专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]电磁驱动的光开关及其制作方法-CN02156053.6无效
  • 卢慧娟;李新立;张文阳;李政鸿 - 财团法人工业技术研究院
  • 2002-12-13 - 2004-06-23 - G02B6/35
  • 本发明是有关于一种电磁驱动的光开关及其制作方法,该开关包括有一悬臂(cantilever),其上方设有一镜面,悬臂下方设有一磁膜,在其相对位置处有一平面线圈,线圈与磁膜共同组成一电磁驱动单元,配合悬臂上的一扭力杆,使得悬臂可进行如跷跷板般的运动,带动镜面上下移动作为光开关;本发明所公开的光开关是利用IC制作过程以微机电技术制造而成,首先在一第一基板上形成悬臂、扭力杆、磁膜与镜面,接着在一第二基板上形成上述之线圈,最后再由第一基板与第二基板上定位沟的精确对位结合,完成光开关的结构。
  • 电磁驱动开关及其制作方法

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