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[发明专利]研磨装置-CN201810467127.2有效
发明人：田山游;杉山将贵;小山隆行;田中敬;山谷昭彦;加藤刚敏 -专利权人：创技股份有限公司
申请日： 2018-05-16 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： B24B37/26 文献下载
摘要：本发明提供一种研磨装置，无需使构造复杂化而优先且有效地对作为研磨面的主要温度调节对象的预定区域进行温度调节，并能够抑制伴随工件的研磨而产生研磨面的温度的局部变化，或者，与其相关的研磨条件的局部偏离的研磨装置。设置在下定盘(2)的研磨面的背侧的温度调节构造(40)具有：给水口(41)，其供给温度调节用流体；排水口(42)，其排出温度调节用流体；流路(43)，其沿排列在下定盘(2)的径向的多个同心圆延伸；分隔壁(44)，其沿下定盘(2)的径向延伸并分隔同心圆。而且，温度调节用流体从给水口(41)在沿第3同心圆(R3)的第3流路(43c)内朝向第1个方向流动，并沿分割壁(44)折回而流入沿第4同心圆(R4)的第4流路(43d)，在沿第4流路(43d)内朝向与第1个方向相反的方向流动而从排水口(42)排出。
研磨装置

[发明专利]工件游星轮及工件游星轮的制造方法-CN201810250478.8有效
发明人： 杉山将贵 -专利权人：创技股份有限公司
申请日： 2018-03-26 - 公布日： 2021-05-28 - 主分类号： B24B37/27 文献下载
摘要：本发明提供一种即使游星轮基板薄的情况时，也能够防止树脂插入部的在径向上的脱离或在正反方向上穿过等脱落的工件游星轮。工件游星轮在沿着形成在金属制的游星轮基板(1)上的工件保持孔(2)的内周面上设置有树脂插入部(3)。而且，在成为工件保持孔的外缘部(13)的游星轮基板上，在圆周方向上交替地形成有分别朝向正反方向凹陷的正面侧凹部(4A)及背面侧凹部(4B)，并且设置有贯穿连续正面侧凹部及背面侧凹部的正反方向的通孔部(8)。进一步，沿着正面侧凹部、背面侧凹部及通孔部以及所述工件保持孔的内周面的部分，填充成为树脂插入部的合成树脂材料。本发明还提出所述工件游星轮的制造方法。
工件游星制造方法

[发明专利]两面研磨装置用的被研磨物保持用游星轮-CN201811032707.5有效
发明人：田中敬;杉山将贵 -专利权人：创技股份有限公司
申请日： 2018-09-05 - 公布日： 2021-02-23 - 主分类号： B24B37/28 文献下载
摘要：本发明提供一种被研磨物保持用游星轮，该被研磨物保持用游星轮是两面研磨装置用的被研磨物保持用游星轮，用于获得具有精密的上下面粗糙度、并且具有优良的平行度、优良的平坦度的被研磨物。利用下述两面研磨装置用的被研磨物保持用游星轮解决问题，该被研磨物保持用游星轮具有一个或者一个以上用于保持被研磨物的保持孔，其特征在于，在比假想同心圆靠内侧的游星轮基材上穿孔多个小孔，并且在比前述假想同心圆靠外侧的游星轮基材上穿孔多个具有比前述小孔大的直径的小孔，该假想同心圆与用于保持被研磨物的保持孔具有相同的中心，并且以具有比该保持孔的半径大的半径的方式描绘。
两面研磨装置保持游星