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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]垫-CN202110175754.0有效
发明人：中谷吉隆;中西望;高岡知温 -专利权人： 株式会社三幸
申请日： 2021-02-09 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： A47K13/14 文献下载
摘要：本发明提供一种具有水解性的垫。垫包括吸水层和分别配置在该吸水层的两面的表面材料，所述吸水层和表面材料具有水解性。优选的是，吸水层和表面材料由具有生物降解性的材料构成。更优选的是，吸水层是具有天然木浆纤维和生物降解性塑料材料的无纺布，该生物降解性塑料材料包含聚乳酸纤维、聚羟基脂肪酸酯纤维、聚乳酸树脂粉末或聚羟基脂肪酸酯树脂粉末中的至少一种。

[发明专利]供给功率调节器和半导体制造装置-CN201010546627.9有效
发明人：石津秀雄;铃木雅行 -专利权人：株式会社国际电气半导体技术服务;株式会社三幸
申请日： 2006-04-03 - 公布日： 2011-07-13 - 主分类号： H02M5/293 文献下载
摘要：本发明提供一种供给功率调节器和半导体制造装置。在将装填了多个衬底的衬底保持件送入反应炉内进行热处理的半导体制造装置中，具有设置在上述反应炉周围的加热器和调节对上述加热器的供给功率的供给功率调节器，上述供给功率调节器由将交流电源的交流电压变换为与控制信号的频率对应的交流功率并供给上述加热器的功率用IGBT变换器、和将因该IGBT变换器的切换动作而产生的反电动势再生并返回交流电源的再生用IGBT变换器构成。
供给功率调节器半导体制造装置

[发明专利]供给功率调节器和半导体制造装置-CN200910171057.7有效
发明人：石津秀雄;铃木雅行 -专利权人：株式会社国际电气半导体技术服务;株式会社三幸
申请日： 2006-04-03 - 公布日： 2010-12-01 - 主分类号： H02M5/293 文献下载
摘要：在将装填了多个衬底的衬底保持件送入反应炉内进行热处理的半导体制造装置中，具有设置在上述反应炉周围的加热器和调节对上述加热器的供给功率的供给功率调节器，上述供给功率调节器由将交流电源的交流电压变换为与控制信号的频率对应的交流功率并供给上述加热器的功率用IGBT变换器、和将因该IGBT变换器的切换动作而产生的反电动势再生并返回交流电源的再生用IGBT变换器构成。
供给功率调节器半导体制造装置

[发明专利]供给功率调节器和半导体制造装置-CN200680006206.9有效
发明人：石津秀雄;铃木雅行 -专利权人：株式会社国际电气半导体技术服务;株式会社三幸
申请日： 2006-04-03 - 公布日： 2008-02-20 - 主分类号： H02M5/293 文献下载
摘要：在将装填了多个衬底的衬底保持件送入反应炉内进行热处理的半导体制造装置中，具有设置在上述反应炉周围的加热器和调节对上述加热器的供给功率的供给功率调节器，上述供给功率调节器由将交流电源的交流电压变换为与控制信号的频率对应的交流功率并供给上述加热器的功率用IGBT变换器、和将因该IGBT变换器的切换动作而产生的反电动势再生并返回交流电源的再生用IGBT变换器构成。
供给功率调节器半导体制造装置

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