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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种水爆设备-CN202320392352.0有效
发明人：谢双玲;彭旭言;谭夏智 -专利权人：湖南微朗科技有限公司
申请日： 2023-03-03 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： B02C19/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体制备技术领域,尤其公开了一种水爆设备，包括水爆装置和真空微波装置；水爆装置包括第一传送组件和水爆组件；真空微波装置连接水爆装置，包括真空箱体、第二传送组件、微波组件和真空组件，第二传送组件设置真空箱体内，且第二传送组件与第一传送组件对接，微波组件和真空组件至少部分设置于真空箱体内。本实用新型通过水爆装置对升温后的物料进行水爆处理，还通过第一传送组件和第二传送组件转移水爆处理后的物料至真空箱体，进而真空组件使真空箱体达到真空状态，调节物料残留冷却液的沸点，从而微波组件对物料进行低温烘干，使物料无需等待冷却即可进入下一工序，有效节省物料的冷却时间。
一种设备

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