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[实用新型]一种光罩盒存储柜-CN202320580005.0有效
发明人： 沈皓光;袁正一;张汝京 -专利权人：昇瑞光电科技（上海）有限公司
申请日： 2023-03-23 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： B65D81/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光罩盒存储柜，包括光罩盒存储柜以及设置于光罩盒存储柜底部的机械电子区，机械电子区底部设置高架底板、蜂窝底板，机械电子区内设置保护气体进入管路、废气排出管路，保护气体进入管路与光罩盒存储柜底部连通，废气排出管路与光罩盒存储柜底部连通，并向下穿过高架地板、蜂窝底板，机械电子区还设置HEPA过滤器及进风扇，外部空气由HEPA过滤器及进风扇进入高架底板、蜂窝地板；本实用新型设置带有保护气体的光罩盒存储柜，保护气体从柜结构顶部或从每层光罩盒存储区域的上方进入，来置换污染空气并强制使其向废气排放口或存储区底部流动，同时，机械电子区位于机器底部来最小化潜在污染光罩存储盒的颗粒粒子数。
一种光罩盒存储

[发明专利]一种热电偶簇及其鉴别热电偶簇是否损坏的方法-CN202211739380.1在审
发明人： 沈皓光;余慧珍;张汝京;袁正一 -专利权人：昇瑞光电科技（上海）有限公司
申请日： 2022-12-31 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： G01K7/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种热电偶簇及其鉴别热电偶簇是否损坏的方法，包括两种不同材料的金属丝A和金属丝B，其特征在于，金属丝A设置有两根，金属丝B设置有两组，其按照锯齿形状的顺序依次串联焊接在一起，其拐点位置分别为第一焊点、第二焊点和第三焊点，在第一焊点和第三焊点之间插入需要测温的位置，第二焊点处的末焊端点具有相同热力状态。本发明使用四根或更多的金属丝，这将使其分辨率提高为原来的两倍，且为测量时的损坏提供冗余量，还集成了漂移检测的能力，将两个或更多热电偶串联成组(热电偶簇)来增加测量电压，藉此提高测量准确性和温度传感器的精度。同时还一种鉴别热电偶簇中是否部分热电偶损坏的方法，实用性较强。
一种热电偶及其鉴别是否损坏方法

[发明专利]一种管线化学加热器-CN202310286718.0在审
发明人： 沈皓光;张汝京;袁正一 -专利权人：昇瑞光电科技（上海）有限公司
申请日： 2023-03-23 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： F16L53/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种管线化学加热器，包括红外线加热器，所述红外线加热器外的液体化学管道，所述液体化学管道内设置与红外线加热器外壁对应的石英管道，所述石英管道壁与红外线加热器之间设置间隔，所述间隔内填充有相变材料，所述红外线加热器的数量为多个，所述液体化学管道内设置数个石英翅片；本发明在红外线加热器与液体化学管道之间增加能够捕捉吸收大范围红外光谱内能量的媒介材料，避免这部分能量将浪费；通过专用媒介材料，与化学物腔体直接传导热量，热传导相比热辐射的速率更高；本发明利用材料的相变性质来维持恒温，不受工艺波动影响，且能防止磷酸被局部过度加热导致的腐蚀速率增加。
一种管线化学加热器

[发明专利]一种模块化膨胀装置及空调系统-CN202310215612.1在审
发明人： 沈皓光;袁正一;张汝京 -专利权人：昇瑞光电科技（上海）有限公司
申请日： 2023-03-08 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： F25B41/30 文献下载
摘要：本发明提供一种模块化膨胀装置及空调系统，该膨胀装置包括沿轴向连通的膨胀模块及流量控制模块，膨胀模块内设有孔板阀，高压液体经孔板阀扩张为低压液体后进入流量控制模块，流量控制模块包括调节插塞及截流板，调节插塞的锥形的密封塞体与截流板的流通孔之间形成流通间隙，通过移动调节插塞的位置以调节流通间隙的大小，从而实现流量调节。同时，该膨胀装置还集成有止回阀，以实现逆向流动，在逆向流动时，高压液体的高压打开止回阀，大量液体从止回阀的通道逆向流出，而不对孔板阀形成高压造成损坏。该膨胀装置的各部件均为可拆卸式连接，在整个装置需要维修或升级优化时，仅需对单个部件进行更换，从而节省用户成本，且便于回收利用。
一种模块化膨胀装置空调系统

