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[发明专利]一种柔性紫外光压印复合模板及其制备方法-CN201310234429.2有效
发明人： 李志炜;张满;杨勇;胡松;邱传凯 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2013-06-14 - 公布日： 2013-09-04 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明提供一种柔性紫外光压印复合模板及其制备方法，所述复合模板为三层结构，包括柔性支撑层，中间层以及刚性结构层。所述柔性支撑层为低弹性模量高分子衬底；所述中间层为多官能度有机巯基单体与烯烃单体混合物紫外光固化交联物；所述刚性结构层为多官能度（含硅）巯基单体与（含硅）烯烃单体混合物紫外光固化交联物。所述刚性结构层表面具有微纳压印结构。本发明的柔性紫外光压印复合模板在普通实验室环境下光固化制备，无需真空或氮气保护；施行紫外光固化压印时无需机械协助，既具有柔性模板压印自适应衬底形状的优点，也具有刚性模板可复制高分辨率纳米结构的优点。
一种柔性紫外光压印复合模板及其制备方法

[发明专利]一种巯基-烯紫外光固化纳米压印材料-CN201310234613.7有效
发明人： 李志炜;张满;杨勇;胡松;邱传凯 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2013-06-14 - 公布日： 2013-09-04 - 主分类号： G03F7/075 文献下载
摘要：一种巯基-烯紫外光固化纳米压印材料，由低粘度、多官能度的液体预聚物、光引发剂、助剂与稀释剂组成。低粘度、多官能度液体预聚物由（含硅）巯基单体和（含硅）烯烃单体组成。（含硅）巯基单体和（含硅）烯烃单体均含有两个或两个以上的可固化交联官能团，可固化交联官能团为巯基或碳碳不饱和双键。液体预聚物占材料总质量的5%-90%，稀释剂质量占材料总质量的95%-10%，光引发剂质量为液体预聚物质量的1%-5%，助剂质量为液体预聚物质量的0.01%-10%。本发明具有低粘度、快速固化、可在空气中完全固化、低收缩率的特点，基于旋转涂膜工艺，可作为紫外光固化纳米压印胶使用，实现大面积紫外光固化纳米压印，经济高效地生产出关键尺寸小于100纳米的图案。
一种巯基紫外光固化纳米压印材料

[发明专利]基于二次增强的表面增强拉曼探头的制作方法-CN201310010207.2无效
发明人：邓启凌;夏良平;尹韶云;李志炜;杜春雷 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2013-01-11 - 公布日： 2013-04-17 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：本发明是基于二次增强的表面增强拉曼探头的制作方法，由镀金属膜的四棱锥微尖结构及其尖端的金属纳米颗粒组成。微尖结构激发传播的表面等离子体波，沿金属膜表面传播并汇聚于其尖端，形成初步的局域增强场，该增强场作为激发场，激发金属纳米颗粒产生进一步的局域，形成比初步局域场更强的二次局域增强场，从而获得较高的增强因子，使探头实现高灵敏的表面增强拉曼探测。本发明克服了传统的拉曼探测器的增强因子不高的问题，实现了高灵敏的表面增强拉曼探测。
基于二次增强表面探头制作方法

[发明专利]在复杂形状表面复制高分辨率纳米结构的压印方法及其应用-CN200810195525.X无效
发明人：葛海雄;陈延峰;李志炜;袁长胜;卢明辉 -专利权人：南京大学
申请日： 2008-11-04 - 公布日： 2009-07-08 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：在复杂形状表面复制高分辨率纳米结构的压印方法，纳米结构模板通过压力压入加热熔融的高分子薄膜或紫外光固化材料，固化材料定型后移去模板，然后将纳米结构转移至基片上；压印模板采用柔性纳米压印模板，柔性纳米压印模板采用双层复合结构，该双层复合模板上层为柔性的高分子弹性体衬底，杨氏模量范围在1～15N/mm²，厚度可调，在0.1毫米至2毫米之间；下层为刚性的光固化高分子纳米压印图案层，杨氏模量在20N/mm²以上，厚度可调，在50纳米至500纳米之间。
复杂形状表面复制高分辨率纳米结构压印方法及其应用

[发明专利]基于纳米压印技术的自支撑透射金属光栅及制备方法-CN200810023911.0无效
发明人：袁长胜;袁远;陈明;李志炜;葛海雄;祝明伟;陈延峰 -专利权人：南京大学
申请日： 2008-04-21 - 公布日： 2008-09-10 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于纳米压印技术制备的，用于深紫外线、软X射线和物质粒子衍射的高密度、自支撑透射金属光栅，金属光栅的线密度＞2000条/毫米，光栅无衬底支撑，光栅金属线条间是镂空的，金属线条由足够强度、较大周期(1～40微米)的金属网络结构支撑，构成光栅的金属材料是金。其制作步骤：1)纳米压印技术、反应离子刻蚀工艺、电化学镀膜工艺在衬底上制备高密度金属光栅；2)光刻工艺和电化学镀膜工艺制备大周期金属网络支撑结构；3)化学刻蚀方法除去衬底使光栅镂空；4)聚焦离子束技术对透射光栅在制作过程中产生的局部缺陷进行修复。本发明以纳米压印技术制备光栅结构，制作方法便捷可靠、大幅度降低了制作成本。
基于纳米压印技术支撑透射金属光栅制备方法