|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 100个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]阴极支承件及离子源-CN202211453722.3在审
-
平井裕也;岩波悠太;糸井骏;足立昌和
-
日新离子机器株式会社
-
2022-11-21
-
2023-09-05
-
H01J27/02
- 本发明提供一种阴极支承件及离子源，改善进行灯丝与阴极之间的间隔调整时的作业性。阴极支承件具备：筒状或棒状的阴极支架(1)，在一端支承阴极(6)，在另一端具有凸缘部(2)；及夹持件(3、4、5)，支承阴极支架(1、61)，夹持件(3、4、5)在阴极支架(1、61)的轴向上具有第一调整面(31、41、51)和第二调整面(32、42、52)，通过使阴极支架(1、61)绕阴极支架(1、61)的轴旋转且在阴极支架(1、61)的轴向上移动，能够实现凸缘部(2)从第一调整面(31、41、51)向第二调整面(32、42、52)的配置。
- 阴极支承离子源
- [发明专利]基板保持装置-CN201910783397.9有效
-
西村一平;小野田正敏
-
日新离子机器株式会社
-
2019-08-23
-
2023-07-28
-
H01L21/677
- 本发明提供一种基板保持装置，能够避免使装置整体大型化且高成本而将基板从基板保持架抬起。基板保持装置具备：保持基板(W)的基板保持架(3)；使基板保持架(3)旋转的旋转机构(10)；多个升降销(P)，在位于比基板保持架(3)的基板载置面(3a)靠下方处的退避位置(x)与从该基板载置面(3a)突出的突出位置(y)之间升降移动；及动力传递机构(20)，介于旋转机构(10)与升降销(P)之间设置，将旋转机构(10)的使基板保持架(3)旋转的动力变换为使升降销(P)在退避位置(x)与突出位置(y)之间移动的动力而向升降销(P)传递。
- 保持装置
- [发明专利]质量分离器-CN202010166744.6有效
-
高嶋大树;西村一平
-
日新离子机器株式会社
-
2020-03-11
-
2023-05-30
-
H01J37/05
- 本发明涉及一种质量分离器，课题在于可在不使作业变得繁重下进行束路径的清扫等维护。本发明为一种对离子束(IB)进行质量分离的质量分离器(100)，该质量分离器具备：移动机构(30)，用以使属于包围束路径(L)的由磁性体所构成的磁轭(13)的构成要素的位于束路径(L)的上方、下方或侧方的上部磁轭(13a)、下部磁轭(13b)或侧方磁轭(13c、d)的至少任一者，于离子束(IB)的行进中的通常位置(P)与不和通常位置(P)的至少一部分重叠的退避位置(Q)之间移动。
- 质量分离器
- [发明专利]基板固定装置-CN202210850031.0在审
-
大槻佑介;小野田正敏;西村一平
-
日新离子机器株式会社
-
2022-07-19
-
2023-05-05
-
H01J37/20
- 本发明涉及一种基板固定装置，其能够实现马达的小型化，并且能够精密地控制基板相对于离子束的倾斜。本发明的基板固定装置具备：固定架，其固定被照射离子束的基板；以及驱动机构，其使固定架绕规定的轴旋转，来改变所固定的基板相对于离子束的倾斜；驱动机构具备：动力源，其输出使固定架旋转的动力；减速器，其设置于从动力源到固定架的动力传递路径的中途；第一轴部件，其通过从减速器输出的动力而与固定架一起旋转；第一检测器，其检测第一轴部件的旋转动作；以及动力控制部，其基于第一检测器的检测值控制动力源。
- 固定装置
- [发明专利]微粒诊断方法和微粒诊断装置-CN201810531366.X有效
-
藤本龙吾
-
日新离子机器株式会社
-
2018-05-29
-
2022-02-08
-
H01J37/244
- 本发明提供微粒诊断方法和微粒诊断装置。为了通过高效的清扫来降低微粒的产生，诊断离子束照射装置中的微粒产生部位。该微粒诊断方法包括：输送和照射步骤(S1)，通过规定的输送线路(L1)将第一基板向离子束(IB)的照射位置输送，并向输送到照射位置的第一基板照射离子束(IB)；第一判断步骤(S2)，判断在输送和照射步骤(S1)中被照射了离子束(IB)的第一基板上附着的微粒是多是少；输送步骤(S3)，当在第一判断步骤(S2)中判断为微粒多时，通过输送线路(L1)将第二基板输送到照射位置；以及第二判断步骤(S4)，判断在输送步骤(S3)中输送到照射位置的第二基板上附着的微粒是多是少。
- 微粒诊断方法装置
|
