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[实用新型]真空吸附式环形末端夹持器-CN202023091696.3有效
发明人：何瑞;郭梅;刘丹;韩浚源 -专利权人： 昀智科技（北京）有限责任公司
申请日： 2020-12-21 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： B25J15/06 文献下载
摘要：本实用新型公开一种真空吸附式环形末端夹持器，包括：法兰和吸盘；法兰，用于安装外部结构；吸盘包括第一吸盘和第二吸盘,第一吸盘和第二吸盘相对设置呈环形结构,并分别与法兰的两端连接呈一体结构。通过实施本实用新型的技术方案，环形吸盘通过三个触盘与晶圆片的边缘区域接触，形成三点的稳定接触，可以有效提高吸盘对晶圆片整个表面的支撑，避免晶圆片的变形，提高夹持晶圆片的稳定性；三个沟槽通过各自的抽气孔与气道连通，共同使用相同的气源，形成稳定均匀的吸附力从晶圆片的边缘区域来吸附晶圆；在环形吸盘上还设置有限位块，在搬运过程中因事故或意外导致晶圆片与吸盘松脱时，对晶圆片起到限位和保护的作用。
真空吸附环形末端夹持

[实用新型]用于晶圆搬运机器人的旋转控制结构-CN202120424680.5有效
发明人：何瑞;郭梅;刘丹;韩浚源 -专利权人： 昀智科技（北京）有限责任公司
申请日： 2021-02-26 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： B25J9/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于晶圆搬运机器人的旋转控制结构，包括支撑结构、驱动结构、传动结构和旋转结构；支撑结构包括底板、基座和面板，基座为具有顶底开口的中空腔体结构，且内壁设置有隔板，将基座分隔为顶层基座和底层基座，面板和底板分别安装在基座上；驱动结构贯穿旋转结构并安装在基座上；传动结构安装在基座上，包括第一传动结构、第二传动结构和连接轴；连接轴转动连接在基座上；第一传动结构位于底层基座内，并分别与连接轴底端和驱动结构固接；第二传动结构位于顶层基座内，并分别与连接轴顶端和旋转结构固接。通过将传动机构设置在基座的顶层和底层，并与连接轴固接，本装置结构紧凑，占用空间小，有很好的控制精度及运动稳定性。
用于搬运机器人旋转控制结构

[实用新型]用于晶圆搬运机器人的双臂水平运动结构-CN202120424687.7有效
发明人：何瑞;郭梅;刘丹;韩浚源 -专利权人： 昀智科技（北京）有限责任公司
申请日： 2021-02-26 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： B25J9/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于晶圆搬运机器人的双臂水平运动结构，包括骨架结构、双臂结构和驱动结构；双臂结构包括结构相同的两组运动结构，运动结构分别相对设置并安装在骨架结构两侧；驱动结构分别位于双臂结构两侧，驱动双臂结构在水平方向往复运动。通过采用带传动结构，把滑动连接块运动路径上的空隙遮蔽起来，减少了结构内部与外部环境的空气对流，确保结构内部的颗粒和粉尘不会逸散到外部空间中去，从而达到高等级超净环境中安装使用的要求；主动轮支架与主动轮转动连接，对主动轮起到辅助支撑的作用，提高主动轮转动时的稳定性；通过调整调节螺钉的伸出长度来调节从动轮与同步带的相对位置，进而调节同步带的张力，因此提高运动时的稳定性。
用于搬运机器人双臂水平运动结构

[实用新型]适用于超净间的龙门型大负载高精度升降装置-CN202120424691.3有效
发明人：何瑞;郭梅;刘丹;韩浚源 -专利权人： 昀智科技（北京）有限责任公司
申请日： 2021-02-26 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： B25J9/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种适用于超净间的龙门型大负载高精度升降装置，包括龙门基座、传动装置和升降结构，传动装置安装在龙门基座上，包括带传动结构、滑动结构、驱动结构，带传动结构安装在龙门基座一侧；滑动结构与带传动结构竖直方向平行设置，并安装在龙门基座两侧；驱动结构安装在龙门基座底部，并与带传动结构连接；升降结构包括运动基座和滑动连接块，运动基座位于龙门基座正面；滑动连接块一端与运动基座固结，另一端与滑动结构和/或带传动结构连接。通过本实用新型，提高了升降结构在大负载情况下的运动稳定性和位置控制精度。密封保护结构安装在龙门基座两侧，将升降装置正面的面板轨道槽遮蔽，减少了传动装置内部与外部环境的空气对流。
适用于超净间龙门负载高精度升降装置

