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[发明专利]衬底的拼接装置-CN02806912.9无效
发明人： A·胡普;U·斯皮尔;R·瓦格纳;F·米彻尔斯 -专利权人： 施蒂格哈马技术股份公司
申请日： 2002-03-01 - 公布日： 2009-05-06 - 主分类号： G11B7/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种把具有一个内孔的衬底(3，4)拼接成一个衬底圆盘的装置，该装置以简单而廉价的方式保证了粘接过程中两个衬底(3，4)的同时旋转，并具有一个可引入至少两个叠置的衬底(3，4)的内孔中的元件，该元件可以膨胀，以便封闭衬底之间的间隙(30)。
衬底拼接装置

[发明专利]用于涂覆光学数据载体的片状衬底的装置和方法-CN200680014284.3无效
发明人： C·韦因德尔;W·卢克豪布 -专利权人： 施蒂格哈马技术股份公司
申请日： 2006-04-20 - 公布日： 2008-07-02 - 主分类号： G11B7/26 文献下载
摘要：为了在涂覆用于光学数据载体的片状衬底时在较低的装置费用下实现更多的灵活性，本发明提供了一种在真空输送腔中的带有1至n个输入/输出口和2至n个涂覆口的涂覆装置。一些其数量对应于涂覆口的数量的阴极溅射装置设置在真空输送腔的壁中。该装置可以平行地为两个至n个衬底提供大体上相同的覆层或者也可以是不同的覆层。此外它能够在串联运行中为衬垫提供两个至n个覆层。
用于光学数据载体片状衬底装置方法

[发明专利]用于对基片进行处理的方法和装置以及用于这种处理作业的喷嘴单元-CN200580037690.7有效
发明人： K·布兰兹;P·德雷斯;M·索瓦;T·盖林 -专利权人： 施蒂格哈马技术股份公司
申请日： 2005-10-28 - 公布日： 2007-11-14 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种对基片进行处理的方法，具有以下方法步骤：通过喷嘴单元在有待处理的基片的局部表面区域上形成液膜，其中该喷嘴单元具有至少一个纵向伸展的喷嘴装置以及与该喷嘴装置相邻布置的超声波换能器装置或者说兆赫声波换能器装置；使所述超声波转换器装置的至少一部分与所述液膜相接触，并且用所述超声波换能器装置将超声波加入到所形成的液膜中。
用于进行处理方法装置以及这种作业喷嘴单元

[发明专利]基片热处理的方法和装置-CN200580004891.7有效
发明人： W·绍勒;L·贝尔格;C·克劳斯;R·韦兴 -专利权人： 施蒂格哈马技术股份公司
申请日： 2005-11-12 - 公布日： 2007-02-21 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明涉及基片热处理的方法和装置，其中基片保持与加热板接触或与之相距很近，加热板由在其背离基片的一侧上的多个单独可控的加热元件加热。所述加热板至少在其平面上被一个与其有一定距离的框架包围，以便通过所述框架和所述加热板的至少一个边缘之间的间隙，以一种受控的方式引入气体。
热处理方法装置

[发明专利]用于清洁基片边缘的装置和方法-CN200480029580.1无效
发明人： C·克罗斯;K·阿皮奇;J·斯泽克雷舒;P·德雷斯;A·舒沃森兹 -专利权人： 施蒂格哈马技术股份公司
申请日： 2004-10-07 - 公布日： 2006-11-15 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：为了简单而经济地清洁基片的边缘区域、尤其适用于清洁非圆形的基片，提供清洁基片尤其是光掩膜和/或半导体晶片边缘的装置和方法。该装置具有至少一个带有至少一个介质供给喷嘴和至少一个介质抽吸孔的清洁头，其中清洁头具有一个主体以及至少一个第一凸缘，在主体内构成介质抽吸孔和一个连接于介质抽吸孔上的介质抽吸通道，第一凸缘具有一个指向介质抽吸孔的并且基本上垂直于主体的一个具有介质抽吸孔的侧面延伸的侧平面，其中所述至少一个介质供给喷嘴与主体间隔距离地设置在第一凸缘上，并且向着指向介质抽吸孔的凸缘侧面打开口并且基本上垂直于该侧面定向，其中介质供给喷嘴的排出口相对于凸缘的侧平面缩进或者处于该平面上，其中可以控制一个运动装置，使得它在基片顶侧面和凸缘的指向基片顶侧面的侧平面之间进行清洁时保留一个0.05至0.5mm，尤其是0.05至0.3mm，并且优选0.2mm的距离。
用于清洁边缘装置方法

