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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]基板处理装置-CN03822829.7有效
  • 堀口贵弘;桑嶋亮 - 东京毅力科创株式会社
  • 2003-09-22 - 2005-10-19 - H01L21/31
  • 本发明的基板处理装置以稳定而且有效地进行被处理基板的成膜处理为目的，基板处理装置把被处理基板W支撑在面对加热器部的位置，同时使保持被处理基板W的保持部件旋转。此外加热器部把SiC加热器和热反射部件装在透明石英制的石英钟罩内部，通过使处理容器内部减压并使石英钟罩内部也减压，可以使石英钟罩的壁厚减薄，这样来自SiC加热器的热传导效率提高，而且可以防止因SiC加热器造成的污染。
  • 处理装置
  • [发明专利]基板处理装置-CN03822748.7无效
  • 堀口贵弘;桑嶋亮 - 东京毅力科创株式会社
  • 2003-09-22 - 2005-10-19 - H01L21/31
  • 本发明的基板处理装置以稳定而且有效地进行被处理基板的成膜处理为目的，基板处理装置把被处理基板W支撑在面对加热器部的位置，同时使保持被处理基板W的保持部件旋转，由此使被处理基板的温度分布均匀，抑制被处理基板的翘曲。处理容器的内壁由利用不透明石英形成的石英衬套覆盖，保护其不受来自紫外线光源照射的紫外线的影响并利用隔热效果抑制因来自加热器部的热造成的温度上升。由此，延长处理容器的寿命。
  • 处理装置
  •  1 
  • 共 3 条
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