[发明专利]用于晶圆搬运机器人的双臂水平运动结构-CN202110217024.2在审
发明人：何瑞;郭梅;刘丹;韩浚源 -专利权人： 昀智科技（北京）有限责任公司
申请日： 2021-02-26 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： B25J9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于晶圆搬运机器人的双臂水平运动结构，包括骨架结构、双臂结构和驱动结构；双臂结构包括结构相同的两组运动结构，运动结构分别相对设置并安装在骨架结构两侧；驱动结构分别位于双臂结构两侧，驱动双臂结构在水平方向往复运动。通过采用带传动结构，把滑动连接块运动路径上的空隙遮蔽起来，减少了结构内部与外部环境的空气对流，确保结构内部的颗粒和粉尘不会逸散到外部空间中去，从而达到高等级超净环境中安装使用的要求；主动轮支架与主动轮转动连接，对主动轮起到辅助支撑的作用，提高主动轮转动时的稳定性；通过调整调节螺钉的伸出长度来调节从动轮与同步带的相对位置，进而来调节同步带的张力，因此提高运动时的稳定性。
用于搬运机器人双臂水平运动结构

[发明专利]用于晶圆搬运机器人的旋转控制结构-CN202110217035.0在审
发明人：何瑞;郭梅;刘丹;韩浚源 -专利权人： 昀智科技（北京）有限责任公司
申请日： 2021-02-26 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： B25J9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于晶圆搬运机器人的旋转控制结构，包括支撑结构、驱动结构、传动结构和旋转结构；支撑结构包括底板、基座和面板，基座为具有顶底开口的中空腔体结构，且内壁设置有隔板，将基座分隔为顶层基座和底层基座，面板和底板分别安装在基座上；驱动结构贯穿旋转结构并安装在基座上；传动结构安装在基座上，包括第一传动结构、第二传动结构和连接轴；连接轴转动连接在基座上；第一传动结构位于底层基座内，并分别与连接轴底端和驱动结构固接；第二传动结构位于顶层基座内，并分别与连接轴顶端和旋转结构固接。通过将传动机构设置在基座的顶层和底层，并与连接轴固接，本发明装置结构紧凑，占用空间小，有很好的控制精度及运动稳定性。
用于搬运机器人旋转控制结构

[发明专利]适用于超净间的龙门型大负载高精度升降装置-CN202110217041.6在审
发明人：何瑞;郭梅;刘丹;韩浚源 -专利权人： 昀智科技（北京）有限责任公司
申请日： 2021-02-26 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： B25J9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种适用于超净间的龙门型大负载高精度升降装置，包括龙门基座、传动装置和升降结构，传动装置安装在龙门基座上，包括带传动结构、滑动结构、驱动结构，带传动结构安装在龙门基座一侧；滑动结构与带传动结构竖直方向平行设置，并安装在龙门基座两侧；驱动结构安装在龙门基座底部，并与带传动结构连接；升降结构包括运动基座和滑动连接块，运动基座位于龙门基座正面；滑动连接块一端与运动基座固结，另一端与滑动结构和/或带传动结构连接。通过本发明，提高了升降结构在大负载情况下的运动稳定性和位置控制精度。密封保护结构安装在龙门基座两侧，将升降装置正面的面板轨道槽遮蔽起来，减少了传动装置内部与外部环境的空气对流。
适用于超净间龙门负载高精度升降装置

