“徐静奇”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果2个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置-CN202310681728.4有效
发明人： 徐静奇 -专利权人：北京精亦光电科技有限公司
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H01S3/034 文献下载
摘要：本申请涉及一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，包括：放电腔腔体，该放电腔腔体为封闭的空心腔体结构，放电腔腔体的开设有进气口和出气口；扰流板模块，该扰流板模块与放电腔腔体连接，并设有与进气口连通的出光通道；净化气路，其包括位于扰流板模块两侧且相对设置的第一气路和第二气路，第一气路和第二气路的气体在出光通道内相互对冲并回流至放电腔腔体内。本申请的扰流板模块一方面用于捕获流向出光镜片的灰尘颗粒，另一方面未被扰流板模块捕获的灰尘颗粒在第一气路和第二气路气流的对冲作用下返回至放电腔腔体内，阻止灰尘颗粒经过扰流板模块污染出光镜片，以使出光镜片表面保持清洁，不影响激光的输出性能。
一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置

[发明专利]一种气体激光器杂质净化装置-CN202310669852.9在审
发明人： 徐静奇 -专利权人：北京精亦光电科技有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司
申请日： 2023-06-07 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： B01D53/00 文献下载
摘要：本申请涉及一种气体激光器杂质净化装置，包括：放电腔腔体，该放电腔腔体为封闭的空心腔体结构，放电腔腔体开设有排气口和进气口；冷凝过滤器，该冷凝过滤器包括相互连通的泵体和冷凝换热器，泵体用于将排气口排出的工作气体泵入冷凝换热器内；冷凝换热器用于冷凝分离工作气体内的杂质气体，并将净化后的工作气体由进气口返回放电腔腔体内。本申请利用泵体将放电腔腔体内的工作气体通过排气口泵入冷凝换热器内，进入冷凝换热器的工作气体在冷凝换热器的超低温冷凝作用下，使杂质气体留在冷凝换热器中，进而实现过滤工作气体内的杂质气体，并将净化后的工作气体由进气口返回放电腔腔体内，提高工作气体的纯度。
一种气体激光器杂质净化装置