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[发明专利]瓦级全固态紫外激光清洗机及激光清洗方法-CN200810056852.7无效
发明人：沈德忠;许祖彦;李明远;王桂玲;沈光球;王晓青 -专利权人：清华大学;中国科学院物理研究所;深圳市淼浩高新科技开发有限公司
申请日： 2008-01-25 - 公布日： 2008-07-16 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本发明公开了属于光能清洗技术范围的一种瓦级全固态紫外激光清洗机及激光清洗方法，用于集成电路等微电子基板清洗。该设备的电源连接激光共振腔，在激光共振腔发出的脉冲激光的光路上设置两块非线性光学晶体、选通镜和反射镜；在反射镜的侧上方固定一转镜鼓，传送带上放置被洗工件；在传送带的一侧放置吹风机，另一侧放置吸尘器。该方法包括连续或断续地输送待清洗的基板通过激光辐照处，由全固态激光器输出的瓦级近266nm脉冲激光照射到基板表面；选择适当的激光强度、脉冲频率及辐照时间，以对基板表面的微米及亚微米级颗粒、有机物、油污等污染物进行有效去除；清洗后镀层附着力和产品成品率都有很大提高，并很少有镀层翘曲、剥落的现象。
瓦级全固态紫外激光清洗方法

[发明专利]硼酸锌镉多晶及其制备方法-CN200610165345.8无效
发明人：张帆;沈德忠;沈光球;王晓青 -专利权人：清华大学
申请日： 2006-12-18 - 公布日： 2007-06-06 - 主分类号： G02F1/355 文献下载
摘要：本发明公开了硼酸锌镉多晶及其制备方法。本发明所提供的硼酸锌镉多晶，分子式为CdZn₂B₂O₆，简称为CZBO晶体。经粉末倍频效应测试，CZBO的非线性光学系数为KDP的14.28倍。该晶体在空气中不潮解，具有良好的机械性能，可在谐波发生器件、光参量和光放大器件、电光调制器件以及光波导器件等非线性光学领域获得应用。
硼酸多晶及其制备方法

[发明专利]一种FeSi₂纳米结构及其制备方法-CN200510011806.1无效
发明人：许北雪;沈德忠;吴锦雷;沈光球 -专利权人：清华大学
申请日： 2005-05-27 - 公布日： 2005-11-16 - 主分类号： B82B1/00 文献下载
摘要：一种FeSi₂纳米结构及其制备方法，属于微电子器件、纳米电子器件和光电子器件领域。其结构特征是FeSi₂纳米带在硅(100)晶面上沿两个互相垂直的<110>方向生长，自组织形成网状纳米结构。其制备方法是利用矩形波导中TE₁₀模微波在反应腔室内形成的特殊电磁场分布，以及硅基底与TE₁₀模微波的特殊匹配方式，将沉积在硅基底上的铁纳米团簇进行磁化和磁力驱动，使其自组织排列生长，并进一步与硅基底反应，最终形成FeSi₂纳米带和纳米结构。本发明可作为电连接材料用于自组织生长碳纳米管集成电路，或作为结构材料用于构筑各种MEMS器件和光电子器件等。
一种 fesi sub 纳米结构及其制备方法

[发明专利]一种非线性光学晶体及其应用-CN02124079.5无效
发明人：潘峰;沈德忠;王晓青;沈光球;尉京志 -专利权人：清华大学
申请日： 2002-06-18 - 公布日： 2004-01-07 - 主分类号： C30B29/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种非线性光学晶体及其应用。本发明的目的是提供一种新的非线性光学晶体化合物，该化合物较容易得到大尺寸单晶。本发明所提供的非线性光学晶体化合物是硼酸镉锌，分子式为(Cd_xZn_6－x)B₄O₁₂，其中，X为1－5的整数。所述化合物的空间群为R3c；单胞参数为a＝b＝8.3867，c＝12.2796，α＝β＝90°，γ＝120°；单胞体积V＝747.993；Z＝3。晶体密度D＝4.692mg/m³。本发明的非线性光学晶体硼酸镉锌在进行激光波长变换、激光波长变换器件、光参量和光放大器件、电光调制器件、光波导器件中可以得到广泛应用。
一种非线性光学晶体及其应用

[发明专利]非平行通光面的激光变频器及其制造方法-CN99103558.5无效
发明人：沈德忠;沈光球;王晓青;王晓洋 -专利权人：清华大学;国家建筑材料工业局人工晶体研究所
申请日： 1999-04-02 - 公布日： 2003-05-21 - 主分类号： G02F1/37 文献下载
摘要：本发明提出非平行通光面的激光变频器及其制造方法。该变频器是布氏切割减反射激光变频器，其特点是两个通光面互不平行，相应的出射面与入射面之间的夹角取决于非线性光学晶体的晶轴类型，相位匹配类型及入射基频光的数量和偏振状态，变化范围在45°～90°之间。其制作的关键是按出射变频光的振动方向来确定出射通光面的布氏角切割方位。按此法加工出的布氏切割激光变频器，能真正将反射损耗减少到几近于零，对紫外及真空紫外等不易镀膜的激光变频领域有重要的应用价值。
平行光面激光变频器及其制造方法