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[发明专利]用于等离子体电源的共振网络及用于等离子体发生器的电力供应装置-CN201811103342.0有效
发明人：柳承喜;林昌燮;文洪权;成原镛;丘根完;李秉国 -专利权人： 新动力等离子体株式会社;成均馆大学商业研究基金会
申请日： 2018-09-20 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H02J50/12 文献下载
摘要：本发明实施例涉及用于等离子体电源的共振网络及用于等离子体发生器的电力供应装置，所述等离子体电源的共振网络连接在电源部和输出部之间，该共振网络可包括与所述电源部串联连接的共振电感(Lr)；与所述输出部并联连接且与所述共振电感(Lr)串联连接的共振电容(Cr)；以及与所述输出部和所述共振电感(Lr)串联连接且与所述共振电容(Cr)并联连接的无源元件。
用于等离子体电源共振网络发生器电力供应装置

[发明专利]逆功率降低方法及利用其的等离子电力装置-CN201910284172.9有效
发明人：柳承喜;金英哲;金民材 -专利权人： 新动力等离子体株式会社
申请日： 2019-04-10 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明的逆功率降低方法为用于降低从等离子负载向高频电力放大部反射的逆功率的方法，包括：输出频率倾斜度判断步骤，控制器判断从上述高频电力放大部输出的输出频率倾斜度的符号；逆功率倾斜度判断步骤，上述控制器判断从上述等离子负载向上述高频电力放大部反射的逆功率倾斜度的符号；频率变化量增减决定步骤，上述控制器根据上述输出频率倾斜度的符号与上述逆功率倾斜度的符号的组合来决定频率变化量的增减；更新步骤，上述控制器利用上述频率变化量来更新上述输出频率；以及输出频率变更步骤，若反射系数大于规定反射基准值且上述频率变化量小于规定的变动幅度设定值，则上述控制器为了脱离驼峰而变更上述输出频率。
功率降低方法利用等离子电力装置

[发明专利]蒸汽清洗装置-CN201810803238.6有效
发明人：姜胜培;郑钟铉;梁熙星;申正植;李国焕;李祯彬 -专利权人：三星显示有限公司;新动力等离子体株式会社
申请日： 2018-07-20 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：蒸汽清洗装置包括：蒸气生成器，用于生成饱和蒸气；过热器，通过对所述饱和蒸气进行过热而生成过热蒸气；第一阀，位于所述蒸气生成器与所述过热器之间，用于调节向所述过热器注入的所述饱和蒸气的量；喷嘴部，被连接到所述过热器；以及第二阀，位于所述蒸气生成器与所述喷嘴部之间，用于调节向所述喷嘴部供给的所述饱和蒸气的量，所述喷嘴部喷射所述饱和蒸气和所述过热蒸气中的至少一种蒸气。
蒸汽清洗装置

[发明专利]虚拟电阻自动匹配方法-CN201910192335.0有效
发明人：魏淳任;文洪权;崔国永;夫景云;金世原 -专利权人： 新动力等离子体株式会社
申请日： 2019-03-14 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明的虚拟电阻自动匹配方法包括：步骤(a)，按工序种类、工序配方及工序配方的各个工序步骤来确定上述射频发生器的输入参数及上述等离子腔室的负荷条件参数；步骤(b)，以各个工序的上述射频发生器的输入参数为基础来向上述电阻匹配器施加射频开启信号；步骤(c)，判断构成上述电阻匹配器的负荷用真空可变电容器和调谐用真空可变电容器的初始设定位置是否在匹配范围内；步骤(d)，若不满足上述步骤(c)，则向上述电阻匹配器施加射频关闭信号，发生表示匹配范围脱离的警告信号；步骤(e)，若满足上述步骤(c)，则通过使上述电阻匹配器进行工作来开始进行匹配；步骤(f)，若完成匹配，则按成功匹配的工序步骤分析与基于电阻变化的50+j0有关的振幅误差及相位误差来确定上述负荷用真空可变电容器和上述调谐用真空可变电容器的初始设定位置；以及步骤(g)，按所有工序步骤进行上述步骤(a)至上述步骤(f)，向上述电阻匹配器发送各个工序步骤的上述负荷用真空可变电容器和上述调谐用真空可变电容器的初始设定位置。
虚拟电阻自动匹配方法

[发明专利]具有双重输出的高频发生器及其驱动方法-CN202010742873.5在审
发明人：金钟云;金仁范;柳承喜 -专利权人： 新动力等离子体株式会社
申请日： 2020-07-29 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明的具有双重输出的高频发生器，包括：高频放大部，放大预定电平的直流电压，以输出第一及第二高频放大信号；合路器，耦合所述第一高频放大信号和所述第二高频放大信号，以输出高频功率信号；高频传感器，配置在所述合路器的输出侧，并且检测流动于所述合路器的输出侧的电信号，以输出电检测信号；控制器，利用在外部施加的控制信号和所述电检测信号输出切换控制信号；及切换部，配置在所述合路器和等离子腔室之间，并且被所述切换控制信号控制，进而将所述高频功率信号提供于第一输出端子和第二输出端子。
具有双重输出高频发生器及其驱动方法

