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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

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2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]蚀刻设备的反应槽装置的上电极-CN201020569632.7有效
发明人：周峙丞;张国钦 -专利权人： 汉泰科技股份有限公司
申请日： 2010-10-21 - 公布日： 2011-05-04 - 主分类号： C03C15/00 文献下载
摘要：一种蚀刻设备的反应槽装置的上电极，包含一个电极板，及多个嵌装固定于电极板中的陶瓷管。该电极板包括一个电极本体，该电极本体底面穿设有多个气孔，陶瓷管与气孔连通地分别同轴塞装固定于气孔中。通过在该电极本体的气孔中分别塞装陶瓷管的结构设计，可利用陶瓷管具有良好耐腐蚀性，不易被腐蚀产生扩孔的特点，使腐蚀性气体的进气量维持在预定范围内，进而可将蚀刻品质长期维持在一定水准以上，并减少上电极维修频率。
蚀刻设备反应装置电极

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