“惠梦君”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果25个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]一种硅单晶提拉炉的加热装置-CN201720473563.1有效
发明人： 惠梦君;徐向众 -专利权人：无锡市蓝德光电科技有限公司
申请日： 2017-04-28 - 公布日： 2018-01-09 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅单晶提拉炉的加热装置，其包括坩埚、主加热器、辅助加热器和旋转支撑组件，所述主加热器设置于所述坩埚的外围，所述旋转支撑组件包括坩埚托和支撑柱，所述坩埚设置于所述坩埚托上，所述支撑柱为空心结构，其一端连接于所述坩埚托上，其中，所述辅助加热器固定于所述支撑柱内，且与所述支撑柱同步上升、下降。上述硅单晶提拉炉的加热装置的辅助加热器位于支撑柱内，由于辅助加热器始终在坩埚底部，靠近坩埚，所以它不仅可以在化料过程中起到辅助加热的作用，同时可以在晶体生长过程中有效参与到生长工艺当中。不仅结构紧凑；而且能够使辅助加热器与外面的主加热器隔离开来，这样可以强化其工艺功能。
一种硅单晶提拉炉加热装置

[实用新型]一种硅单晶提拉炉-CN201720225940.X有效
发明人： 惠梦君;徐向众 -专利权人：无锡市蓝德光电科技有限公司
申请日： 2017-03-09 - 公布日： 2017-11-07 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅单晶提拉炉，其包括坩埚、加热器和旋转支撑组件，所述坩埚内设置有硅熔体，所述坩埚配套设置有用于对其加热的加热器，所述旋转支撑组件连接于所述坩埚上为坩埚提供支撑和旋转驱动，所述坩埚的旋转方向与所述硅单晶棒的旋转方向相反，其中，所述坩埚底部的中心处设置有冷点，所述冷点上设置有降温装置。上述硅单晶提拉炉于坩埚底部中心设置一个冷点，与硅熔体中心处的反向对流进行热交换，以给固液界面降温，从而加快结晶速度，增加晶棒拉速，使提拉炉等径平均拉速可以达到每分钟2毫米，工艺时间缩短一半，总生产周期缩短20％，总能耗降低20％以上。
一种硅单晶提拉炉

[发明专利]一种硅单晶提拉炉-CN201710138801.8在审
发明人： 惠梦君;徐向众 -专利权人：无锡市蓝德光电科技有限公司
申请日： 2017-03-09 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅单晶提拉炉，其包括坩埚、加热器和旋转支撑组件，所述坩埚内设置有硅熔体，所述坩埚配套设置有用于对其加热的加热器，所述旋转支撑组件连接于所述坩埚上为坩埚提供支撑和旋转驱动，所述坩埚的旋转方向与所述硅单晶棒的旋转方向相反，其中，所述坩埚底部的中心处设置有冷点，所述冷点上设置有降温装置。上述硅单晶提拉炉于坩埚底部中心设置一个冷点，与硅熔体中心处的反向对流进行热交换，以给固液界面降温，从而加快结晶速度，增加晶棒拉速，使提拉炉等径平均拉速可以达到每分钟2毫米，工艺时间缩短一半，总生产周期缩短20％，总能耗降低20％以上。
一种硅单晶提拉炉

[实用新型]一种单晶炉-CN201620606405.4有效
发明人： 惠梦君 -专利权人：无锡市蓝德光电科技有限公司
申请日： 2016-06-20 - 公布日： 2016-11-23 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种单晶炉，包括炉体，所述炉体设置有炉腔，所述炉腔内设置有石英钳锅，所述石英钳锅的外部设置有石墨钳锅，所述石墨钳锅的外部设置有加热器，所述炉腔内位于石英钳锅的上部设置有导流筒，所述导流筒的下端延伸至石英钳锅内部，所述导流筒的上部设置有水冷套，所述水冷套的下端延伸至导流筒内，水冷套的外部设置有保温隔热装置。所述一种单晶炉通过在水冷套外部增设保温隔热装置，进而隔断了水冷套与外部的热交换，与此同时，水冷套内部可与硅单晶进行换热，对硅单晶进行冷却，从而可大大提高硅单晶的提拉速度，提高生产效率，结构简单、易于实现。
一种单晶炉