[发明专利]真空吸附式环形末端夹持器-CN202011517093.7在审
发明人：何瑞;郭梅;刘丹;韩浚源 -专利权人： 昀智科技（北京）有限责任公司
申请日： 2020-12-21 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： B25J15/06 文献下载
摘要：本发明公开一种真空吸附式环形末端夹持器，包括：法兰和吸盘；法兰，用于安装外部结构；吸盘包括第一吸盘和第二吸盘,第一吸盘和第二吸盘相对设置呈环形结构,并分别与法兰的两端连接呈一体结构。通过实施本发明的技术方案，环形吸盘通过三个触盘与晶圆片的边缘区域接触，形成三点的稳定接触，可以有效提高吸盘对晶圆片整个表面的支撑，避免晶圆片的变形，提高夹持晶圆片的稳定性；三个沟槽通过各自的抽气孔与气道连通，共同使用相同的气源，形成稳定均匀的吸附力从晶圆片的边缘区域来吸附晶圆；在环形吸盘上还设置有限位块，在搬运过程中因事故或意外导致晶圆片与吸盘松脱时，对晶圆片起到限位和保护的作用。
真空吸附环形末端夹持

[实用新型]基于步带轮和同步带的减速器-CN202021427328.9有效
发明人：何瑞;郭梅;刘丹;韩浚源 -专利权人： 昀智科技（北京）有限责任公司
申请日： 2020-07-20 - 公布日： 2021-01-12 - 主分类号： F16H7/02 文献下载
摘要：本实用新型公开一种基于步带轮和同步带的减速器，包括骨架结构和传动装置,骨架结构上安装有传动装置,骨架结构包括第一安装板、第二安装板和连接板，第一安装板和第二安装板相对设置,连接板分别与第一安装板和第二安装板固接；传动装置包括电机、主动轮和多级同步传动结构,电机安装在骨架结构外侧,主动轮位于骨架结构内侧,并与电机主轴固接,多级同步传动结构安装在第一安装板和第二安装板上,多级同步传动结构与主动轮传动连接。主动轮与多级同步传动结构传动连接，使得传动装置在承载更大的负载时更加的稳定；多级同步传动结构全部采用同步带设计，更加适合在高精度控制的设计中使用。
基于步带轮同步带减速器

[实用新型]真空吸附式叉形末端夹持器-CN202021228005.7有效
发明人：何瑞;郭梅;刘丹;韩浚源 -专利权人： 昀智科技（北京）有限责任公司
申请日： 2020-06-29 - 公布日： 2021-01-12 - 主分类号： B25J15/06 文献下载
摘要：本实用新型公开一种真空吸附式叉形末端夹持器,包括：本体；法兰,法兰位于本体一端；和吸盘,吸盘位于本体另一端,并通过本体与法兰呈一体结构,吸盘的端缘部开设有叉形缺口。目前行业中常使用中心接触的方式来拾取晶圆片，但对于大尺寸，超薄晶圆片来说，仅仅依靠中间接触，会造成晶圆的边缘区域受自重影响而下垂，造成整片晶圆片的变形，同时也会降低晶圆片在搬运过程中的稳定性。通过实施本实用新型的技术方案，吸盘为叉形结构，与晶圆片接触时，能有效防止晶圆片边缘下垂；通过叉形吸盘上三个沟槽的设置，保证夹持器在拾取大尺寸、超薄晶圆片时可以向整个晶圆面提供稳定而均匀的吸附力和支撑，从而保证晶圆片在搬运过程中的稳定性。
真空吸附叉形末端夹持

[实用新型]一种基于双导轨的SCARA机器人Z轴结构-CN202021427998.0有效
发明人：何瑞;郭梅;刘丹;韩浚源 -专利权人： 昀智科技（北京）有限责任公司
申请日： 2020-07-20 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： B25J9/04 文献下载
摘要：本实用新型公开一种基于双导轨的SCARA机器人Z轴结构，包括机械臂底座、Z轴传动装置和花键模组，Z轴传动装置和花键模组分别安装在机械臂底座上，且Z轴传动装置和花键模组连接，随着Z轴传动装置的传动带动花键模组运动；通过实施本实用新型将SCARA机器人的Z轴与Y轴的运动功能分开，实现两轴相互独立运动，互不干扰，从而提高了机器人的运动控制精度，简化运动控制算法，提高工作效率，扩展了SCARA机器人的适用性；本实用新型通过双导轨引导并限制滑动块在滚珠丝杆上做往复运动，进而提高了稳定性。
一种基于导轨 scara 机器人结构

