紧螺栓的螺帽与阀板上表面之间，T形阀座的阀接管外侧套装有同心支撑盘，同心支撑盘上设有与同心缩径螺纹孔一一对应的压力传感器。本实用新型解决了现有弹簧式安全阀人工调整弹簧压紧力时容易造成压紧力不均的问题，保证阀板受力均衡。
- 一种真空炉弹簧安全阀
- [实用新型]一种全自动晶体原料混合翻转机构-CN202222144516.6有效
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佟辉
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沈阳中科汉达科技有限公司
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2022-08-16
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2022-12-13
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B01F29/60
- 本实用新型一种全自动晶体原料混合翻转机构，包括支撑架体、翻转混料筒、动力机构、坩埚夹具，其技术要点是：翻转混料筒包括中部支撑环、支撑丝杆、上定位环、下定位环、上环形夹板和下环形夹板，中部支撑环的外周面对称设有一对支撑轴，支撑架体上设有U形支座且U形支座的两个侧壁顶端分别设有与支撑轴配合的轴承座，动力机构由变频电机和减速器构成，坩埚夹具包括固定筒、底板、内环形压盖和上压盖，上压盖的下沿压接于内环形压盖上，上环形夹板与下环形夹板共同夹持坩埚夹具。本机构解决了现有长晶原材料混料机构装夹坩埚难度大的问题，连接稳固，并方便调节坩埚在翻转机构中的位置，保证混料均匀性，延长使用寿命。
- 一种全自动晶体原料混合翻转机构
- [实用新型]一种真空炉用热偶传动机构-CN202222267828.6有效
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佟辉
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沈阳中科汉达科技有限公司
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2022-08-29
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2022-12-13
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F27D21/00
- 本实用新型涉及一种真空炉用热偶传动机构，包括铠装热偶和直线传动组件，其技术要点是：铠装热偶外壁上套装水冷套筒，水冷套筒的外壁上固定第一法兰盘，直线传动组件包括支架、丝杠丝母传动组件和锥齿轮传动组件，锥齿轮传动组件中的被动锥齿轮固定于丝杠丝母传动组件的丝杠上，主动锥齿轮所在轴端部设有驱动手柄，水冷套筒滑动组装于支架上，第一法兰盘一侧连接波纹管式密封套，波纹管式密封套罩于水冷套筒外周且其另一端与真空炉外壁连接固定，波纹管式密封套用于与第一法兰盘的连接端设有与丝杠丝母传动组件的丝母固定的第一接板。本机构解决了测温点位置固定的问题，可实现真空炉内测温点在线调整，并可实现同一热偶多点测温，使用灵活方便。
- 一种真空炉用热偶传动机构
- [实用新型]一种多功能坩埚支撑轴总成-CN202222080734.8有效
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佟辉
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沈阳中科汉达科技有限公司
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2022-08-09
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2022-11-22
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F27B14/04
- 本实用新型涉及一种多功能坩埚支撑轴总成，包括支撑架、坩埚支撑轴和升降机构，其技术要点是：支撑架的悬臂端设有轴承座并利用轴承座与坩埚支撑轴连接，支撑架的固定端与升降机构连接，支撑架底面中部设有旋转电机且旋转电机的输出轴与坩埚支撑轴的外壁之间设有传动机构，坩埚支撑轴为中空轴且中空轴的外壁中设有水冷夹层，坩埚支撑轴下端连接有与水冷夹层连通的水冷旋转接头，水冷旋转接头下端面固定有透明测温窗口，并在测温窗口外侧固定红外测温仪，红外测温仪的中心线与坩埚支撑轴的中心线重合。本实用新型集水冷、升降、旋转和测温功能为一体，简化了真空炉其他结构的复杂程度，降低了真空炉装配难度，提高了真空炉装配精度。
- 一种多功能坩埚支撑总成
- [实用新型]一种用于台架下安装真空闸板阀的小车-CN202221980151.4有效
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佟辉
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沈阳中科汉达科技有限公司
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2022-07-29
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2022-11-22
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B25H1/06
- 本实用新型涉及一种用于台架下安装真空闸板阀的小车，包括移动支架，其技术要点是：移动支架为侧方开口的“匚”字型支架，其由方框型底架体、方框型上架体、立架体和斜拉筋组成，方框型上架体的上表面远离立架体侧间隔设有两个尼龙垫板，其中一个尼龙垫板上对称设有两个L型角板且L型角板的水平段与尼龙垫板和方框型上架体连接固定，两个L型角板的立壁之间留有设定间距，另一个尼龙垫板与方框型上架体连接固定，方框型上架体下方对应两个尼龙垫板的位置分别利用螺母连接有手柄轴，螺母与方框型上架体焊接固定。本实用新型解决了现有真空闸板阀在真空系统台架下方安装时费时费力的问题，操作方便，省时省力。
- 一种用于台架安装真空闸板小车
- [实用新型]一种用于氮化镓生长设备的进气装置-CN202221867143.9有效
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佟辉
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沈阳中科汉达科技有限公司
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2022-07-20
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2022-11-22
