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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]半导体制程的空中轨道系统-CN202220953579.3有效
发明人：张志逢;李俊億;方秀博 -专利权人：东捷科技股份有限公司
申请日： 2022-04-24 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型的半导体制程的空中轨道系统用以供一运输车移动，包括一第一横向轨道、一第二横向轨道、一第一纵向轨道、一第二纵向轨道、一第三纵向轨道、一驱动装置及一第四纵向轨道。第二横向轨道与第一横向轨道平行且间隔排列。第一纵向轨道连接第一横向轨道及第二横向轨道。第二纵向轨道连接第一横向轨道，且与第一纵向轨道平行且间隔排列。第三纵向轨道连接第二横向轨道，且与第一纵向轨道平行且间隔排列。第四纵向轨道连接驱动装置，且位在第一横向轨道及第二横向轨道之间。驱动装置用以驱动第四纵向轨道横向移动。
半导体空中轨道系统

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