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[实用新型]一种半导体系统BeCl专用带负压调压装器-CN202321153952.8有效
发明人：王杰;刘海挺;刘家乐;李应涵;薛鑫磊;陆杲;曹玉娜;杨文 -专利权人：上海皓固机械工业有限公司
申请日： 2023-05-12 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： F16K1/00 文献下载
摘要：本申请涉及减压器技术的领域，尤其是涉及一种半导体系统BeCl专用带负压调压装器；包括母体、第一连接管、第二连接管、截止组件、施力组件、传递组件以及负压回复组件；截止组件用于关闭或打开气体通道；传递组件与截止组件连接，用于将施力组件的力传递至截止组件；施力组件用于驱使截止组件运动；负压回复组件与截止组件连接，抽真空状态时，负压回复组件用于驱使截止组件运动；当第一连接管与第二连接管的气压相同时，负压回复组件运动，负压回复组件带动截止组件运动，气体通道关闭，此时循环负压状态的运动，逐渐将半导体内的有害气体进行全部抽取，此外抽取过程中不需要人工操作，提高了对半导体加工设备有害气体抽取的效率。
一种半导体系统 becl 专用带负压调压

[实用新型]一种可调式真空发生器-CN202320951589.8有效
发明人：王杰;李应涵;刘海挺;刘家乐;薛鑫磊;陆杲;曹玉娜;杨文 -专利权人：上海皓固机械工业有限公司
申请日： 2023-04-25 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： F04F5/20 文献下载
摘要：本申请涉及真空发生器的领域，尤其是涉及一种可调式真空发生器；包括发生块主体、进气管、喷射管、增压管、第一负压管以及移动组件；发生块主体内设有气体发生腔室；进气管可活动连接于发生块主体的一侧，并与发生块主体连通设置；增压管通过移动组件滑动连接于发生腔室内，增压管与进气管连接且连通设置，增压管用于对进气管内的气体进行增压处理；喷射管设于发生块主体的另一侧，喷射管与发生块主体连通设置；负压管设于发生块主体上，负压管与发生腔室连通设置；调节移动组件，移动组件带动增压管运动，增压管靠近或远离喷射管，进而使得第一负压管处的吸附力增大或者减小，便于实现针对不同重量物件的吸附，进而减少了能源的浪费。
一种调式真空发生器

[实用新型]一种高纯气体管道阀-CN202320638971.3有效
发明人：王杰;刘家乐;刘海挺;李应涵;薛鑫磊;陆杲;曹玉娜;杨文 -专利权人：上海皓固机械工业有限公司
申请日： 2023-03-27 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： F16K7/16 文献下载
摘要：本申请涉及管道阀设备领域，尤其是涉及一种高纯气体管道阀，其包括阀体、阀杆螺母、阀杆以及手柄，所述阀杆螺母安装在所述阀体顶部的开口处，所述阀杆螺母内嵌有活塞，所述阀杆螺纹配合于所述阀杆螺母内，且所述阀杆的底部抵接于所述活塞的顶部，所述阀杆的顶部从所述阀杆螺母的顶部伸出，所述阀杆的顶部与所述手柄相连；所述阀杆与所述活塞之间设置有钢球，所述钢球的顶部与所述阀杆的底部相连，所述钢球的底部与所述活塞的顶部相抵接。本申请的目的是为了在操作人员转动手柄操控阀杆的过程中，有效减少阀杆与活塞之间的摩擦、降低阀杆在与活塞不断摩擦过程中产生的损耗，进而有利于延长管道阀整体的使用寿命。
一种高纯气体管道

[实用新型]一种微小气流控制的压力调节系统-CN202320765810.0有效
发明人：王杰;刘家乐;刘海挺;李应涵;薛鑫磊;陆杲;曹玉娜;杨文 -专利权人：上海皓固机械工业有限公司
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： F17D1/02 文献下载
摘要：本申请涉及一种微小气流控制的压力调节系统，涉及气体输送领域，包括先导减压阀、主阀、气流控制装置和管路组件，管路组件包括主进管、主出管、先导支管、主阀控制管和旁通管，主进管与主阀的入口连接，主出管与主阀的出口连接，先导支管一端与主进管连接且另一端与主阀控制管连接，主阀控制管远离先导支管的一端与主阀的控制口连接，旁通管一端与先导支管连接且另一端与主出管连接，气流控制装置设置在旁通管上，先导减压阀设置在先导支管上，气流控制装置用于控制旁通管的双向气流的大小。本申请不仅解决了反向气流导致先导减压阀使用寿命低的问题，还能够适用大流量的使用环境。
一种微小气流控制压力调节系统

[发明专利]一种半导体系统BeCl专用带负压调压装器-CN202310540161.9在审
发明人：王杰;刘海挺;刘家乐;李应涵;薛鑫磊;陆杲;曹玉娜;杨文 -专利权人：上海皓固机械工业有限公司
申请日： 2023-05-12 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： F16K1/00 文献下载
摘要：本申请涉及减压器技术的领域，尤其是涉及一种半导体系统BeCl专用带负压调压装器；包括母体、第一连接管、第二连接管、截止组件、施力组件、传递组件以及负压回复组件；截止组件用于关闭或打开气体通道；传递组件与截止组件连接，用于将施力组件的力传递至截止组件；施力组件用于驱使截止组件运动；负压回复组件与截止组件连接，抽真空状态时，负压回复组件用于驱使截止组件运动；当第一连接管与第二连接管的气压相同时，负压回复组件运动，负压回复组件带动截止组件运动，气体通道关闭，此时循环负压状态的运动，逐渐将半导体内的有害气体进行全部抽取，此外抽取过程中不需要人工操作，提高了对半导体加工设备有害气体抽取的效率。
一种半导体系统 becl 专用带负压调压