[发明专利]提高脉冲功能的高频功率发生装置-CN201811306714.X有效
发明人：金钟云;全恩民;金英哲;金民材 -专利权人： 新动力等离子体株式会社
申请日： 2018-11-05 - 公布日： 2021-05-28 - 主分类号： H02M3/158 文献下载
摘要：本发明涉及提高脉冲功能的高频功率发生装置，用于向等离子体负载供给高频功率，包括：整流器；直流‑直流变换器；射频功率放大器；射频功率控制器；以及直流‑直流变换器控制器；上述直流‑直流变换器控制器包括：第一减法器；第一比例积分控制器；第二减法器；第二比例积分控制器；比较器，通过比较上述第二比例积分控制器的输出和载波频率，来生成脉冲宽度调制信号，并向构成上述直流‑直流变换器的开关元件提供所生成的脉冲宽度调制信号；以及适应型控制器，从上述射频功率控制器接收与上述射频功率放大器的输出相对应的脉冲信号，来调整上述第一比例积分控制器及上述第二比例积分控制器的增益。
提高脉冲功能高频功率发生装置

[发明专利]多重电压控制方法及多重电压控制方式的高频电源装置-CN202011156931.2在审
发明人：韩基训;郑珉珠 -专利权人： 新动力等离子体株式会社
申请日： 2020-10-26 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明的多重电压控制方法包括如下步骤：(a)开始对等离子负载供应高频电源；(b)执行持续高频电源的输出而提高该输出的电源冲击动作；(c)检测从所述等离子负载向高频电源侧反射的反射波，判断与所述反射波的量相对应的对应反射波损失量是否大于第一设定值；(d)在满足所述步骤(c)的情况下，将供应于所述高频电源的RF功率放大器的直流电压的VDD大小限制在第一极限；(e)在所述步骤(d)之后，判断所述对应反射波损失量是否小于第二设定值，所述第二设定值小于所述第一设定值；及(f)若满足所述步骤(e)，则再次执行所述步骤(b)的电源冲击动作。
多重电压控制方法方式高频电源装置

[发明专利]多工件处理室以及包括该多工件处理室的工件处理系统-CN200980000397.1有效
发明人：魏淳任;南昌佑 -专利权人： 新动力等离子体株式会社
申请日： 2009-04-02 - 公布日： 2010-07-14 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：根据本发明的多工件处理室包括：室外壳，在该室外壳中形成有至少两个内部处理空间；至少一个分隔构件，该至少一个分隔构件设置在该室外壳中并将该室外壳隔成至少两个内部处理空间；以及各个内部处理空间，该各个内部处理空间与该分隔构件联接并具有对称形状，以均匀地产生处理反应。根据本发明的多工件处理室具有内部处理空间，所述内部处理空间通过与分隔构件联接而具有对称形状。因而，在整个内部处理区域上均匀地发生处理反应并且可提高工件处理过程的再现性和均匀性。
工件处理以及包括系统

[发明专利]基板传输设备及使用该设备的高速基板处理系统-CN200780019750.1有效
发明人：魏淳任 -专利权人： 新动力等离子体株式会社
申请日： 2007-05-01 - 公布日： 2009-06-17 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：提供一种基板传输设备和使用该设备的基板处理系统，该基板传输设备用于连续地将多个基板装载在处理室内/从处理室卸载多个基板，以减少传输基板所花的时间并提高生产量。基板传输设备安装在传输室内，且在第一和第二处理室与装载锁定室之间传输基板，第一和第二处理室位于传输室的横向侧。该基板传输设备包括：驱动单元，以供给旋转力；主轴，连接至该驱动单元；第一回转板臂，以装载基板至该第一处理室/从该第一处理室卸载基板；和第二回转板臂，以装载基板至该第二处理室/从该第二处理室卸载基板。因为在同时且连续处理多个基板期间，快速地交换处理前的基板和处理后的基板，所以可增加处理速率和总生产量。
传输设备使用高速处理系统

[发明专利]容性耦合等离子体反应器-CN200810108452.6有效
发明人：魏淳任 -专利权人： 新动力等离子体株式会社
申请日： 2008-05-30 - 公布日： 2009-04-29 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：提供一种容性耦合等离子体反应器，包括：等离子体反应器；容性耦合电极组件，包括多个容性耦合电极，用于在所述等离子体反应器内诱发等离子体放电；主电源，用于提供射频功率；以及分配电路，用于接收所述主电源提供的所述射频功率，并将接收的所述射频功率分配到所述多个容性耦合电极。所述容性耦合等离子体反应器能够通过多个容性耦合电极均匀地产生大面积等离子体。此外，由于在并行驱动多个容性耦合电极时电流自动地平衡，所以更均匀地产生并维持大面积等离子体。
耦合等离子体反应器

