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[发明专利]一种机台视窗的遮挡装置、方法及半导体设备-CN201911191281.2有效
发明人： 殷赛赛;程长青;秦俊明 -专利权人：合肥晶合集成电路股份有限公司
申请日： 2019-11-28 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开一种机台视窗的遮挡装置、方法及半导体设备，所述机台视窗的遮挡装置包括判断模块、分析处理模块以及电机驱动模块，所述判断模块用于确定晶圆传送盒的类型以及确定所述机台视窗的覆盖状态，所述分析处理模块用于接收所述晶圆传送盒的类型以及机台视窗的覆盖状态，以输出控制信号，所述电机驱动模块用于接收所述控制信号，以带动遮挡部件沿着所述机台视窗向上或向下运动。本发明避免了当机台混合运转非铜制程出现故障、错位时，需打开视窗检查内部组件状态等现象的发生。
一种机台视窗遮挡装置方法半导体设备

[发明专利]半导体加工设备及其装载晶圆盒的控制方法-CN201910590449.0有效
发明人：程长青;薛君;殷赛赛 -专利权人：合肥晶合集成电路股份有限公司
申请日： 2019-07-02 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供了一种半导体加工设备及其装载晶圆盒的控制方法。利用晶圆盒识别装置识别装载台上的当前晶圆盒的类型，并利用数据分析模块根据当前晶圆盒的类型信息，自动化的控制装载台是否调控为空置状态。即，本发明中的半导体加工设备可以有效控制晶圆盒的装载过程，避免不同类型的晶圆在利用同一半导体加工设备时被污染的问题。
半导体加工设备及其装载晶圆盒控制方法

[实用新型]一种晶圆盒检测系统-CN202221304446.X有效
发明人：管涛;甄福强;殷赛赛 -专利权人：合肥晶合集成电路股份有限公司
申请日： 2022-05-27 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶圆盒检测系统，包括电源模块、两个以上颜色传感器和分析处理模块；电源模块分别与颜色传感器和分析处理模块连接；每个晶圆盒上分别设置有一种颜色的颜色标识，颜色标识的颜色种类包括两种以上；机台的承载台上设置有两个以上晶圆盒放置位置，每个放置位置用于放置一个晶圆盒；每个放置位置对应一个颜色传感器，每个传感器用于识别对应放置位置上的晶圆盒的颜色；颜色传感器与分析处理模块连接，颜色传感器用于将检测到的晶圆盒的颜色信息发送给分析处理模块。如果有含有不同种类金属的晶圆同时放在机台的承载台上，则启动报警模块并/或将机台停机，避免晶圆被污染。
一种晶圆盒检测系统

[发明专利]一种监测系统及监测方法-CN201811145985.1有效
发明人：程长青;殷赛赛 -专利权人：合肥晶合集成电路股份有限公司
申请日： 2018-09-29 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供一种监测系统及监测方法，应用于晶圆测试设备的测试结果监测技术领域，所述监测系统至少包括：信号采集模块，用于采集待测试晶圆的测试开始信号和测试结束信号；信号处理模块，与所述信号采集模块相连，并接收所述测试开始信号和所述测试结束信号，获取确定所述待测试晶圆的测试时间，获得所述测试时间与预设测试阈值的比较结果，并根据比较结果输出驱动信号；报警模块，用于与所述信号处理模块相连，接收所述驱动信号，并根据所述驱动信号驱动所述报警模块；供电模块，用于为所述信号采集模块、所述信号处理模块和所述报警模块供电。应用本发明，提高晶圆测试的不良品处理效率。
一种监测系统方法

[发明专利]一种自动调整半导体设备平衡性的装置及方法-CN202011283036.7有效
发明人：程长青;殷赛赛 -专利权人：晶芯成（北京）科技有限公司
申请日： 2020-11-17 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： G05D3/12 文献下载
摘要：本发明提出一种自动调整半导体设备平衡性的装置及方法，包括：棱镜单元；传感单元，位于棱镜单元的一端，用于监测所述棱镜单元的位置，并发送电压信号；测量单元，连接所述传感单元，用于接收所述电压信号，并形成电压值；接收单元，连接所述测量单元，用于接收所述电压值，并形成反馈信号；分析单元，连接所述接收单元，用于接收所述反馈信号，并形成脉冲信号；驱动单元，所述驱动单元包括驱动器和驱动电机，所述驱动器连接所述分析单元，所述驱动电机的一端连接所述驱动器，另一端连接所述棱镜单元，所述驱动器用于接收所述脉冲信号，所述驱动电机用于调整所述棱镜单元的位置。本发明提出的自动调整半导体设备平衡性的装置可以提高工作效率。
一种自动调整半导体设备平衡装置方法

[实用新型]量测机台-CN202020832666.4有效
发明人： 殷赛赛;程长青 -专利权人：合肥晶合集成电路股份有限公司
申请日： 2020-05-15 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： G01R31/34 文献下载
摘要：本实用新型提供一种量测机台，所述量测机台包括机台本体；量测单元，设置于所述机台本体上；转动单元，设置于所述机台本体上，且所述量测单元设置于所述转动单元的输出端上；感测单元，设置于所述机台本体上；开关单元，设置于所述机台本体上；控制单元，设置于所述机台上；以及供电单元，设置于所述机台本体上；其中，所述供电单元与所述转动单元之间串联设置有所述感测单元及所述开关单元；所述控制单元的输入端与所述感测单元的输出端连接，所述控制单元的输出端与所述开关单元的使能端连接。本实用新型的量测机台可以避免故障排查时，造成机台的长时间宕机以及对于量测单元的损坏概率，有效缩短了回线时间，提高检测效率，节约生产成本。
机台

[实用新型]一种半导体设备的腔室及半导体设备-CN202020604243.7有效
发明人：程长青;殷赛赛 -专利权人：合肥晶合集成电路有限公司
申请日： 2020-04-21 - 公布日： 2020-09-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供一种半导体设备的腔室及半导体设备，包括：开关门本体，设置于腔室的基板出入口处，用于打开或封闭基板出入口；至少一个信号发射端，设置于基板出入口的一条边缘处，用于发射信号；至少一个信号接收端，设置于基板出入口的另一条边缘处，且与信号发射端相对设置，用于接收信号发射端发出的信号；与信号接收端连接的处理装置，用于检测信号接收端未接收到由信号发射端发射出的信号的时间段，当检测出信号接收端未接收到信号的时间段大于预设时间段时，指示开关门本体维持打开状态。本实用新型提供的腔室可以自动准确且高效的检测出基板是否宕在基板出入口处，避免开关门本体关闭时损坏基板和传送手臂的现象，降低成本。
一种半导体设备

[发明专利]半导体加工设备及其装载晶圆盒的控制方法-CN201910759596.6在审
发明人： 殷赛赛;程长青 -专利权人：合肥晶合集成电路有限公司
申请日： 2019-08-16 - 公布日： 2020-07-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供了一种半导体加工设备及其装载晶圆盒的控制方法；利用重力感应装置获取晶圆盒在初始时间对应于第一重量的第一信息以及预定时间对应于第二重量的第二信息，并利用信息处理模块通过判断第二信息相对于第一信息之间的重量变化控制所述驱动组件，以进一步指示锁紧装置是否锁紧晶圆盒，即相当于，通过判断晶圆盒是否存在晶圆缺失，以指示锁紧装置是否锁紧晶圆盒，从而能够确保下载的晶圆盒是完整的未缺失晶圆的晶圆盒，避免了缺失晶圆的晶圆盒被误下载的问题。
半导体加工设备及其装载晶圆盒控制方法

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