“恩特格林斯公司”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果26个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]高表面电阻率静电吸盘-CN201510535576.2有效
发明人：理查德·A·库克;戴尔·K·史东;卢德米拉·史东;朱立安·布雷克;大卫·苏罗纳 -专利权人： 恩特格林斯公司;维瑞安半导体设备联合公司
申请日： 2011-05-24 - 公布日： 2018-01-26 - 主分类号： B23Q3/152 文献下载
摘要：根据本发明之一具体实例，提供一种静电吸盘。该静电吸盘包含一电极及一表面层，该表面层由该电极中之一电压启动以形成一电荷以将一基板静电夹持至该静电吸盘，该表面层包括一电荷控制层，该电荷控制层包含大于约每平方1011欧姆之一表面电阻率。
表面电阻率静电吸盘

[发明专利]一种高传导静电夹盘-CN201180043193.3有效
发明人：大卫·苏罗纳;卢德米拉·史东;朱立安·布雷克;戴尔·K·史东;理查德·A·库克;史蒂芬·唐涅尔;香德拉·凡卡拉曼 -专利权人： 恩特格林斯公司;维瑞安半导体设备联合公司
申请日： 2011-09-08 - 公布日： 2016-10-12 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：根据本发明的具体实施例，提供一种高传导静电夹盘，其包括：传导路径，其覆盖静电夹盘的气密环的至少一部分接触工件的表面，该传导路径包括至少一部分至接地的电路径；以及静电夹盘的接触工件表面的主场区域，其包括范围从每平方约10⁸至约10¹²欧姆的表面电阻率。
一种传导静电

[发明专利]通用磁盘装运器-CN201510561237.1有效
发明人： G·安德森;S·海尔瑞;吉安·平·蔡(文森特) -专利权人： 恩特格林斯公司
申请日： 2010-11-18 - 公布日： 2016-01-06 - 主分类号： G11B33/04 文献下载
摘要：系统、方法和组件包括用于运输、存储和处理数据存储磁盘或其他磁盘形物品的改进的通用磁盘容器；装载磁盘的磁盘装运系统和方法允许库存最少数量组件同时仍允许在容器中包装和装载不同厚度磁盘和不同容量磁盘；组件呈现通用性同时仍最小化微粒产生、磁盘损伤且提供简易装配。具有插槽的通用磁盘盒具有配置为处理相同直径但不同厚度的不同磁盘同时防止磁盘倾斜时磁盘与磁盘接触的窄下部分。通用顶盖配置成装载不同厚度磁盘的盒，即装载0.025英寸磁盘的盒或装载0.050英寸磁盘的相同盒。通用顶盖还配置成不同容量磁盘盒，即25容量的65mm磁盘盒或35容量的65mm盒。通用顶盖可轻易地容纳盒中倾斜的磁盘，利用真空装袋更加稳固地将磁盘固定在容器中的合适位置。
通用磁盘装运

[发明专利]具有可光图案化的软性突出接触表面的静电夹盘-CN201380057372.1有效
发明人：林奕宽;理查·A·库克;雅各·莱辛斯基 -专利权人： 恩特格林斯公司
申请日： 2013-10-29 - 公布日： 2015-09-09 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：根据本发明的一具体实例，提供用于一静电夹盘的一软性突出结构，其提供用于晶圆、工件或其他基板的一非研磨接触表面，同时也具有改良的可制造性及与接地表面压板设计的兼容性。该软性突出结构包含一可光图案化的聚合物。
具有图案软性突出接触表面静电

[发明专利]防止层状净化床装置中微粒与粉尘游移的设备-CN201380046823.1有效
发明人：彼得·K·秀格瑞;戴姆辛·P·莫菲;亚伯尼须·斯里瓦斯塔瓦;史坦尼奥·达柯司塔沛瑞拉 -专利权人： 恩特格林斯公司
申请日： 2013-08-28 - 公布日： 2015-08-05 - 主分类号： B01D53/04 文献下载
摘要：本发明是关于一种可扩展介质保持环，其包含一可扩展环及一可透气介质保持膜。本发明进一步是关于一种气体净化器装置，其包含两个或两个以上净化介质床及一可扩展介质保持环。该可扩展介质保持环是通过径向力来紧固于该装置中，且防止净化介质游移至相邻床中，进而改良该净化器装置的效能且亦允许在任何方位上使用该装置。
防止层状净化装置微粒粉尘游移设备