[实用新型]一种除异味鞋柜-CN202223049306.5有效
发明人：张汝京;余洁闻;沈皓光;高玉岐;周华 -专利权人：昇瑞光电科技（上海）有限公司
申请日： 2022-11-16 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： A47B61/04 文献下载
摘要：本申请提供一种除异味鞋柜，包括鞋柜本体和除味装置。其中，鞋柜本体包括至少一列储鞋格，在每列储鞋格最顶部开设有出气口，上下相邻的储鞋格之间通过第一流通孔连通，每个储鞋格设置有可开闭的鞋格门，每个鞋格门上设置多个进气孔。在每个出气口上罩设安装一除味装置，除味装置包括两端开口的壳体、风机、活性炭模组和紫外线灯模组。壳体包括第一和第二开口，第一开口罩设安装在出气口上。风机安装在壳体内且靠近第二开口。活性炭模组安装在壳体内且靠近第一开口。紫外线灯模组安装在壳体内且处于风机和活性炭模组之间。本申请能够除鞋柜内的异味和分解有机气味，达到有效分解空气中的刺鼻难闻的异味的作用，同时还兼具了消毒杀菌的功能。
一种异味鞋柜

[发明专利]具备制热和制冷功能的制冷系统及制冷装置-CN202211592790.8在审
发明人： 沈皓光;张汝京;袁正一 -专利权人：昇瑞光电科技（上海）有限公司
申请日： 2022-12-13 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： F25B29/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种具备制热和制冷功能的制冷系统及制冷装置，其包括压缩机、供应管线、蒸发器、冷凝器、至少一个连在供应管线上的热交换器和控制阀组件；供应管线包括第一管线、第二管线和第三管线，第一管线的出口与压缩机的回气口连接，第二管线的入口与压缩机的排气口连接；蒸发器的两端分别与第一管线和第三管线相连；冷凝器的两端分别与第二管线和第三管线相连；控制阀组件被配置为：处于制冷模式时，控制热交换器选择性地与第一管线和第三管线相连；处于制热模式时，控制热交换器选择性地与第二管线和第三管线相连。上述制冷系统同时具备制热功能和制冷功能，其结构简单，通过控制阀组件即可实现制冷系统在两个模式之间的切换，降低了成本。
具备制热制冷功能制冷系统装置

[实用新型]一种晶圆传送装置-CN202122090075.1有效
发明人：陈壮;沈皓光 -专利权人：芯恩（青岛）集成电路有限公司
申请日： 2021-09-01 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本申请提供一种晶圆传送装置，包括基座、推杆装置、限位装置和调节装置。推杆装置设置在基座上且位置固定。承载台设置在基座上并与推杆装置相距预定距离，承载台可朝靠近和远离推杆装置的方向滑动，承载台上配置有定位面，定位面用于安放沿承载台滑动方向排列的第一晶圆盒和第二晶圆盒。限位装置用于限制承载台朝靠近推杆装置滑动预定距离后的停靠位置。调节装置用于调节限位装置在承载台滑动方向上的位置。在承载台向推杆装置靠近并逐渐移动至限位装置的过程中，推杆装置接触第一晶圆盒中的晶圆并推动晶圆由第一晶圆盒进入至第二晶圆盒的指定位置。本申请的技术方案有效适应不同推送距离的晶圆盒且准确控制晶圆的推送距离。
一种传送装置

