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- [发明专利]倒装毛刷清洗装置-CN202310813813.1有效
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毛林才
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光微半导体（吉林）有限公司
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2023-07-05
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2023-08-29
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H01L21/67
- 本发明属于晶圆生产技术领域，尤其是倒装毛刷清洗装置，针对现有的从上表面高压冲洗机构容易损坏晶圆的问题，现提出以下方案，包括中间开有矩形安装孔的池体台面，池体台面的中间嵌装有向下凹陷呈弧形槽形结构的清洗池，池体台面的上表面靠近后侧固定有台面高于池体台面的安装台，所述安装台的上表面中部固定有大轴承座，且大轴承座的中间转动连接有延伸向清洗池中部上方的主传动管，主传动管靠近清洗池的一端固定有自锁转轮。本发明可以在吸盘单元带动晶圆移动至倒装毛刷机构上方的位置时，即配重铁球移动至双头电磁铁的端部的时候，自动将圆杆轴以及固定托板吸附固定，从而有利于对晶圆在固定状态下进行表面清理。
- 倒装毛刷清洗装置
- [发明专利]晶圆清洗干燥装置-CN202310609801.7有效
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毛林才
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光微半导体（吉林）有限公司
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2023-05-29
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2023-08-15
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F26B11/04
- 本发明公开了晶圆清洗干燥装置，涉及晶圆干燥设备技术领域，包括干燥桶，所述干燥桶的内侧设置有支座，所述支座的一端设置有翻转辅助器，所述支座的内侧固定连接有连盘座，所述支座的底端安装有第二驱动电机，所述第二驱动电机的输出端连接有第一连轴，吹气干燥机构，限位防脱件。本发明通过设置翻转辅助器，第一驱动电机输出端驱动第二锥齿轮进行转动，从而驱动第一锥齿轮带动旋转轴进行转动，进而通过支座带动过滤网桶箱进行翻转，以此使得过滤网桶箱内部晶圆进行翻动，以此避免晶圆对接在一处，从而能够辅助过滤网桶箱自转将晶圆上的液体甩出到外界，进而提高了对晶圆的干燥效率。
- 清洗干燥装置
- [发明专利]清洗毛刷无接触磁浮传动总成用的清洗装置-CN202310645395.X有效
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毛林才
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光微半导体（吉林）有限公司
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2023-06-02
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2023-08-15
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B08B1/00
- 本发明公开了清洗毛刷无接触磁浮传动总成用的清洗装置，涉及晶圆清洗设备技术领域，包括固定座，所述固定座的顶端设置有第一连接座，所述第一连接座的内侧固定连接有支撑盘，所述支撑盘的一端设置有晶圆本体，所述晶圆本体的外壁与所述第一连接座的一侧设置有自动清刷器，所述支撑盘的一侧外壁固定连接有第二连接座，所述第二连接座的一端安装有第三驱动电机，清洗毛刷辊，自动冲刷器，有循环击打辅助件。本发明通过设置循环击打辅助件，第二驱动电机输出端驱动旋轴带动多个T形击打块进行转动，从而通过多个T形击打块分别对清洗毛刷辊外壁刷毛进行击打，使得刷毛上粘附的杂质脱落，从而进一步的提高了清洗毛刷辊刷毛的洁净度。
- 清洗毛刷接触传动总成装置
- [发明专利]一种基于吸盘下方气刀的晶圆干燥装置-CN202310819560.9在审
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毛林才
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光微半导体（吉林）有限公司
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2023-07-06
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2023-08-08
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F26B25/04
- 本发明属于半导体材料生产技术领域，尤其是一种基于吸盘下方气刀的晶圆干燥装置，针对晶圆干燥处理的问题，现提出以下方案，包括吸盘底座，所述吸盘底座顶部的两侧均开有矩形开孔，所述吸盘底座的顶部通过螺栓可拆卸安装有箱体，箱体内壁两端的两侧中部均焊接固定有固定块，多个所述固定块之间的一端均转动安装有旋转块。本发明装置通过设置有旋转块、固定块、干燥管体、连接管、伺服电机、滑动杆、推动杆、半球体等装置，在使用时通过连接管连接气刀的一部分气体进入连接管内部从而进入干燥管体内，利用伺服电机带动半球体转动推动滑动杆进行移动，从而带动整个干燥管体进行摆动，使其调整干燥管体下方吹动的方向，提高干燥效果。
- 一种基于吸盘下方干燥装置
- [发明专利]chuck吸盘下方环形气刀装置-CN202310541754.7在审
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毛林才
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光微半导体（吉林）有限公司
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2023-05-15
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2023-08-04
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F26B21/00
- 本发明涉及晶圆制造领域，且公开了chuck吸盘下方环形气刀装置，有效的解决了目前在对气刀通气流量进行调节时，通过更换不同厚度垫片来实现，调节效率较低的问题，包括底座，所述底座的下方设有垫片本体，垫片本体的下方设有气刀盖，底座的内部开设有气室，气室贯穿至底座的底端，气室的外侧等角度开设有进气孔，进气孔贯穿至底座的外侧，气刀盖的内壁上安装有导流板，导流板与底座的底壁形成气道，本发明，通过第一电磁铁外接电路上串联滑动变阻器，调节第一电磁铁对第一磁块的斥力，带动移动架移动，使得移动架上的齿条带动螺套转动，继而带动螺杆相对螺套移动，调节底座与气刀盖之间距离，从而方便调节气刀通气流量。
- chuck吸盘下方环形装置