[发明专利]一种微小气流控制的压力调节系统-CN202310371424.8在审
发明人：王杰;刘家乐;刘海挺;李应涵;薛鑫磊;陆杲;曹玉娜;杨文 -专利权人：上海皓固机械工业有限公司
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： F17D1/02 文献下载
摘要：本申请涉及一种微小气流控制的压力调节系统，涉及气体输送领域，包括先导减压阀、主阀、气流控制装置和管路组件，管路组件包括主进管、主出管、先导支管、主阀控制管和旁通管，主进管与主阀的入口连接，主出管与主阀的出口连接，先导支管一端与主进管连接且另一端与主阀控制管连接，主阀控制管远离先导支管的一端与主阀的控制口连接，旁通管一端与先导支管连接且另一端与主出管连接，气流控制装置设置在旁通管上，先导减压阀设置在先导支管上，气流控制装置用于控制旁通管的双向气流的大小。本申请不仅解决了反向气流导致先导减压阀使用寿命低的问题，还能够适用大流量的使用环境。
一种微小气流控制压力调节系统

[发明专利]一种半导体超高纯膜片制作模具及制作方法-CN202310611321.4在审
发明人：王杰;刘家乐;刘海挺;李应涵;任志强;薛鑫磊;曹玉娜;陆杲;杨文 -专利权人：上海皓固机械工业有限公司
申请日： 2023-05-26 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： B29C67/00 文献下载
摘要：本申请涉及膜片加工模具的领域，尤其是涉及一种半导体超高纯膜片制作模具及制作方法；包括外部接头以及锁紧块；所述外部接头设有气体通道，所述外部接头一端与充气设备连接；所述锁紧块可拆卸连接于所述外部接头的另一端，阀体膜片设于所述外部接头与所述锁紧块之间；通过将阀体膜片放置在外部接头内，锁紧块将阀体膜片与外部接头固定，再将高压气体通入到外部接头内，在高压气体的作用下实现对阀体膜片的加工，加工过程中可以通过控制高压气体的通入量，以适配不同材质的阀体膜片，便于实现对不同材质阀体膜片的精确加工，进而提高了对阀体膜片的加工品质。
一种半导体高纯膜片制作模具制作方法

[发明专利]一种可调式真空发生器-CN202310461447.8在审
发明人：王杰;李应涵;刘海挺;刘家乐;薛鑫磊;陆杲;曹玉娜;杨文 -专利权人：上海皓固机械工业有限公司
申请日： 2023-04-25 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： F04F5/20 文献下载
摘要：本申请涉及真空发生器的领域，尤其是涉及一种可调式真空发生器；包括发生块主体、进气管、喷射管、增压管、第一负压管以及移动组件；发生块主体内设有气体发生腔室；进气管可活动连接于发生块主体的一侧，并与发生块主体连通设置；增压管通过移动组件滑动连接于发生腔室内，增压管与进气管连接且连通设置，增压管用于对进气管内的气体进行增压处理；喷射管设于发生块主体的另一侧，喷射管与发生块主体连通设置；负压管设于发生块主体上，负压管与发生腔室连通设置；调节移动组件，移动组件带动增压管运动，增压管靠近或远离喷射管，进而使得第一负压管处的吸附力增大或者减小，便于实现针对不同重量物件的吸附，进而减少了能源的浪费。
一种调式真空发生器

[实用新型]一种提升使用寿命的气体稳压减压器-CN202320400118.8有效
发明人：王杰;刘家乐;刘海挺;李应涵;薛鑫磊;杨文;陆杲;曹玉娜;王金成 -专利权人：上海皓固机械工业有限公司
申请日： 2023-03-03 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： F16K17/30 文献下载
摘要：本申请涉及气体稳压器的领域，公开了一种提升使用寿命的气体稳压减压器，其包括阀体，阀体内设置有阀腔，阀腔内壁上开设有通道，通道底部上开设有底部空间，阀体上开设有入口与出口，入口与通道连通，出口与阀腔连通，通道插接有喷嘴，喷嘴贯穿开设有喷道；移动于通道内的阀杆，阀杆的一端位于底部空间内，阀杆固定有弹簧销，弹簧销的一端穿过喷道位于阀腔内，阀杆套有第一密封圈与第二密封圈，第一密封圈于喷道开口处顶接喷嘴，第二密封圈顶接底部空间侧壁；移动于阀腔内的中心螺丝，中心螺丝顶接弹簧销，中心螺丝固定套有膜片，膜片固定于阀腔侧壁上，膜片将阀腔分隔为常态腔与流动腔。本申请具有效果：减少膜片受到的压力以提升使用寿命。
一种提升使用寿命气体稳压减压器

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