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[发明专利]等离子体蚀刻方法-CN201780015381.2有效
发明人： 松浦豪 -专利权人：日本瑞翁株式会社
申请日： 2017-03-08 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明的等离子体蚀刻方法包含：沉积工序，将处理容器内设为包含第1处理气体和以稀有气体作为主成分的第2处理气体的气体环境而形成薄膜，上述第1处理气体包含含有氟原子和/或碳原子的至少一种的气体；以及蚀刻工序，将处理容器内设为至少包含第2处理气体的气体环境，对被处理基板进行等离子体蚀刻，对沉积工序和蚀刻工序进行切换并交替实施，并且在沉积工序中处理容器内的气体环境包含第1处理气体和第2处理气体的情况下，使该气体环境中含有以质量基准计为碳原子的2.4倍以上且3.1倍以下的氟原子。
等离子体蚀刻方法

[发明专利]单氟甲烷的制造方法-CN202180031838.5在审
发明人： 松浦豪 -专利权人：日本瑞翁株式会社
申请日： 2021-05-19 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： C07B61/00 文献下载
摘要：本发明提供一种能够以气相流通方式在不使用催化剂的情况下制造单氟甲烷的制造方法。本发明为一种单氟甲烷的制造方法，其包括使原料气体在连续流通的状态下放电、接着连续地排出至放电区域外的步骤，所述原料气体包含含氟无机化合物、式1：CH3‑R[其中，R为氢原子、氯原子、溴原子、碘原子或有机基团(但烃基除外)。]表示的化合物以及非活性气体。
甲烷制造方法

[发明专利]硫化羰的制造方法-CN202080034998.0在审
发明人： 松浦豪 -专利权人：日本瑞翁株式会社
申请日： 2020-06-22 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： C01B32/77 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种能够以气相流通方式、不使用催化剂就制造硫化羰的制造方法。本发明的硫化羰的制造方法包括：使包含起始物质的原料气体在连续流通的状态进行放电、接着连续地排出至放电区域外，上述起始物质是由选自CO2、CO、O2及O3中的至少一种和CS2构成的。
硫化制造方法

[发明专利]等离子体蚀刻方法-CN201580059034.0在审
发明人： 松浦豪 -专利权人：日本瑞翁株式会社
申请日： 2015-10-22 - 公布日： 2017-08-29 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明为等离子体蚀刻方法，其为在等离子体条件下使用处理气体的等离子体蚀刻方法，其特征在于，使用选自由式(I)表示的氢氟醚中的至少1种作为处理气体。式(1)中，R表示氢原子或者由CnF2n+1表示的氟烷基。m、n表示满足1≤m≤3、3≤(m+n)≤4的整数。根据本发明，提供在硅氧化物的蚀刻中即使不使用氧、氢也能够获得足够高的蚀刻速度并且实现与硅氮化物、硅、有机材料的高蚀刻选择性的等离子体蚀刻方法。CmF2m+1‑O‑CH2‑R (I)。
等离子体蚀刻方法

[发明专利]一种超疏水聚偏氟乙烯六氟丙烯多孔膜的制备工艺-CN201510677063.5在审
发明人：冯宣;朱嘉明;蒋兰英;松浦豪 -专利权人：中南大学
申请日： 2015-10-12 - 公布日： 2016-01-06 - 主分类号： B01D71/82 文献下载
摘要：本发明涉及一种表面改性的聚偏氟乙烯-聚偏氟乙烯六氟丙烯多孔膜的制备方法，即将聚偏氟乙烯(PVDF)、聚偏氟乙烯六氟丙烯(PVDF-HFP)极性溶剂和添加剂配制成铸膜液，并借助非溶剂致相变固化技术制备所需的非对称中空纤维膜。在此基膜表面通过使用纳米硅材料进行改性，使其制备成超疏水性中空纤维膜。在基膜制备过程中，配制好的铸膜液从中空纤维膜纺丝机的喷丝头外孔流出，芯液从对应的内孔流出；膜丝通过两种不同溶液组成的外凝胶浴相变成型，最后膜丝用绕丝轮收集。本发明向铸膜液中添加了一种超疏水材料(PVDF-HFP)旨在提高膜丝的疏水性，然后通过表面改性，进一步提高膜丝的疏水性，并改善在制膜过程中出现的膜缺陷而导致膜丝的通量，截留率下降的情况。
一种疏水聚偏氟乙烯丙烯多孔制备工艺

[实用新型]钛白废酸膜蒸馏浓缩装置-CN201420742535.1有效
发明人：冯宣;蒋兰英;松浦豪 -专利权人：中南大学
申请日： 2014-11-24 - 公布日： 2015-06-10 - 主分类号： B01D61/36 文献下载
摘要：本实用新型涉及是一种用来处理钛白粉生产中水解环节的钛白废酸的设备，特别是一种钛白废酸膜蒸馏浓缩装置。料液储存罐两端分别安装有一联合接头，通过联合接头接通膜组件与冷侧循环管路，通过冷循环管路连接冷侧渗透液罐，所述冷循环管路上安装有二号循环泵及恒温器；料液储存罐外壁上设有水浴槽，该水浴槽通过热循环管路连接热水浴装置；料液储存罐内安装有搅拌装置。本实用新型钛白废酸膜蒸馏浓缩装置，其结构简单，节能，处理效果好，最大限度降低对部分设备的腐蚀性，使资源得到充分利用。
钛白废酸膜蒸馏浓缩装置