[实用新型]一种水平区熔铸锭炉加热器-CN201520182067.1有效
发明人： 惠梦君 -专利权人：无锡市蓝德光电科技有限公司
申请日： 2015-03-27 - 公布日： 2015-11-18 - 主分类号： C30B13/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种水平区熔铸锭炉加热器，所述加热器设置在水平区熔铸锭炉的坩埚外侧，并设置在水平区熔铸锭炉的加热器轨道上，所述加热器轨道位于在坩埚的两侧，所述加热器轨道即为加热器的电极，且所述加热器轨道包括上层的石墨轨道和下侧的铜轨道，所述加热器下端配合开设有安装到石墨轨道上的安装凹槽，所述铜轨道连接有电源，且铜轨道上开设有冷却水槽，冷却水槽内通有冷却水，所述水平区熔铸锭炉加热器采用加热器导轨作为加热器的电极，结构简单，运行更加可靠，且加热器导轨包括上层的石墨轨道和下侧的铜轨道，即保证了电能的传输效率，又使加热器与导轨接触良好，并可防止加热器在导轨上滑动时产生打火现象。
一种水平熔铸加热器

[实用新型]一种水平区熔多晶硅铸锭炉-CN201420871908.5有效
发明人： 惠梦君 -专利权人： 惠梦君
申请日： 2014-12-31 - 公布日： 2015-06-10 - 主分类号： C30B28/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种水平区熔多晶硅铸锭炉，包括炉体外壳、坩埚、坩埚支撑和加热器，所述坩埚设置在坩埚支撑内，所述炉体外壳内设置有固定保温层，所述坩埚和坩埚支撑位于固定保温层内，所述坩埚为长度大于宽度的长条形坩埚，相应的所述坩埚支撑也为长条形，所述加热器为设置在坩埚和坩埚支撑的外侧可沿坩埚长度方向水平移动的移动加热器，且所述移动加热器的加热面长度小于坩埚的长度，所述移动加热器外侧设置有一层与其一起水平移动的移动保温层。所述水平区熔多晶硅铸锭炉，实现了硅原料水平区域熔化，晶粒尺寸容易长大，易获得准单晶，在一定条件下还可产生N型准单晶硅，且部加热，使得能耗降低，大大降低了成本。
一种水平多晶铸锭

[实用新型]泡生法晶体生长炉-CN201220636403.1有效
发明人： 惠梦君 -专利权人： 惠梦君
申请日： 2012-11-27 - 公布日： 2013-05-15 - 主分类号： C30B17/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种泡生法晶体生长炉，包括炉体，炉体内的上、下热屏及侧面热屏，以及水冷电极和加热棒，位于炉体两侧与水冷电极相连接的加热棒弯折呈“S”型，使水冷电极向外移动，避免来自炉膛内的高温辐射，同时便于在加热棒上部增加保温屏，提高保温效果保温。本实用新型的有益效果为：位于炉体两侧与水冷电极相连接的加热棒弯折呈“S”型，使水冷电极向外侧移动，从而水冷电极不再直接暴露于上热屏与侧面热屏之间的缝隙之中，使加热棒的辐射损耗将大大减少，由于水冷电极外移，且上热屏设置在水冷电极的侧面，增加保温，也会降低能耗。
泡生法晶体生长

