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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]制作溅射目标的方法-CN200580006205.X有效
发明人： 格雷格·A·布策;罗伯特·H·休伊曾加;史蒂文·D·穆斯曼 -专利权人：豪梅公司
申请日： 2005-02-25 - 公布日： 2007-04-11 - 主分类号： B23K20/10 文献下载
摘要：一种制作用于溅射目标的大的钼钢坯或棒的方法，其中两个或多个含有钼的本体彼此相邻放置(例如，一个堆叠在另一个上)，使得钼粉末金属存在于相邻本体之间的间隙或结合处。对相邻本体进行加热均衡挤压，以在相邻本体之间的每个金属－钼粉末层－金属结合处形成扩散结合，以形成可以机械加工或以其它方式形成以提供大溅射目标的钢坯或棒。对彼此相邻放置的钼本体的数量和尺寸进行选择，以生产适合用于溅射目标的期望的大尺寸钢坯或棒。用于溅射目标的钢坯或棒具有含有小于30微米颗粒尺寸的等轴晶粒的微观结构，并具有小于大约100ppm(重量)的低氧含量。
制作溅射目标方法

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