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[发明专利]热压接用硅橡胶片材-CN201110363829.4有效
发明人：堀田昌克;畔地秀一;桥本毅;茂木正弘 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2011-11-17 - 公布日： 2012-05-23 - 主分类号： C08L83/07 文献下载
摘要：本发明涉及将经扁平或开纤加工的玻璃布与导热性硅橡胶层层合一体化而成的热压接用硅橡胶片材。对于以往的玻璃布，热压接时经线和纬线的交点特别强地被柔性印刷基板挤压。因此，对于窄间距的电极接合，有时产生位置偏移。此外，对于不含玻璃布的单层导热性橡胶片材，与玻璃布含有品相比，容易变形，因此存在特别在柔性印刷基板的端部容易发生位置偏移的倾向。而本发明的热压接用硅橡胶片材，通过将经扁平或开纤加工的玻璃布层合一体化，与COF相接的片材表面的凹凸与现有品相比大幅度减轻，即使在窄间距的电极接合中也能够大幅度地抑制位置偏移。
热压硅橡胶

[发明专利]太阳能电池电极的连接片材、太阳能电池组件的制造方法和太阳能电池组件-CN201080018484.2有效
发明人：畔地秀一;樱井郁男;堀田昌克;桥本毅 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2010-03-05 - 公布日： 2012-04-11 - 主分类号： H01L31/04 文献下载
摘要：公开了用于太阳能电池电极的连接片材，其是用于通过导电性粘合材料利用加热和加压将配线元件和太阳能电池单元提取电力的电极之间连接的聚合物片材，并且在使用时将该连接片材插入加热/加压元件和该配线元件之间。
太阳能电池电极连接组件制造方法

[发明专利]成膜装置和气体排出部件-CN201080006085.4无效
发明人：岩田辉夫;桑嶋亮;网仓学;桥本毅;内田博章 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2010-01-28 - 公布日： 2011-12-28 - 主分类号： H01L21/31 文献下载
摘要：成膜装置(100)具备：收容晶片(W)的腔室(1)；在腔室(1)内载置晶片(W)的载置台(2)；在载置台(2)上加热晶片(W)的加热器(5a、5b)和；设置为与载置台(2)对向，向晶片(W)排出成膜用的处理气体的主体由铝或铝合金构成的喷淋板(12)，其是在晶片(W)的表面，形成在成膜温度下热膨胀率比喷淋板(12)的主体(13)的热膨胀率低5×10-6/℃以上的膜的装置，喷淋板(12)在与主体(13)的载置台(2)相对的表面形成有厚度为10μm以上的阳极氧化被膜(14)。
装置气体排出部件

[发明专利]热压合用硅橡胶片材-CN200910179172.9有效
发明人：樱井郁男;桥本毅;堀田昌克 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2009-09-29 - 公布日： 2010-06-09 - 主分类号： C08L83/07 文献下载
摘要：本发明提供一种热压合用硅橡胶片材，其特征在于，其是将包含下述(A)～(E)成分的硅橡胶组合物成形为片状并使其固化而形成的硅橡胶片材，其在23℃下的切断时伸长率为50～120％，由A型硬度计测定的硬度为65～75，而且热传导率为0.5～1.0W/mK；(A)平均聚合度为3000以上的有机聚硅氧烷100质量份；(B)选自金属、金属氧化物、金属氮化物和金属碳化物中的至少1种热传导性粉末50～250质量份；(C)炭黑粉末5～60质量份；(D)BET比表面积为50m2/g以上的微粉增强性二氧化硅0～40质量份，且成分(C)和成分(D)的总量为10～60质量份；以及(E)固化剂。
热压合用硅橡胶

[发明专利]热压接合用多层橡胶片-CN200610074629.6无效
发明人：荒井正俊;桥本毅;松田高至;樱井郁男 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2006-04-21 - 公布日： 2006-10-25 - 主分类号： B32B25/00 文献下载
摘要：本发明提供对使用了自由基反应系树脂的导电各向异性粘接剂的耐久性优异的热压接合用多层橡胶片。该热压接合用多层橡胶片包括在硅橡胶层的至少一个面上设置了氟系橡胶层的多层橡胶层。
热压接合多层橡胶

[发明专利]基板处理方法和基板处理装置-CN200480026871.5无效
发明人：小林保男;桥本毅 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2004-09-01 - 公布日： 2006-10-25 - 主分类号： H01L21/28 文献下载
摘要：在本发明的基板处理方法和基板处理装置中，用被活化的NF₃气体除去在MOSFET(11)的栅极(21)、源极(15)和漏极(17)的表层上形成的自然氧化膜，在已除去该自然氧化膜的栅极(21)、源极(15)和漏极(17)的表面上形成Co膜(91)，对该MOSFET进行低温退火，以使该Co膜(91)与栅极(21)、源极(15)和漏极(17)的硅化合物反应，从而在该硅化合物的表层上形成金属硅化物层。因此，能够提供一种不需要受热历程会对基板中杂质的分布产生不利影响的高温退火的处理方法。
处理方法装置

