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- [实用新型]故障检测结构及分选机-CN202223533872.3有效
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刘志维;杨建;汪迪;张先俊
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深圳市华芯智能装备有限公司
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2022-12-28
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2023-07-14
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G08B21/18
- 本实用新型公开了一种故障检测结构及分选机，所述故障检测结构应用于分选机，所述分选机包括控制装置以及分别与所述控制装置电连接的传送装置和报警装置，所述故障检测结构包括连接部、活动部以及传感结构，所述连接部设置有用于抓取物料的夹爪；所述活动部可活动地安装于所述连接部，且用于与所述传送装置连接，用以在所述传送装置的带动下向拉料方向或者推料方向移动；所述传感结构用于与所述控制装置电连接，所述传感结构设置于所述活动部，用于在所述活动部移动的距离大于预设阈值时生成报警信号，以使所述控制装置根据所述报警信号控制所述报警装置输出所述报警信号，并控制所述传送装置停止工作。用于解决在出现卡料时无法及时报警的问题。
- 故障检测结构分选
- [实用新型]扩膜机构及分选机-CN202223593641.1有效
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刘志维;杨建;汪迪;张先俊
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深圳市华芯智能装备有限公司
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2022-12-28
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2023-06-09
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H01L21/687
- 本实用新型公开一种扩膜机构及分选机，该扩膜机构包括主体、升降载板、载膜板、扩膜件、驱动组件以及锁紧件，其中锁紧件在张开位和锁紧位之间可转动切换的安装于所述升降载板。所述驱动组件驱动所述升降载板下降时，所述锁紧件切换至锁紧位，所述载膜板跟随所述升降载板下降。本实用新型提出的扩膜机构在将晶圆板装入该载膜板内进行扩膜时，无需人工通过其他紧固件将载膜板固定在升降载板上，提升了扩膜效率。且使得载膜板的安装拆卸更加简单，以便于根据不同型号的晶圆盘，适应性地替换该载膜板，整个扩膜机构的使用范围更广。
- 机构分选
- [发明专利]扩膜机构及分选机-CN202211701260.2在审
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杨建;刘志维;汪迪;张先俊
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深圳市华芯智能装备有限公司
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2022-12-28
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2023-05-30
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H01L21/687
- 本发明公开一种扩膜机构及分选机，该扩膜机构包括主体、升降载板、载膜板、扩膜件、驱动组件以及锁紧件，其中锁紧件在张开位和锁紧位之间可转动切换的安装于所述升降载板。所述驱动组件驱动所述升降载板下降时，所述锁紧件切换至锁紧位，所述载膜板跟随所述升降载板下降。本发明提出的扩膜机构在将晶圆板装入该载膜板内进行扩膜时，无需人工通过其他紧固件将载膜板固定在升降载板上，提升了扩膜效率。且使得载膜板的安装拆卸更加简单，以便于根据不同型号的晶圆盘，适应性地替换该载膜板，整个扩膜机构的使用范围更广。
- 机构分选
- [发明专利]一种分选机-CN202211701258.5在审
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刘志维;杨建;汪迪;张先俊
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深圳市华芯智能装备有限公司
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2022-12-28
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2023-05-26
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H01L21/67
- 本发明公开一种分选机，包括晶圆盒供料组件；晶圆台组件与晶圆盒供料组件连接，晶圆盒供料组件能够给晶圆台组件提供晶圆，晶圆能够移动至上料装置上，上料装置上的抓取装置能够抓取晶圆并带动晶圆进行旋转；晶圆拉料组件设置在晶圆盒供料组件和晶圆台组件之间，晶圆拉料组件能够拉取晶圆盒供料组件的晶圆放置至晶圆台组件上；输入视觉能够观察抓取装置上的晶圆旋转后的位置；视觉检测机构与上料装置连接，视觉检测机构能够获取晶圆的图像；控制器根据晶圆的图像控制顶针带动合格的晶圆进入与上料装置连接的卷盘内。本发明方案可解决现有分选机仍需工人对晶圆进行归类放置，易造成晶圆被划伤导致晶圆的生产质量及产品合格率受到影响。
- 一种分选
- [实用新型]芯片推送装置及晶圆分选机-CN202223553521.9有效
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刘志维;杨建;汪迪;张先俊
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深圳市华芯智能装备有限公司
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2022-12-28
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2023-04-25
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H01L21/677
- 本实用新型公开一种芯片推送装置及晶圆分选机，所述芯片分选机包括所述芯片推送装置，所述芯片推送装置包括推送机构、弹性机构、检测机构和控制装置，所述推送机构包括驱动组件和推送组件，所述推送组件与所述驱动组件驱动连接，所述推送组件推送方向对应芯片的方向，用于推送芯片进行贴装；所述弹性机构位于所述推送组件的下方，用于对所述推送组件限位，当所述推送组件运动时，所述推送机构与所述弹性机构之间的距离缩短；所述检测机构与所述弹性机构连接，所述检测机构用于检测所述推送组件与所述弹性机构之间的距离；所述控制装置与所述驱动组件和所述检测机构电连接。该设计旨在便于更有效的，更精确的顶出芯片。
- 芯片推送装置分选
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