[发明专利]将盘片由盘片叠里从下面取出和插入其中的方法和装置-CN200380107067.5无效
发明人： T·凯恩;J·古特舍尔;B·马纳;R·瓦纳 -专利权人： 施蒂格哈马技术股份公司
申请日： 2003-11-28 - 公布日： 2006-02-01 - 主分类号： G11B17/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种至少将一个盘片(9)从一个盘片叠(1，2)里从下面取出或者将其从下面插入一个盘片叠(1，2)里去的简单的至今为安全可靠的方法。按此方法使盘片(9)或盘片叠(1，2)垂直移动并使这垂直移动与支承住盘片叠(1，2)的固定片(3)的水平移动相结合。本发明还涉及一种实现按本发明的方法的装置。
盘片下面取出插入中的方法装置

[发明专利]用于将液体涂覆在基片上的喷嘴装置-CN03817260.7有效
发明人： A·施维尔森茨;W·索勒;A·内林;P·德雷斯;C·伯格尔;M·钦克尔;M·施特罗布尔 -专利权人： 施蒂格哈马技术股份公司
申请日： 2003-07-10 - 公布日： 2005-10-26 - 主分类号： G03D5/04 文献下载
摘要：为了将一种液体快速、均匀和尽可能不受力地涂覆到基片上，按照本发明设有一个用于将一种液体涂覆到基片上的喷嘴装置(22)，其中这装置具有一个喷嘴体(26)，它有多个基本设于一条线上的喷嘴(36)和一个基本垂直布置的、具有一个直的下底边的导向板(28)，而且其中这些喷嘴(36)在下底边之上都指向导向板(28)，因而在导向板(28)上形成了一个液体膜，它通过下底边(64)流出。
用于液体基片上喷嘴装置

[发明专利]DVD片和其它非圆形硬盘的加工-CN03806863.X无效
发明人： U·施佩尔 -专利权人： 施蒂格哈马技术股份公司
申请日： 2003-03-21 - 公布日： 2005-07-20 - 主分类号： G11B7/26 文献下载
摘要：对于一个用于将至少两个非圆形的、具有内孔(5，6)的相同外形的衬底(1，2)拼装在一起，尤其是用于形成光学数据载体的装置，提供一种衬底的无缺陷粘接和重合拼接，通过一个适配于内孔的固定单元(3)用于使衬底间隔距离且围绕一个公共轴线(8)可旋转地固定；一个对准单元(10)用于通过至少一个止挡(11)使衬底(1，2)对准，和一个移动单元用于使衬底与止挡接触。同时提供一种用于使这种衬底拼接到一起的方法。
dvd 其它圆形硬盘加工

[发明专利]粘接基底的装置-CN02809589.8无效
发明人： S·莱昂哈德特;R·瓦纳;I·居克吕 -专利权人： 施蒂格哈马技术股份公司
申请日： 2002-05-02 - 公布日： 2005-07-06 - 主分类号： G11B7/26 文献下载
摘要：为了使两个基底在粘接过程中简单经济地保证同步旋转，本发明提出一种用于将两个各有一个内孔的基底粘接成一个基底盘片的装置，带有一个可旋转的第一抓取机构(48)用于抓取第一基底，一个可旋转的第二抓取机构(86)用于抓取第二基底，一个驱动机构用于使抓取机构之一(48，86)旋转，其特征在于，第二抓取机构(86)与一根可旋转的轴(72)不可相对旋转地联接，该轴具有一个可插入到至少第二基底的内孔中的对中件(20)，第二抓取机构(86)可沿着轴(72)的旋转轴线(A)在该轴上轴向移动。
基底装置