[发明专利]气体纯化器-CN201380018992.4有效
发明人：亚伯尼须·斯里瓦斯塔瓦;汤玛斯·理察·贾弗尼;耶稣华·T.·库克;彼得·K.·秀格瑞;戴姆辛·保罗·莫菲;史坦尼奥达柯司塔·沛瑞拉 -专利权人： 恩特格林斯公司
申请日： 2013-02-08 - 公布日： 2014-12-24 - 主分类号： B01D53/26 文献下载
摘要：本发明是一种气体纯化器，其例如在次大气压下自惰性气体及还原气体移除湿气及氧气。该纯化器可移除气流中百万分之一体积含量的湿气至低于万亿分之100，且具有较低压降及较陡穿透曲线。
气体纯化

[发明专利]具有视需要氧化钇覆盖层的经AlON涂布的基质-CN201280037461.5有效
发明人：尼雷须·困达 -专利权人： 恩特格林斯公司
申请日： 2012-08-09 - 公布日： 2014-07-09 - 主分类号： H01L21/318 文献下载
摘要：本发明公开一种位于陶瓷基质上的抗氟电浆涂层。在一个具体实例中，该组成物包括覆盖基质的约2微米厚的AlON涂层及视需要具有的覆盖该AlON涂层的约3微米厚的氧化钇涂层。
具有需要氧化钇覆盖层 alon 基质

[发明专利]包含微孔膜层及奈米纤维层的多孔复合膜-CN201280022400.1有效
发明人：劳尔·A·拉米瑞兹;蔡伟明 -专利权人： 恩特格林斯公司
申请日： 2012-05-09 - 公布日： 2014-03-19 - 主分类号： B01D69/12 文献下载
摘要：本发明揭示一种过滤构件，其包含一个奈米纤维层及两个奈米多孔膜层。该过滤构件可通过筛分与非筛分粒子滞留机制的组合用于自光阻剂及其它流体移除粒子及凝胶。
包含微孔纤维多孔复合

[发明专利]烧结粉末和金属纤维的多孔金属膜-CN201280007492.6有效
发明人：罗伯特·S·瑟勒 -专利权人： 恩特格林斯公司
申请日： 2012-01-24 - 公布日： 2013-11-20 - 主分类号： B01D39/20 文献下载
摘要：本发明揭示一种烧结多孔体，其由金属粒子与金属纤维的可流动空气沉降混合物的压坯（green compact）制成。该压坯经烧结以提供具有金属粒子及金属纤维在整个基体中的各向同性分布的该多孔烧结体。该多孔烧结体包括充当节点且与纤维烧结的金属粒子且纤维的部分与其它纤维烧结。
烧结粉末金属纤维多孔金属膜

[发明专利]静电夹头-CN201310159972.0有效
发明人：理查·A·库克 -专利权人： 恩特格林斯公司
申请日： 2009-05-15 - 公布日： 2013-08-07 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：依据本发明实施例，设有一静电夹头，其包括一电极及一表面层，此表面层被电极中的一电压所致动而形成电荷，通过此将一基板静电夹钳至静电夹头上。所述表面层包括多个凸起，所述凸起延伸至围绕所述凸起的部分所述表面层上方的一高度处，以便在基板的静电夹钳期间将所述基板支撑于凸起上。如同就多对相邻凸起之间的中心间距所测量到的，所述凸起在整个表面层上大致等距离隔开。
静电夹头

[发明专利]高表面电阻率静电吸盘-CN201180026596.7有效
发明人：理查德·A·库克;戴尔·K·史东;卢德米拉·史东;朱立安·布雷克;大卫·苏罗纳 -专利权人： 恩特格林斯公司;维瑞安半导体设备联合公司
申请日： 2011-05-24 - 公布日： 2013-03-20 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：根据本发明之一具体实例，提供一种静电吸盘。该静电吸盘包含一电极及一表面层，该表面层由该电极中之一电压启动以形成一电荷以将一基板静电夹持至该静电吸盘，该表面层包括一电荷控制层，该电荷控制层包含大于约每平方1011欧姆之一表面电阻率。
表面电阻率静电吸盘