[发明专利]热压粘合片材-CN200610071924.6无效
发明人：朝稻雅弥;桥本毅 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2006-04-03 - 公布日： 2006-10-04 - 主分类号： C09J7/02 文献下载
摘要：提供一种热压粘合片材，其用于通过各向异性导电粘合剂将连接到平板显示面板等的电极电和机械连接到挠性印制电路板的铅电极。该片材具有包括一种组合物的固化产物的层，该组合物包括(a)含有链烯基的有机聚硅氧烷，(b)热传导填料，(c)含有Si－H基团的有机氢聚硅氧烷，(d)铂族金属基催化剂，和(e)抗氧化剂，以及一种热压粘合片材，该片材具有包括一种组合物的固化产物的基质层，该组合物包括(A)有机聚硅氧烷，(B)热传导填料，和(C)固化剂，和至少一层剥离层，该剥离层形成于所述基质层的至少一个表面上，并包括一种组合物的固化产物，该组合物包括(i)含有链烯基的有机聚硅氧烷，(ii)含有Si－H基团的有机氢聚硅氧烷，(iii)铂族金属基催化剂，和(iv)抗氧化剂。
热压粘合

[发明专利]热压粘合用硅橡胶片及其制造方法-CN200510062881.0无效
发明人：樱井郁男;桥本毅 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2005-04-05 - 公布日： 2005-10-12 - 主分类号： C09J183/04 文献下载
摘要：本发明提供一种廉价的热压粘合用硅橡胶薄片及其制造方法，该橡胶薄片即使不撒粉也不会与周围粘合、不与各向异性导电性粘合剂粘合、具有良好的表面脱模性、耐久性、柔软性，其中该橡胶薄片是由在第一硅橡胶层的一个面或者两个面上设置第二硅橡胶层所形成的；其中上述第一硅橡胶层含有由下列组合物成型固化而成：(A)平均聚合度为200以上的有机聚硅氧烷和、(B)除去水分的挥发物为0.5重量％或0.5重量％以下的炭黑和、(C)BET比表面积为50m²/g或50m²/g以上的二氧化硅细粉末和、(D)选自金属/金属氧化物、金属氮化物、金属碳化物的至少一种和、(E)固化剂；所述的第二硅橡胶层是含有由下列所述组合物成型固化而成：(F)有机聚硅氧烷和、(G)硅酮粉末和、优选(H)挥发物为0.5重量％或0.5重量％以下的炭黑或者(I)BET比表面积为50m²/g或50m²/g以上的二氧化硅细粉末和、(J)固化剂。
热压粘合硅橡胶及其制造方法

[发明专利]半导体处理用的成膜方法-CN03800913.7无效
发明人：横井裕明;善光哲;芦泽宏明;桥本毅 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2003-07-11 - 公布日： 2004-11-17 - 主分类号： C23C16/34 文献下载
摘要：半导体处理用的成膜方法包括：在将被处理基板(W)搬入处理室中之前，利用预涂敷被覆载置台(32)的预涂敷工序；在预涂敷工序后，将被处理基板(W)搬入处理室(21)中，在被处理基板(W)上形成主膜的成膜工序。预涂敷工序通过多次重复第1和第2工序，叠加多个弧形膜，形成预涂敷。在第1工序中，将第1和第2处理气体向处理室(21)中提供，在载置台(32)上形成包含金属元素的弧形膜。在第2工序中，将不包含金属元素的第2处理气体提供给处理室(21)中，将在第1工序中生成的形成弧形膜成分之外的副生成物，通过排气从处理室(21)中除去。
半导体处理方法

[发明专利]热压合用硅橡胶片材-CN200410028210.8有效
发明人：樱井郁男;吉田武男;山口久治;桥本毅 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2004-03-08 - 公布日： 2004-09-08 - 主分类号： B32B27/28 文献下载
摘要：本发明提供一种廉价的热压合用硅橡胶片材，其是由在第一硅橡胶层的至少一个面上，设有与该第一硅橡胶层组成不同的第二硅橡胶层的多层硅橡胶层组成的硅橡胶片材。所述第一硅橡胶层包含：(A)平均聚合度为200以上的聚有机硅氧烷100重量份；(B)除去水分的挥发组分为0.5重量％以下的炭黑；(C)BET比表面积为50m²/g以上的微粉末二氧化硅；(D)成分为选自金属、所述(C)成分以外的金属氧化物、金属氮化物、金属碳化物之中的至少一种0～1600重量份；以及(E)固化剂，其是将所述(B)、(C)和(D)成分的合计掺混量为10～1600重量份，同时(B)成分和(C)成分的合计掺混量为0～150重量份的硅橡胶组合物成型得到。所述第二硅橡胶层是将含有(F)平均聚合度为100以上的聚有机硅氧烷100重量份，(G)BET比表面积为50m²/g以上的微粉末二氧化硅0～100重量份，以及(H)固化剂的硅橡胶组合物进行得到。该片材不仅表面离型性好，对四周装置部件或被压合物不粘附，而且与各向异性导电粘接剂不粘接，耐久性好，另外具有高耐热性，同时具有在高强度下可以均一地施加压力的柔软性。
热压合用硅橡胶

[发明专利]用于阴极射线管玻璃屏的抛光装置和抛光方法-CN96109350.1无效
发明人： 桥本毅;山中正承;宇贺神宏之;滝川具也 -专利权人：旭硝子株式会社
申请日： 1996-08-22 - 公布日： 2001-10-24 - 主分类号： B24B13/015 文献下载
摘要：当通过将玻璃屏固定在转台上并将一由一支撑架支撑的转动的转筒式抛光工具推向表面部分而抛光阴极射线管玻璃屏的表面部分时，支撑架绕一枢转点摆动以便使抛光工具绕玻璃屏表面上的弧线摆动，并且抛光工具相应于玻璃屏的转角而在水平方向往复运动，从而在抛光工具的转轴与玻璃屏的中心之间的距离改变的同时抛光表面部分。由于抛光工具的磨损偏差减少了，使用寿命延长，并且还提高了抛光效率。$＃!
用于阴极射线管玻璃抛光装置方法

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