[实用新型]晶圆盒对接单元及晶圆传送装置-CN202122090192.8有效
发明人：陈壮;沈皓光 -专利权人：芯恩（青岛）集成电路有限公司
申请日： 2021-09-01 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本申请提供一种晶圆盒对接单元及晶圆传送装置。晶圆盒对接单元用于对接同排位置晶圆槽具有高度差的两个晶圆盒，包括框架本体和多行引导单元。竖向排列的多行引导单元，每个引导单元包括分设于框架本体的两个相对内侧面的第一引导板和第二引导板，第一引导板和第二引导板具有相同的设置高度并在水平方向相隔预定距离；竖向方向上相邻引导单元之间的间隙构造出用于晶圆通过的引导通道。本申请的技术方案能够对接同排位置晶圆槽具有高度差的两个晶圆盒，并顺利完成晶圆的传送。
晶圆盒对接单元传送装置

[实用新型]一种用于半导体检测的探针装置-CN202121667470.5有效
发明人： 沈皓光 -专利权人：芯恩（青岛）集成电路有限公司
申请日： 2021-07-22 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于半导体检测的探针装置，该探针装置包括：探针夹持部，内设置有凹槽，凹槽贯穿探针夹持部；探针固定部，嵌设于探针夹持部的凹槽内，且在探针固定部上设置有若干个探针孔，探针孔沿凹槽的深度方向延伸并贯穿探针固定部；探针，固定于探针固定部的探针孔内，且探针包括置于探针固定部的探针孔内的第一部分以及暴露于探针固定部外的第二部分；其中探针的材料的硬度小于或等于探针固定部的材料的硬度。由此，本实用新型能够保证探针之间精确的间距，提高探针装置的测量精度，并且增加探针装置的使用寿命，节省制造成本。
一种用于半导体检测探针装置

[实用新型]一种晶圆表面缺陷检测装置-CN202121812835.9有效
发明人：陈壮;沈皓光;迟祖超;李萌珂 -专利权人：芯恩（青岛）集成电路有限公司
申请日： 2021-08-05 - 公布日： 2022-01-25 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆表面缺陷检测装置，所述晶圆表面缺陷检测装置中的射灯包括第一射灯、第二射灯、第三射灯以及第四射灯，四种射灯能够发出不同颜色的光，使晶圆表面的缺陷能够明显呈现出来，即使通过人工目检的方式也能轻易识别出晶圆表面不同种类的缺陷；其次，射灯中各部件的相对位置可调节，能够在保证整个检测装置占地面积较小的前提下形成更大范围的照射面积，使发出的光全面覆盖晶圆表面，且具有一定的调整灵活性；最后，所述检测装置内置有自动光学检测系统(Auto Optical Inspection，AOI)，能够自动捕捉晶圆表面各种类型的缺陷，并将其更直观地呈现出来，保证了最终检测结果的准确性。
一种表面缺陷检测装置

[实用新型]一种晶圆测试仪-CN202121711268.8有效
发明人：陈壮;沈皓光;李修远 -专利权人：芯恩（青岛）集成电路有限公司
申请日： 2021-07-27 - 公布日： 2022-01-25 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆测试仪中，用于放置待检测晶圆的载盘具有第一台面和第二台面，与滑块配合使用，使得载盘能够放置两种不同尺寸的晶圆，提高了载盘的利用率；其次，所述测试仪中的摄像头采集样品图像，并结合机器视觉算法找到晶圆圆心的位置，再以晶圆的圆心为基准依次针测其他测试点，提高了测量结果的准确度；另外，所述测试仪中载盘的表面均匀分布有压力传感器，所述压力传感器能够将探针对晶圆的压力反馈给控制器，控制器进而能够对探针的下压力度进行反馈调整，保证了探针对每一测试点的压力是均衡的，从而避免了晶圆因受力过大而破裂的情况。
一种测试仪

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