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C30B35/00
- 本实用新型涉及一种用于氮化镓生长设备的进气装置，包括进气炉室和进气炉盖，进气炉室包括直炉管体和法兰盘，其技术要点是：进气炉盖内部设有多条进气通道，进气炉盖对应法兰盘侧端面设有与进气通道连通的进气孔和出气孔，各条进气通道的进气孔均匀布置在进气炉盖的外圈，各条进气通道的出气孔布置于进气炉盖的内圈，法兰盘上固定有与进气炉盖的进气孔连通的进气接头，进气通道连通的出气孔外侧固定有出气接头，各个出气接头在进气炉盖的内圈均匀布置，出气接头与直炉管体的中心线平行。本装置解决了传统氮化镓生长设备进气炉室进气不均匀的问题，保证进气均匀度，同时不影响炉盖开合操作，方便生长设备的检修和维护。
- 一种用于氮化生长设备装置
- [实用新型]碳化硅晶体生长炉测温装置-CN202221500052.1有效
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佟辉;刘定文
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沈阳中科汉达科技有限公司
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2022-06-16
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2022-11-04
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G01J5/00
- 本实用新型涉及一种碳化硅晶体生长炉测温装置，包括红外测温仪，其技术要点是：红外测温仪的数量为两个且分别为上、下红外测温仪，炉盖中心设有通孔且在通孔处固定上红外观察窗支撑组件，上红外测温仪的测量口与上红外观察窗支撑组件的红外观察窗相互对应，坩埚轴为空心轴且其上端与坩埚底部中心连接固定，下端连接下红外观察窗支撑组件，下红外观察窗支撑组件的红外观察窗与下红外测温仪的测量口相互对应，上、下红外观察窗支撑组件结构相同且各自的环形支撑座侧壁分别设有与其内腔连通的气路接头。本装置解决了现有晶体生长炉无法对坩埚底部进行测温的问题，实现炉顶和炉底双测温，显著提高生长炉对晶体生长温度的控制精准度，保证了产品质量。
- 碳化硅晶体生长测温装置
- [实用新型]一种晶体炉感应线圈升降机构-CN202221500137.X有效
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佟辉;刘定文
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沈阳中科汉达科技有限公司
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2022-06-16
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2022-11-04
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C30B29/36
- 本实用新型涉及一种晶体炉感应线圈升降机构，包括台板、升降组件和感应线圈，其技术要点是：感应线圈外侧设有托架，台板上方设置线圈支撑铝环，线圈支撑铝环的一侧设有悬臂部且悬臂部下表面固定有铝制立柱，升降组件包括固定于台板下方的支架、设于支架上的立式线性导轨、设于立式线性导轨上的滑块、与立式线性导轨平行的滚珠丝杠、设于滚珠丝杠上的丝母、与滚珠丝杠连接的驱动部，铝制立柱下端穿过台板并利用固定板与丝母连接，铝制立柱的侧面与滑块连接固定。本机构解决了现有晶体炉坩埚及其托架在炉内升降运动稳定性差、易产生震动的问题，驱动感应线圈替代坩埚及其托架升降运动，与现有技术相比，驱动精度高，故障率低，可靠性强。
- 一种晶体感应线圈升降机构
- [实用新型]复合加热式氮化镓生长系统-CN202221793196.0有效
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佟辉
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沈阳中科汉达科技有限公司
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2022-07-13
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2022-11-04
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C30B25/10
- 本实用新型涉及一种复合加热式氮化镓生长系统，包括卧式生长炉、进气炉室、出气炉室、进气炉盖、出气炉盖和加热装置，卧式生长炉包括石英管、同轴反应舟和样品托架，其技术要点是：同轴反应舟由固定于石英管内的反应腔室、缩径出气筒构成，样品托架由托杆、设于托杆端部的托盘构成，托盘与托杆垂直且其上设有异质衬底，异质衬底与缩径出气筒的端口相对且留有设定的轴向间隙，加热装置由电阻加热器和电磁感应加热器构成，电阻加热器围绕于同轴反应舟的反应腔室外部，电磁感应加热器围绕于缩径出气筒和异质衬底外部。本系统解决了现有氮化镓生长炉受加热温度影响造成晶柱生长过程较慢、晶柱剥离难度高的问题，降低生产成本，保证产品质量。
- 复合加热氮化生长系统
- [实用新型]一种用于合金蒸馏的温场结构-CN202222014422.7有效
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佟辉
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沈阳中科汉达科技有限公司
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2022-08-02
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2022-11-04
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C22B9/02
- 本实用新型涉及一种用于合金蒸馏的温场结构，包括温场底板、温场外壳、坩埚、加热体，其技术要点是：加热体外侧设有内保温筒，温场外壳侧壁与内保温筒之间形成环形隔离腔，坩埚上沿与内保温筒上沿共同支撑环形回流盘，环形回流盘的上表面为锥面且锥面的低位端支撑一次冷凝盖，锥面的高位端与温场外壳的侧壁之间设有环形上汇流盘，温场底板上设有封堵环形隔离腔下方的环形下汇流盘，温场外壳的顶面与一次冷凝盖之间设有二次冷凝盖，二次冷凝盖的侧壁下端支撑于环形上汇流盘的内沿上方。本实用新型解决了现有真空蒸馏炉的温场分界处温度骤变、热能和冷却液消耗大的问题，使合金蒸气自然液化，降低能耗。
- 一种用于合金蒸馏结构
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