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- [发明专利]用于气浮传输的玻璃基板变形检测装置-CN201711401614.0在审
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黄斌;徐筱波;陈梅仙;李程伟;张勇
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合肥工业大学
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2017-12-22
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2018-05-18
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G01B11/16
- 本发明涉及用于气浮传输的玻璃基板变形检测装置。包括光源、相机、传动机构和机架；传动机构包括电动机、滚珠螺杆、移动块、导块和直线导轨；光源和相机并列设于移动块上；滚珠螺杆和直线导轨平行设于一对支架的上部，使移动块位于一对支架之间，且使光源和相机朝向下方。检测时，被测物位于移动块的下方，且对应着移动块上的光源和相机；光源分别照射到被测物的表面和基准平面上，以相机作为接收器，实现分别在不同的位置上反射成像。本发明基于光学原理，实现静态或动态的非接触性检测玻璃基板在气浮支承状态下的变形，精度可达到10µm，大大提高了检测效率；其结构设计合理，通过移动滑块，可动态检测出玻璃基板不同位置的变形量。
- 用于传输玻璃变形检测装置
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