- [发明专利]三维度接液杯平移清洗结构及方法-CN202310581699.4有效
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毛林才
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光微半导体（吉林）有限公司
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2023-05-23
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2023-07-21
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B08B9/20
- 本发明属于接液杯清洗技术领域，具体为三维度接液杯平移清洗结构及方法，由于化学药剂长时间沉置在接液杯内，每次工艺过后不及时对接液杯进行清理的话，这些化学药剂和去除的杂质则会堆积并粘附在杯体内，随着时间的沉淀则会逐渐累积，降低了清洗的效果；包括底板，所述底板上对称安装有电动伸缩柱，电动伸缩柱的输出端上安装有承力块，两个承力块共同连接升动板，升动板上安装有安装板，安装板与升动板之间通过螺栓固定连接设置；所述安装板上固定安装有驱动电机，驱动电机与夹动制紧机构连接设置；通过乱定除清单元使得旋动齿盘旋转，继而带动接液杯旋转，使得L刮板对接液杯的内壁进行刮除操作，用于清理接液杯的内壁所粘附的残渣。
- 维度接液杯平移清洗结构方法
- [发明专利]感光剂喷嘴集装清洗阀-CN202211658240.1在审
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毛林才
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光微半导体（吉林）有限公司
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2022-12-22
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2023-05-16
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B08B3/00
- 本发明公开了感光剂喷嘴集装清洗阀，包括螺杆、转动杆、密封板、限位板、阀体、限位柱、支撑板、支撑环、推块、橡胶圈和卡块，所述阀体的内部固定连接有密封凸起，同时密封凸起对应连接有密封体,密封体的顶端固定连接有移动块,移动块上转动连接有转动杆的一端，且移动块的顶端两侧固定连接有限位柱的一端，限位柱的另一端位于限位板上开设的通孔内；该装置，利用设置的支撑板，该装置在安装的过程中，利用该装置与引流管的接触面积，从而提高了该装置的安装稳定性，避免了在使用该装置的过程中，由于该装置的活动导致漏水的情况发生，同时设置有弧形板和卡块，利用弧形板和卡块的工作便于完成对软管的固定工作，无需使用额外工具。
- 感光剂喷嘴集装清洗
- [发明专利]膜片利用气液压力封堵流体机构-CN202211658341.9在审
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毛林才
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光微半导体（吉林）有限公司
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2022-12-22
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2023-04-25
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F16L55/10
- 本发明公开了膜片利用气液压力封堵流体机构，包括连接环、泄压组件、膜片安装组件、气压封堵组件和液压封堵组件，所述连接环套接在封堵管道上，本发明，通过液压封堵组件提供液压使密封圈紧压在封堵管道上，同时封堵壳内的空气提供气压为封堵膜片提供支撑力对流体进行封堵，保障了封堵的密封效果，提高了机构的封堵可靠性；封堵压力过大时利用泄压组件宣泄封堵壳中的压力，避免机构压力过大而损坏，同时将外壳体底部的封堵液排出，使密封圈与封堵管道脱离，通过泄压槽进行泄压，避免封堵管道炸裂，提高了封堵机构的实用性；通过膜片安装组件将封堵膜片安装在封堵管道中，安装更换封堵膜片的过程简单，减轻了工作人员更换封堵膜片的劳动强度。
- 膜片利用液压封堵流体机构
- [发明专利]液体多段回吸机构-CN202211420523.2在审
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毛林才
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光微半导体（吉林）有限公司
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2022-11-14
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2023-03-07
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F04B17/03
- 本发明公开了液体多段回吸机构，包括壳体、导向槽、驱动组件、安装箱、安装盘、固定盘、连杆、导向块、电机、第一转轴、第一齿轮、第二齿轮、螺纹套筒、丝杆、活塞组件、安装座、弹性套圈、顶板、顶杆、伸缩杆、弹簧、第一固定柱、第二固定柱、接口组件、按压板、通槽、限位杆、弹性套筒、环套、活动板和回吸口，本发明相较于现有的回吸机构，设计的驱动组件配合多个回吸口，能够将设备内的残液分段收回，同时电动驱动能够提供足够的压差；本发明设计的活塞组件，能在活塞出现磨损后进行补偿，保证内部压力稳定，延长了其使用寿命；本发明设计的接口组件，可以适应不同规格的设备接口，其适用性得到了提升。
- 液体多段回吸机构
- [发明专利]液体囊式精密定量机构-CN202211431177.8在审
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毛林才
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光微半导体（吉林）有限公司
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2022-11-14
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2023-03-07
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F04B13/00
- 本发明公开了液体囊式精密定量机构，包括定量筒，所述定量筒一端安装有针头，且定量筒另一端安装有快速插拔结构，快速插拔结构一端固定连接有连通管，本发明采用丝杆升降的方式带动伸缩气囊压缩和抽吸，同时抽吸到定量筒中的液体，利用定量筒上的刻度进行精确定量，同时螺纹丝杆的螺距小，实现了伸缩气囊的精细伸缩，有利于精确定量；利用快速插拔结构的安装，利用弹簧压紧卡接的方式代替直接插接的方式，避免了长期插拔过程中导致的间隙变大，密封性变差的问题出现，同时区别与螺纹固定连接的方式，插拔的速度快，效率高；通过自动抽吸机构的设置，利用电机驱动伸缩气囊压缩和抽吸来实现液体的抽吸定量，自动化程度高。
- 液体精密定量机构
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