[发明专利]经涂覆之石墨物件及石墨物件之反应性离子蚀刻制造及整修-CN201180017162.0有效
发明人：理查德·A·库克;尼雷须·困达;史蒂芬·唐涅尔;刘研 -专利权人： 恩特格林斯公司
申请日： 2011-04-15 - 公布日： 2013-02-06 - 主分类号： H01B5/14 文献下载
摘要：根据本发明之一具体实例，提供一种经涂覆之石墨物件。该物件包含：石墨，及一覆盖该石墨之至少一部分之导电涂层。该导电涂层包含一贯穿该石墨及该导电涂层之厚度所量测得的小于约50欧姆之全厚度电阻。根据本发明之另一具体实例，提供一种用于制造一包含一导电涂层之石墨物件的方法。该方法包含：使用一反应性离子蚀刻制程处理该物件之石墨；及在使用该反应性离子蚀刻制程处理该石墨之后，将该导电涂层涂布于该石墨之至少一部分上。在根据本发明之又一具体实例中，提供一种用于整修一包含石墨及一上覆导电涂层之石墨物件的方法。该方法包含：使用一反应性离子蚀刻制程移除该石墨物件之该上覆导电涂层；及将一新导电涂层涂布于该石墨之至少一部分上。
经涂覆石墨物件反应离子蚀刻制造整修

[发明专利]薄晶片运载器-CN201180023390.9有效
发明人：巴里·格雷格尔森;詹森·斯蒂芬斯;鲁斯·拉斯克 -专利权人： 恩特格林斯公司
申请日： 2011-03-11 - 公布日： 2013-01-16 - 主分类号： B65D85/38 文献下载
摘要：一种在晶片容器内的改进的晶片支撑机构，用于承载多个轴向对齐的几乎圆形的薄晶片基片。该容器包括：盒体，该盒体具有用于容纳基片的多个相邻地布置的齿部，其中，每个凸肋构件从盒体开口顶部至盒体开口底部延续；可移动的顶盖部分；可移动的底盖部分；可移动地附接到容器顶盖的缓冲器组件；以及可移动地位于容器底盖中、通过晶片盒体的重量来固定的另一缓冲器组件。上部缓冲器由单个的区段以及在每个区段中的弹簧部分形成，这些区段在每个区段的端部处具有扩展的导入特征，每个区段都具有V形的横截面以便容纳晶片边缘。上部缓冲器和下部缓冲器相应地安装在上部容器盖和下部容器盖中，并且使晶片支撑部延伸到几乎每个晶片的整个圆周。
晶片运载

[发明专利]通用磁盘装运器-CN201080052476.X有效
发明人： G·安德森;S·海尔瑞;吉安·平·蔡(文森特) -专利权人： 恩特格林斯公司
申请日： 2010-11-18 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： G11B23/03 文献下载
摘要：系统、方法和组件包括用于运输、存储和处理数据存储磁盘或其他磁盘形物品的改进的通用磁盘容器；装载磁盘的磁盘装运系统和方法允许库存最少数量组件同时仍允许在容器中包装和装载不同厚度磁盘和不同容量磁盘；组件呈现通用性同时仍最小化微粒产生、磁盘损伤且提供简易装配。具有插槽的通用磁盘盒具有配置为处理相同直径但不同厚度的不同磁盘同时防止磁盘倾斜时磁盘与磁盘接触的窄下部分。通用顶盖配置成装载不同厚度磁盘的盒，即装载0.025英寸磁盘的盒或装载0.050英寸磁盘的相同盒。通用顶盖还配置成不同容量磁盘盒，即25容量的65mm磁盘盒或35容量的65mm盒。通用顶盖可轻易地容纳盒中倾斜的磁盘，利用真空装袋更加稳固地将磁盘固定在容器中的合适位置。
通用磁盘装运

[发明专利]包含不同平均尺寸的粒子的经烧结多孔材料-CN201080026549.8有效
发明人：罗伯特·S·瑟勒 -专利权人： 恩特格林斯公司
申请日： 2010-06-16 - 公布日： 2012-05-16 - 主分类号： B01D71/00 文献下载
摘要：本发明关于一种多孔薄膜，其包含第一平均尺寸的第一金属粒子粉末与第二平均尺寸的第二金属粒子粉末的掺合物，第一粉末与第二粉末经烧结在一起。第一平均尺寸比第二平均尺寸大5至50倍。多孔薄膜包含从40％(重量)至60％(重量)的第一粉末。
包含不同平均尺寸粒子烧结多孔材料

1
2
下一页»
尾页
共 26 条