专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]连续式纳米图案装置及利用其制造的防反射基板-CN201320534021.2有效
  • 李相老;罗钟周;朴明渐;金明根;金允焕;徐在亨;岳昕;李智英 - (株)SEP
  • 2013-08-29 - 2014-05-14 - H01L33/00
  • 本实用新型涉及纳米图案涂覆技术领域,具体公开了一种连续式纳米图案装置包括:加载锁舱室(10),其将作为非加工物的基板投入到工艺中;溅射舱室(20),从上述加载锁舱室(10)排出的基板投入其中,并且在上述基板表面通过溅射方式形成纳米掩膜;蚀刻舱室(30),在表面形成有纳米掩膜的基板投入其中,并且蚀刻上述基板的表面后,形成纳米掩膜;以及卸载锁舱室(40),其将形成有纳米图案的基板排出至装置外部,并且,上述舱室通过一个连续式设备进行连接,从而投入至上述加载锁舱室(10)的基板连续经过上述溅射舱室(20)及蚀刻舱室(30)后,从上述蚀刻舱室(40)排出。本实用新型还提供了一种防反射基板。
  • 连续纳米图案装置利用制造反射

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