专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]镀膜装置和镀膜方法及该镀膜装置专用的镀膜室-CN200410000360.8无效
  • 金一镐;金显正;赵国衡;方溢焕 - 查姆工程株式会社
  • 2004-01-09 - 2005-02-16 - C23C14/24
  • 本发明涉及一种镀膜装置和镀膜方法及该镀膜装置专用的镀膜室。本发明的目的在于,不使用可制造真空环境的真空箱,也能实现在空气中有效镀膜。该镀膜装置分别包括以下几部分:镀膜室,安装在镀件的上方一定间距处;金属供给部分,通过镀膜室给镀件提供特定的金属微粒;金属通道,设置于镀膜室,并且将金属供给部分提供的金属微粒运送到镀件;高压气体供给部分;高压气体通道,为了使通过金属通道提供给镀件的金属微粒与外部空气隔离,设置于镀膜室,并将高压气体供给部分提供的高压气体运送到镀件;至少一个排出通道,设置于镀膜室,并排出使用后产生的副产物及高压气体;排气部分,与排出通道相连,并可抽吸通过排出通道排出的使用完的金属微粒及高压气体。因此,不使用制造真空环境的真空箱,也可以在空气中有效镀膜。
  • 镀膜装置方法专用

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