[实用新型]一种分立电极式加热器-CN201220635947.6有效
发明人： 惠梦君 -专利权人： 惠梦君
申请日： 2012-11-27 - 公布日： 2013-05-15 - 主分类号： C30B17/00 文献下载
摘要：一种分立电极式加热器，包括电极、加热棒，所述加热棒与电极连接，所述加热器设有一对以上的电极，所述电极组成环状，所述加热棒分别与邻近电极连接，所述加热棒在炉体内呈圆周均匀分布；所述加热棒为钨棒；所述加热棒底部为“L”型；所述每个电极上连接有2个以上加热棒。本实用新型一对电极改为多对电极，且多个电极形成环状，加热棒分别与邻近的电极连接，加热棒底部做成“L”型，使得加热器侧面和底部都可以均匀分布，而且加热器底部结构和长度可以调整，从而调节底部与侧面供热比例，加热器便于维护，一旦某个加热棒损坏，可以单独更换。
一种分立电极加热器

[实用新型]一种连续加料硅单晶炉-CN201220637399.0有效
发明人： 惠梦君 -专利权人：无锡市蓝德光电科技有限公司
申请日： 2012-11-27 - 公布日： 2013-05-15 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：一种连续加料硅单晶炉，包括提拉装置、加料装置、石英坩埚、石墨坩埚、石墨加热器，所述石英坩埚分为内坩埚和外坩埚，内、外坩埚底部相连并有一个相通的孔洞，所述内、外坩埚之间留有加料空隙；所述提拉装置上设置有称重传感器和监测晶棒生长的摄像头；所述加料装置通过加料斗进行加料，所述加料口置于内、外坩埚之间。本实用新型通过将石英坩埚设置成内外两层，加料装置在内外坩埚之间进行加料，能够有效的防止原料加入时对晶棒生长的影响，保证了生产晶体的整体浓度，降低了特定浓度晶棒的生产成本。
一种连续加料硅单晶炉

[发明专利]一种连续加料硅单晶炉-CN201210492439.1无效
发明人： 惠梦君 -专利权人：无锡市蓝德光电科技有限公司
申请日： 2012-11-27 - 公布日： 2013-03-27 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：一种连续加料硅单晶炉，包括提拉装置、加料装置、石英坩埚、石墨坩埚、石墨加热器，所述石英坩埚分为内坩埚和外坩埚，内、外坩埚底部相连并有一个相通的孔洞，所述内、外坩埚之间留有加料空隙；所述提拉装置上设置有称重传感器和监测晶棒生长的摄像头；所述加料装置通过加料斗进行加料，所述加料口置于内、外坩埚之间。本发明通过将石英坩埚设置成内外两层，加料装置在内外坩埚之间进行加料，能够有效的防止原料加入时对晶棒生长的影响，保证了生产晶体的整体浓度，降低了特定浓度晶棒的生产成本。
一种连续加料硅单晶炉

[实用新型]一种旋转加热玻璃软化装置-CN201220524506.9有效
发明人： 惠梦君;徐向众;徐瑞丰;魏伟琴;张晓兰 -专利权人：无锡市蓝德光电科技有限公司
申请日： 2012-10-12 - 公布日： 2013-03-27 - 主分类号： C03B29/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种旋转加热玻璃软化装置，包括：用于给玻璃样品进行加热的加热炉，在加热炉侧面设置有一个或一个以上的玻璃入口和一个或一个以上的玻璃出口；设置于加热炉内用于盛放玻璃样品的旋转平台；以及可以从玻璃入口深入加热炉内将玻璃样品放到旋转平台上的一个或一个以上的机械手，可以从玻璃出口深入加热炉内将玻璃样品从旋转平台取出的一个或一个以上的机械手。采用该装置可大大降低热能损耗，由于炉温，烘烤时间，取放时间等均由计算机控制，所以玻璃软化度和后期成形质量可以得到充分保证，并实现高生产率，而且还可以改善工作环境，大大降低劳动强度。
一种旋转加热玻璃软化装置

