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[发明专利]叉指换能器指条成型工艺以及声表滤波器-CN202211158553.0有效
发明人： 张敬迎;张树民;王国浩 -专利权人：杭州左蓝微电子技术有限公司
申请日： 2022-09-22 - 公布日： 2023-02-07 - 主分类号： H03H3/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种叉指换能器指条成型工艺以及声表滤波器，叉指换能器指条成型工艺通过调整光刻图形传统的互联结构，修改版图曝光区，有效地避免了光刻工艺中光刻图形形变异化的情况发生。并在后续的工艺流程中，通过目前已经较为成熟的、被本领域技术人员熟知的光刻、湿法腐蚀或干法刻蚀、去胶工艺，最终得到结构正常无形变异化的叉指换能器指条结构，而无需升级设备或提高其他工序制成能力，即在现有产线工艺制成能力水平上通过优化工艺达到了提高产品良率的效果。本发明提供的该叉指换能器指条成型工艺尤其适用于POI晶圆，制备POI SAW器件，提升器件生产良率。
叉指换能器指条成型工艺以及滤波器

[发明专利]太阳能电池测试装置-CN201910458969.6在审
发明人：万君毅;张敬迎;陈里险;万宜萍;龙凯浩 -专利权人：山西米亚索乐装备科技有限公司
申请日： 2019-05-29 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种太阳能电池测试装置，包括：第一电极台和第二电极台，所述第二电极台设置于所述第一电极台上方；所述第一电极台和所述第二电极台之间的间距可调，所述第一电极台和所述第二电极台之间的间隙用于容纳待测试太阳能电池芯片。本发明提供的太阳能电池测试装置可以用于测试正负电极分别裸露于两侧的太阳能电池芯片的性能，为太阳能组件分选出合格的太阳能电池芯片。
太阳能电池测试装置

[实用新型]一种除尘装置-CN201520146885.6有效
发明人： 张敬迎;伍能;吕勇;高昌礼;王策;李先林 -专利权人：海南汉能薄膜太阳能有限公司
申请日： 2015-03-16 - 公布日： 2015-07-22 - 主分类号： B08B5/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及表面清洁技术领域，特别是涉及一种除尘装置。用于对太阳能电池板芯片进行除尘清洁的除尘装置包括：用于排出第一路流体的主吹气机构、用于排出压力小于第一路流体压力的第二路流体的副吹气机构、用于吸收第一路流体和第二路流体的抽气机构以及设于主吹气机构和抽气机构之间的用于集尘的密闭罩板，抽气机构设于主吹气机构和副吹气机构之间，副吹气机构无间隙地紧邻于抽气机构，第一路流体与第二路流体对向流动。除尘过程中流体在抽气机构位置形成对向的湍流，从而能够集中定向地流向吸气机构。现有技术中流体因惯性而散乱流动，无法被抽气机构准确吸收，本实用新型中的除尘装置吸收尘埃杂质的收集回收准确性强且清洁效率高。
一种除尘装置

[实用新型]一种板材边缘的双面打磨工具-CN201420074632.8有效
发明人： 张敬迎;林觉智;吕勇;李先林 -专利权人：海南汉能光伏有限公司
申请日： 2014-02-21 - 公布日： 2014-10-08 - 主分类号： B24B9/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种板材边缘的双面打磨工具，包括供操作人员手持的握把；与所述握把固连的第一夹板和第二夹板，所述第一夹板和所述第二夹板平行设置，且所述第一夹板和所述第二夹板之间形成可供板材边缘嵌入的打磨槽；固定设置于所述打磨槽侧面上的打磨件。相比于手持砂纸打磨的方式而言，即使相邻板材之间的间隙较小，该双面打磨工具也可以更方便的接触到板材需要打磨的区域，并且打磨槽侧面上设置打磨件后的打磨面积较手持砂纸打磨而言更大，这可以有效提高板材边缘的打磨效率，并使打磨效果均匀稳定。
一种板材边缘双面打磨工具

[实用新型]一种PECVD工件架及其电极板-CN201420076271.0有效
发明人：林觉智;吕勇;陈显帆;张敬迎;李先林 -专利权人：海南汉能光伏有限公司
申请日： 2014-02-21 - 公布日： 2014-07-16 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种PECVD工件架的电极板，包括用于形成电极板工作段的电极板本体、设置于电极板本体的前后两端且用于形成电极板裸露段的本体端件，本体端件与电极板本体通过可拆装的螺钉紧固连接。由于本体端件与电极板本体为螺钉连接，因而裸露段上的膜层需要清理时，仅需将本体端件拆下并将其浸泡在NaOH溶液中进行浸泡清洁即可，该种清洁方式可以更加彻底的清除镀设在本体端件上的膜层，该种电极板在清洁时不仅消除了手工打磨时工作量大和清洁不彻底的弊端，同时还使工件架中的电极板保养起来更加容易操作，在有效保证清洁效果的同时，有效提高了电极板裸露段的清洁效率。本实用新型还公开了一种具有上述电极板的PECVD工件架。
一种 pecvd 工件及其极板