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- [实用新型]晶圆划伤的检测装置-CN202221311229.3有效
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张建伟;赵天罡;施文心
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清华大学
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2022-05-27
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2022-11-22
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H01L21/66
- 本实用新型涉及晶圆划伤的检测装置，包括上位机、移动平台、暗场光源、扫描单元以及自动对焦单元，移动平台用于承载晶圆，且与上位机电连接，上位机用于控制移动平台移动。暗场光源用于发射暗场光束至移动平台。扫描单元位于晶圆反射的暗场光束的光路上，扫描单元与上位机电连接。自动对焦单元位于晶圆反射的暗场光束的光路上，自动对焦单元与上位机电连接。暗场光束有利于识别晶圆上的细长划痕。自动对焦单元用于通过上位机控制移动平台或者扫描单元移动，以使得晶圆位于扫描单元的焦点上。使用自动对焦单元在检测过程中进行实时对焦处理，从而能够保证扫描单元拍摄图像清晰，保证缺陷的检出。
- 划伤检测装置
- [发明专利]晶圆划伤的检测装置-CN202210587674.0在审
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张建伟;赵天罡;施文心
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清华大学
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2022-05-27
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2022-08-12
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H01L21/66
- 本发明涉及晶圆划伤的检测装置，包括上位机、移动平台、暗场光源、扫描单元以及自动对焦单元，移动平台用于承载晶圆，且与上位机电连接，上位机用于控制移动平台移动。暗场光源用于发射暗场光束至移动平台。扫描单元位于晶圆反射的暗场光束的光路上，扫描单元与上位机电连接。自动对焦单元位于晶圆反射的暗场光束的光路上，自动对焦单元与上位机电连接。暗场光束有利于识别晶圆上的细长划痕。自动对焦单元用于通过上位机控制移动平台或者扫描单元移动，以使得晶圆位于扫描单元的焦点上。使用自动对焦单元在检测过程中进行实时对焦处理，从而能够保证扫描单元拍摄图像清晰，保证缺陷的检出。
- 划伤检测装置
- [发明专利]波长测量装置及方法-CN202111129025.8在审
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张建伟;施文心
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清华大学
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2021-09-26
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2021-11-16
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G01J9/00
- 本申请涉及一种波长测量装置及方法。波长测量装置包括激光发射器、光开关装置和波长计。所述光开关装置包括光输出口和多个光输入口，所述激光发射器与所述多个光输入口连接，所述光开关装置用于切换所述多个光输入口的导通状态。所述波长计与所述光输出口连接。所述波长测量装置克服在原来的实验中，如果需要测量多个光学信号的波长，需要手动切换多个输入信号来实现多个波长测量的问题。使用本申请的波长测量装置及方法，在实验过程中无需拆装波长计输入端，提高科研过程中的效率，减少了激光在空气中非固定光路传播的机会。
- 波长测量装置方法
- [实用新型]一种弯度可调节水果削皮刀-CN201520665598.6有效
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施文心
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施文心
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2015-08-31
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2015-12-30
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A47J17/02
- 本实用新型公开了一种弯度可调节水果削皮刀，包括高韧性钢制的刀片和设置在刀片外的护套，沿护套出口向外延伸形成拱形凸起；所述护套内设有容纳刀片滑行的空腔；所述刀片的内半段设置在护套内与护套配合滑动，所述刀片的外半段沿护套出口向外延伸并与拱形凸起外端连接；所述刀片上还设固定有用于驱动内半段在护套内滑动并迫使外半段弯曲拱起或者恢复平直的驱动滑块。通过将刀片的外半段设置为可以弯曲拱起的部件，则在使用时驱动驱动滑块来改变外半段的弯曲拱起弧度，以便于适应不同水果的不同弧度，大大提高了削皮刀的适用范围和防止了水果的浪费。同时，可在削水果的过程中针对同一个水果的不同位置弧度进行随时调整，实现果肉实用的最大化。
- 一种弯度调节水果削皮
- [实用新型]可调高式喷水壶-CN201520381965.X有效
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施文心
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施文心
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2015-06-06
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2015-11-04
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A01G25/14
- 本实用新型涉及一种可调高式喷水壶，所述可调高式喷水壶包含有一竖向设置的壶体（1），所述壶体（1）内设置有一活塞（2），所述活塞（2）底部竖向向下连接有一活塞杆（3），所述壶体（1）顶部竖向连接有一直管（4），所述直管（4）的顶部连接有一弯管（5），所述直管（4）的顶部外壁设置有外螺纹，所述弯管（5）的底部设置有内螺纹，所述弯管（5）旋置于直管（4）的顶部。本实用新型一种可调高式喷水壶，能够方便的对高处的花卉进行浇水。
- 可调喷水
- [实用新型]一种两用晾衣叉-CN201520381986.1有效
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施文心
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施文心
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2015-06-06
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2015-11-04
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A47G25/02
- 本实用新型涉及一种两用晾衣叉，所述两用晾衣叉包含有两根支撑杆（1），所述支撑杆（1）的中部设置有凸起部，且两根支撑杆（1）相互铰接于该凸起部；所述支撑杆（1）顶部设置有衣叉杆（2），该衣叉杆（2）呈Y形设置，Y形结构的衣叉杆（2）的竖板与支撑杆（1）相连接，Y形结构的衣叉杆（2）的两根分叉杆头部套装有橡胶套（2.1）；所述支撑杆（1）底部均连接有把手（3），且两个把手（3）之间通过弹簧（4）相连接。本实用新型一种两用晾衣叉，外形美观、使用方便且功能多。
- 一种两用晾衣叉
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