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- [发明专利]超微小压入试验装置-CN01800199.8无效
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长岛伸夫;宫原健介;松冈三郎
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科学技术振兴事业团;独立行政法人物质材料研究机构
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2001-02-09
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2002-08-07
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G01N3/40
- 一种超微小压入试验装置,具备配设了硅探针(1)和金刚石压头(2)的双支承杆(3的杆座(4),用来使杆座(4)在3轴方向移动的移动机构(7),用来将金刚石压头压入试料中的压入机构(6),硅探针(1)或金刚石压头(2)的变位测定用的变位计(10),以及用于硅探针(1)或金刚石压头(2)的位置决定以及试料表面的观察的光学收象装置(11);它复合并兼备将金刚石压头压入试料表面后进行根据压入力以及压入深度测定的硬度测定功能、从金刚石压头或硅探针的变位量取得试料表面的形状的分子之间力显微镜功能、以及进行根据光学接收图象装置的试料表面观察的光学显微镜功能,还提供兼备在超微小区域的材料表面的硬度测定功能以及高精度的表面观察功能的试验装置。
- 微小试验装置
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