[发明专利]感应耦合等离子体反应器-CN200710105100.0有效
发明人：崔大圭 -专利权人： 新动力等离子体株式会社
申请日： 2007-05-22 - 公布日： 2007-11-28 - 主分类号： H05H1/30 文献下载
摘要：本发明的感应耦合等离子体反应器包括：具有搭载被处理基板的基板支撑台的真空腔；向真空腔内部供给气体的气体喷头；设于真空腔上部的介电窗；及设于介电窗上部的射频天线。气体喷头及基板支撑台与真空腔内部的等离子体电容耦合，射频天线与真空腔内部的等离子体感应耦合。等离子体反应器通过电容且感应的耦合在真空腔内部产生等离子体，由此更均匀地产生大面积的等离子体，同时容易进行等离子体离子能量的正确调节，从而可以提高成品率和生产能力。等离子体反应器包括磁芯，该磁芯的磁束出入口朝向真空腔内部，并且该磁芯以沿着射频天线将其覆盖的方式设于介电窗上部。射频天线由磁芯覆盖，可集中更强的磁束，最大限度抑制磁束的损失。
感应耦合等离子体反应器

[发明专利]结合有多重磁芯的电感耦合等离子体反应器-CN200710086254.X无效
发明人：崔大圭 -专利权人： 新动力等离子体株式会社
申请日： 2007-03-09 - 公布日： 2007-10-31 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种结合有多重磁芯的电感耦合等离子体反应器，与等离子体耦合的电感耦合能量的传递效率高，可以稳定地维持等离子体，可以稳定地得到高密度的等离子体。本发明的电感耦合等离子体反应器结合有变压器，变压器具有用于向反应器主体的等离子体放电室传递等离子体放电的电动势的多重磁芯、和初级线圈。位于等离子体放电室内部的磁芯部分，由芯保护管整体覆盖而受保护。初级线圈与提供射频功率的电源供给源电连接。在电感耦合等离子体反应器中，多个磁芯横截部分位于等离子体放电室的内部，与等离子体耦合的电感耦合能量的传递效率很高。
结合多重电感耦合等离子体反应器

[发明专利]多腔等离子体处理系统-CN200510087625.7有效
发明人：魏淳任 -专利权人： 新动力等离子体株式会社
申请日： 2005-07-27 - 公布日： 2007-01-17 - 主分类号： H05H1/02 文献下载
摘要：提供一种可整体提高多腔的生产能力的多腔等离子体处理系统，具中，多腔等离子体处理系统具有多个处理腔；分别具有感应耦合等离子体生成器，感应耦合等离子体生成器经由第一阻抗匹配器和主电源提供源电连接；第一阻抗匹配器至少具有一个可变电感器；各感应耦合等离子体生成器的点火电极和由可变变压器构成的点火源提供源并联；第一阻抗匹配器的可变电感器和点火电源提供源的可变变压器由控制部控制；多个处理腔分别具有等离子体密度调节器；等离子体密度调节器由控制部控制，调节各个处理腔的等离子体密度。
等离子体处理系统

[发明专利]具有放电感应电桥的等离子源及利用其的等离子处理系统-CN200610084863.7有效
发明人：崔大圭;魏淳任 -专利权人： 新动力等离子体株式会社
申请日： 2006-05-23 - 公布日： 2006-11-29 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：等离子源具有多个放电感应电桥，该放电感应电桥上耦合了缠绕有变压器的初级线圈的磁芯。放电感应电桥和接受器相对配置。放电感应电桥由中空管构成，当变压器的初级线圈的电流被驱动时，在磁芯中感应到磁束，从而以放电感应电桥为中心形成感应耦合等离子体。通过多个放电感应电桥，等离子放电并列且平均地被感应，可获得高密度、平均且大面积的等离子体。
具有放电感应电桥离子源利用等离子处理系统

[发明专利]多灯驱动系统及方法-CN200610002477.9无效
发明人：魏淳任;崔相敦 -专利权人： 新动力等离子体株式会社
申请日： 2006-01-26 - 公布日： 2006-08-02 - 主分类号： H05B41/14 文献下载
摘要：本发明的课题是提供一种多灯驱动系统，可以更有效地并列驱动多个放电灯，可以进一步提高多个放电灯的亮度均匀性，并且提供一种多灯驱动系统，可以根据在无源型显示器上显示的图像的明亮度特性，将多个放电灯的亮度调节成使彼此不同。该多灯驱动系统包括：电源变压器，从交流电源供给源被供给交流电源，并产生正电压(V_p)和负电压(V_n)；和电流均衡分配器，被施加了电源变压器的正电压并分割为多个电压，所分割的电压被分别施加到多个放电灯的第一电极，分配电流量以使输入各个放电灯的电流值相互均衡，电源变压器的负电压被共同施加给多个放电灯的第二电极。
驱动系统方法

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