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- [实用新型]一种机器人上下料机-CN202022749458.0有效
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盈国亮;杨世武
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昆山首佳智能科技有限公司
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2020-11-25
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2021-07-20
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B65G47/90
- 本实用新型涉及一种机器人上下料机，包括取料机器人，传送轨道，第一料位，第二料位和工作台，取料机器人设置在工作台上，传送轨道设置在取料机器人的抓手下方，所述第一料位和第二料位设置在取料机器人两侧，所述第二料位和取料机器人之间设有顶升装置，顶升装置包括顶升组件，多组顶升组件平行设置，顶升组件包括滑轨，滑板，导轨，滑块和支撑杆，所述滑轨设置在工作台上，滑板设置在滑轨上，所述导轨设置在滑板上，滑块设置在导轨上，支撑杆垂直设置在滑块上。本实用新型的一种机器人上下料机能够便于在供料和接料模式之间切换，既能用于供料，也能用于接料，提升了设备使用的灵活性。
- 一种机器人上下
- [实用新型]一种半导体刻蚀设备-CN202022042297.1有效
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杨世武
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昆山首佳智能科技有限公司
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2020-09-17
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2021-06-11
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B01D46/10
- 本实用新型涉及一种半导体刻蚀设备，包括腔室，过滤器和风机，所述腔室包括主体和上盖，上盖设置在主体上，所述过滤器一端与主体枢轴连接，另一端与主体可拆卸连接，过滤器包括第一辊筒，第二辊筒和过滤件，过滤件两端缠绕在第一辊筒和第二辊筒上，所述第一辊筒与电机连接，所述风机设置在上盖中，上盖设有进风口和出风口，进风口设置在上盖上方，出风口设置在上盖下方，所述过滤件设置在出风口中。本实用新型的一种半导体刻蚀设备能够通过自动更换过滤件，延长过滤器的更换时间，从而提升设备的利用效率。
- 一种半导体刻蚀设备
- [实用新型]一种半导体电镀工装-CN202022045262.3有效
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杨世武
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昆山首佳智能科技有限公司
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2020-09-17
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2021-05-18
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C25D17/06
- 本实用新型涉及一种半导体电镀工装，包括主体，主体包括支撑部和连接部，支撑部和连接部之间具有弧形壁，支撑部上方设有容纳部，支撑部包括第一支撑板和第二支撑板，第一支撑板和第二支撑板交错设置，第一支撑板和第二支撑板的端部设有弧形凸部，第一支撑板和第二支撑板设有垫块，垫块与弧形凸部间隔设置，第一支撑板和第二支撑板均设有凹槽，所述垫块设置在凹槽两侧，弧形凸部设置在凹槽两侧。本实用新型的一种半导体电镀工装能够使硅片平稳设置，减少硅片与工装的接触，降低硅片被污染风险。
- 一种半导体电镀工装
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