[发明专利]基板的热处理方法-CN01819883.X有效
发明人： J·塞克雷施;P·德雷斯;U·迪策;W·绍勒 -专利权人： 施蒂格哈马技术股份公司
申请日： 2001-11-28 - 公布日： 2004-12-01 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：为了提高在待处理基板表面上的温度均匀性，提出了一种基板的热处理方法，其中基板通过多个可独立控制的加热件被加热并且分别为这些加热件拟定一个额定值剖面，该方法具有以下步骤：在热处理过程中定位分辨地测量该基板的背对所述加热件的那一面的温度；分析计算在基板表面上出现的温度不均匀性；基于所测量的温度不均匀性来确定新的额定值剖面；为随后的处理过程提供新的额定值剖面。
热处理方法

[发明专利]粘接基底的装置-CN02809607.X无效
发明人： S·莱昂哈德特;I·居克吕;M·温特 -专利权人： 施蒂格哈马技术股份公司
申请日： 2002-05-02 - 公布日： 2004-10-13 - 主分类号： G11B7/26 文献下载
摘要：为了使两个基底在粘接过程中简单经济地保证同步旋转，本发明提出一种用于将两个各有一个内孔的基底粘接成一个基底盘片的装置，带有一个可旋转的第一抓取机构(48)用于抓取第一基底，一个与第一抓取机构不可相对旋转地连接的对中销(1)，一个驱动机构用于使对中销(1)和第一抓取机构(48)旋转，其中对中销可以插入到至少第一抓取机构的内孔中，其特征在于一个与对中销(1)可嵌接的随动件(20)和一个用于抓取第二基底的第二抓取机构(86)，该第二抓取机构与随动件(20)不可相对旋转地连接。
基底装置

[发明专利]衬底热处理的装置及方法-CN00804164.4有效
发明人： P·德雷斯;U·蒂策;J·塞克雷斯;R·韦兴 -专利权人： 施蒂格哈马技术股份公司
申请日： 2000-02-02 - 公布日： 2004-09-08 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明涉及衬底热处理的一种方法和一种装置，其中衬底通过加热板加热，这样实现改善热均匀性，即应用可以单独控制的许多加热元件加热加热板，测量加热元件的温度，并且由PID调节器控制加热过程。此外，地点分辨地量测背离加热板的衬底表面的温度，根据量测的温度求得在衬底表面上的温度分布，求得单个加热元件的温度额定值，并传递到PID调节器。
衬底热处理装置方法

[发明专利]基片的连接装置-CN00808997.3无效
发明人： B·利德克;J·戈尔德特;U·斯佩尔;J·怀泽;H·G·埃泽尔 -专利权人： 施蒂格哈马技术股份公司
申请日： 2000-06-14 - 公布日： 2004-09-01 - 主分类号： B29C65/78 文献下载
摘要：本发明的目的是提出一种连接基片(2、3)的简单和价廉的装置，该装置可达到可靠、精确和废品率低的基片连接。为此，本发明提出了一种带有一个配合基片内孔的销子的装置来连接至少两个分别具有一个内孔的基片(2、3)，该销子(5)具有至少两个可朝该销径向运动的凸缘(10)。在凸缘(10)朝该销运动时，基片的内孔在凸缘的直的外表面上向下滑动。
连接装置

[发明专利]衬底升降机构-CN00802967.9无效
发明人： P·阿本舍恩;S·赫尔曼 -专利权人： 施蒂格哈马技术股份公司
申请日： 2000-01-13 - 公布日： 2004-08-04 - 主分类号： B65H1/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种衬底升降机构。为了使带有夹具(10)的衬底升降机构(2)实现尽可能简单地心轴转换，夹具这样构成，通过旋转或摆动夹具(10)，可以该夹具(10)与衬底支架(25)啮合，通过衬底支架(25)的运动起到使夹具(10)旋转或摆动的作用。由此减少了成本，提高了机构的可靠性。
衬底升降机构

[发明专利]用于接合基片的方法及装置-CN01821838.5无效
发明人： U·斯佩尔;S·莱昂哈特 -专利权人： 施蒂格哈马技术股份公司
申请日： 2001-12-13 - 公布日： 2004-03-31 - 主分类号： B30B1/00 文献下载
摘要：本发明涉及用于简单、低成本地均匀接合至少两个基片(3，4)、尤其用于构成一种光学数据载体的方法及装置。根据本发明，基片彼此间隔地被放置在两个对面地布置及彼此可相对移动的板(34，38)之间，及至少一个板与弹性膜(16)相连接，并通过在膜(16)的两对立侧面上产生压力差而移动。
用于接合方法装置

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