[实用新型]单晶炉摄像头自动切换装置-CN201220413192.5有效
发明人： 惠梦君;于永贵;徐向众;徐瑞丰;杨胜建 -专利权人：无锡力汇光电科技有限公司
申请日： 2012-08-20 - 公布日： 2013-03-20 - 主分类号： C30B15/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶炉摄像头自动切换装置，包括设于观察窗支架延伸部位的导轨，以及至少两个带不同焦距镜头且平行于观察窗设置的摄像头，所述导轨上设置可往复运动的滑块，所述滑块通过固定支架与所述摄像头相连接，所述导轨上还设置用于驱动滑块往复运动的传动机构，所述传动机构与控制器连接。通过平行于观察窗设置至少两个带不同焦距镜头的摄像头，满足了不同工艺阶段的成像需求；通过控制器控制传动机构动作，进一步控制滑块在导轨上往复运动，通过采用固定支架将滑块与摄像头连接，进而滑块的往复运动驱使了摄像头有选择的往复移动，实现了不同焦距摄像头根据需要自动切换工作。
单晶炉摄像头自动切换装置

[实用新型]晶体生长炉用速率可调式真空泵-CN201220285712.9有效
发明人： 惠梦君;于永贵;徐向众;徐瑞丰;杨胜建 -专利权人：无锡力汇光电科技有限公司
申请日： 2012-06-15 - 公布日： 2013-01-16 - 主分类号： F04B49/06 文献下载
摘要：本实用新型公开一种晶体生长炉用速率可调式真空泵，包括泵体，所述泵体的进气管与晶体生长炉相连，且泵体通过传动机构与电机相连，所述电机与变频器电连接。所述晶体生长炉用速率可调式真空泵通过采用变频器来调节电机转速，从而使得真空泵抽空速度相应改变，实现了对晶体生长炉炉腔压力的控制，在长晶过程中通过调节频率降低电机转速从而可以显著节约电能30%～40%，且大大减少真空泵高速运转的时间，从而减少了真空泵的磨损，可延长真空泵使用寿命3～4倍，此外，可省去真空管路中的电动阀门，从而解决了电动阀门沉积杂物造成真空管路不通畅的问题。
晶体生长速率调式真空泵

[发明专利]晶体生长炉的水冷籽晶杆热交换装置-CN201210160203.8无效
发明人： 惠梦君;于永贵;徐向众;徐瑞丰;杨胜建 -专利权人：无锡力汇光电科技有限公司
申请日： 2012-05-22 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： C30B17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶体生长炉的水冷籽晶杆热交换装置，其包括水冷籽晶杆、连杆以及籽晶夹，所述水冷籽晶杆包括外管和套于外管内的内管，所述内管与外管之间形成水冷流道，且两者之间通过挡水板将水冷流道分割成底部连通的两个区域，配合该两个区域于所述外管上对应开设进、出水口，上法兰和底部法兰密封连接内管和外管的两端；中间法兰设置于外管上的进、出水口的下方，所述籽晶夹由引杆和夹头组成，所述引杆的一端连接夹头，另一端连接连杆，所述连杆穿入内管中与称重传感器连接。所述晶体生长炉的水冷籽晶杆热交换装置不影响对籽晶的水冷保护效果，避免了冷却水振动、流量变化等外界因素对称重信号的干扰，对晶体重量信号进行准确、稳定测量。
晶体生长水冷籽晶热交换装置

[实用新型]硅单晶炉摄像头安装支架-CN201120120802.8无效
发明人： 惠梦君 -专利权人：无锡市惠德晶体控制设备有限公司
申请日： 2011-04-22 - 公布日： 2011-11-30 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种硅单晶炉摄像头安装支架，其包括设置于观察窗上的立板，所述观察窗平行于硅单晶炉筒径向线，所述立板水平面上与硅单晶炉筒径向线平行，且所述立板之上并列设置有第一摄像头和第二摄像头，将第一摄像头和第二摄像头在水平面上放在炉筒径向线上，在垂直面上位置错开，并各自可以调整俯视角，实际装配时，水平面上将立板与炉筒径向线平行，第一摄像头和第二摄像头与径向线重合，然后在垂直面上调制摄像头俯角，上述硅单晶炉摄像头安装支架不仅结构简单，易于实现；而且安装方便，调整容易，摄像头的俯角受观察窗尺寸限制小，适用面宽。
硅单晶炉摄像头安装支架

1
2
下一页»
尾页
共 25 条