[实用新型]一种基于导轨槽的SCARA机器人Z轴结构-CN202021428268.2有效
发明人：何瑞;郭梅;刘丹;韩浚源 -专利权人： 昀智科技（北京）有限责任公司
申请日： 2020-07-20 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： B25J9/04 文献下载
摘要：本实用新型公开一种基于导轨槽的SCARA机器人Z轴结构，包括机械臂底座、Z轴传动装置和花键模组，Z轴传动装置和花键模组分别安装在机械臂底座上，且Z轴传动装置和花键模组连接，随着Z轴传动装置的传动带动花键模组运动；通过实施本实用新型将SCARA机器人的Z轴与Y轴的运动功能分开，实现两轴相互独立运动，互不干扰，从而提高了机器人的运动控制精度，简化运动控制算法，提高工作效率，扩展了SCARA机器人的适用性。
一种基于导轨 scara 机器人结构

[实用新型]真空吸附式圆形末端夹持器-CN202021227980.6有效
发明人：何瑞;郭梅;刘丹;韩浚源 -专利权人： 昀智科技（北京）有限责任公司
申请日： 2020-06-29 - 公布日： 2020-12-15 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型公开一种真空吸附式圆形末端夹持器，包括:本体；法兰,法兰位于本体一端；和吸盘,吸盘位于本体另一端,并通过本体与法兰呈一体结构,吸盘上开设有放射状的沟槽，沟槽包括径向环形放射状的第一沟槽和径向直线放射状的第二沟槽,第二沟槽与第一沟槽相交。现有夹持器存在不易控制夹持力度，容易造成晶圆片的变形甚至破片的问题，而通过实施本实用新型的技术方案，将夹持器末端的吸盘与晶圆片之间的空气抽出，形成负压空间，利用大气压力将晶圆片稳定的吸附在吸盘上。吸盘内部的沟槽和纹路可以有效的扩大气室与晶圆片的接触范围，提高晶圆片的受力区域和稳定性，同时减小与晶圆片的直接接触的面积，可满足较高的洁净度要求。
真空吸附圆形末端夹持

[发明专利]反冲电压保护装置、方法和多路伺服电机驱动控制供电系统-CN201910375322.7在审
发明人：何瑞;刘丹;郭梅;张延;吕兵;韩浚源 -专利权人： 昀智科技（北京）有限责任公司
申请日： 2019-05-07 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： H02H7/085 文献下载
摘要：本发明公开了一种反冲电压保护装置，包括DC总线探测器、保护回路开关和保护回路负载；DC总线探测器分别与DC总线和保护回路开关连接，用于实时检测DC总线上的反冲电压，并根据检测到的反冲电压控制保护回路开关的导通和断开；保护回路开关分别与DC总线和保护回路负载连接，用于在导通时将DC总线上的反冲电压传递到保护回路负载上；保护回路负载用于释放从保护回路开关传递来的反冲电压。本发明还公开了一种多路伺服电机驱动控制供电系统和一种反冲电压保护方法。本发明可以对DC总线的电压进行实时监控，通过反冲电压保护回路对伺服电机刹车和换向时产生的反冲电压进行隔离释放，能够对DC总线上的驱动控制系统和其他用电部件进行保护。
反冲电压保护装置方法伺服电机驱动控制供电系统

[发明专利]快速高精度水平直线运动系统-CN201910375652.6在审
发明人：何瑞;刘丹;郭梅;张延;吕兵;韩浚源 -专利权人： 昀智科技（北京）有限责任公司
申请日： 2019-05-07 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： B25J5/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种快速高精度水平直线运动系统，其中包括：底座；主直线运动机构：安装于所述底座上，用于带动平台机构沿直线前后运动；辅助直线运动机构：安装于所述底座上且位于所述主直线运动机构的左、右侧，用于引导所述平台机构沿直线前后运动；驱动机构：驱动所述主直线运动机构运动；平台机构：安装于所述主直线运动机构及辅助直线运动机构上，用于带动所述平台机构上安装的机器人沿直线前后运动。本发明快速高精度水平直线运动系统结构设计简单巧妙，可提高机器人在直线运动的稳定性，并能很好的控制机器人在运动中产生的惯性。
快速高精度水平直线运动系统

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