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[发明专利]183纳米激光器及检验系统-CN202211280002.1在审
发明人：勇-霍·亚历克斯·庄;J·约瑟夫·阿姆斯特朗;弗拉基米尔·德里宾斯基;邓宇俊;约翰·费尔登 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2015-10-02 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：本揭露实施例涉及一种183纳米激光器及检验系统。一种用于产生处于大约183nm的输出波长的激光器输出光的激光器组合件包含基频激光器、光学参数系统OPS、五次谐波产生器及混频模块。基频激光器产生处于基频频率的基频光。OPS产生处于经下变频频率的经下变频信号。五次谐波产生器产生基频光的五次谐波。混频模块混合经下变频信号与五次谐波以产生处于等于五次谐波频率与经下变频频率的和的频率的激光器输出光。OPS通过产生处于经下变频频率的经下变频种子信号且接着混合经下变频种子信号与基频光的一部分而产生经下变频信号。频率混合、频率转换或谐波产生中的至少一者利用经退火、经氘处理或经氢处理的CLBO晶体。
183 纳米激光器检验系统

[发明专利]具有高质量、稳定输出光束及长寿命高转换效率的非线性晶体的激光器-CN201811389243.3有效
发明人： 弗拉基米尔·德里宾斯基;勇-霍·亚历克斯·庄;约瑟夫·J·阿姆斯特朗;约翰·费尔登 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2012-06-28 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：本发明揭示一种具有高质量、稳定输出光束及长寿命高转换效率的非线性晶体的激光器。具体的，本发明揭示一种可以低温操作的锁模激光器系统，其可包含退火频率转换晶体及用以在所述低温标准操作期间维持所述晶体的退火状况的外壳。在一个实施例中，所述晶体可具有增加的长度。第一光束塑形光学器件可经配置以将来自光源的光束聚焦到位于所述晶体中或所述晶体接近处的光束腰处的椭圆形横截面。谐波分离块可将来自所述晶体的输出分成在空间上分离的不同频率的光束。在一个实施例中，所述锁模激光器系统可进一步包含第二光束塑形光学器件，其经配置以将椭圆形横截面的所要频率光束转换成具有例如圆形横截面的所要纵横比的光束。
具有质量稳定输出光束寿命转换效率非线性晶体激光器

[发明专利]183NM CW激光器及检验系统-CN201880015207.2有效
发明人：勇-霍·亚历克斯·庄;陆晓旭;张百钢;约翰·费尔登;弗拉基米尔·德里宾斯基 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2018-01-02 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： H01S3/109 文献下载
摘要：一种激光器组合件通过下列步骤产生在约181nm到约185nm的范围中的连续波CW激光器输出光：从具有介于1μm与1.1μm之间的第一基频波长的第一基频CW光产生四次谐波光；通过混合所述四次谐波光与所述第一基频CW光而产生五次谐波光；及接着混合所述五次谐波光与具有介于1.26μm与1.82μm之间的第二波长的第二基频或信号CW光。使用使第一基频CW光循环通过第一非线性晶体的外部腔且通过引导所述四次谐波光通过所述第一非线性晶体而产生所述五次谐波光。使用使经循环第二基频或信号CW光通过第二非线性晶体的第二腔且引导所述五次谐波光通过所述第二非线性晶体而产生所述激光器输出光。
183 nm cw 激光器检验系统

[发明专利]非线性光学晶体的钝化-CN201910013932.2有效
发明人： 弗拉基米尔·德里宾斯基;勇-霍·亚历克斯·庄 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2014-04-10 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本申请涉及非线性光学晶体的钝化。供在检查工具中使用的非线性光学晶体的钝化包含：在存在氟、氟化物离子及含氟化物化合物中的至少一者的情况下生长非线性光学晶体；机械地制备所述非线性光学晶体；对所述非线性光学晶体执行退火过程；及将所述非线性光学晶体暴露于含氢或含氘钝化气体。
非线性光学晶体钝化

[发明专利]使用单片带宽窄化设备的激光组合件及检验系统-CN201580046838.7有效
发明人：邓宇俊;勇-霍·亚历克斯·庄;约翰·费尔登;约瑟夫·J·阿姆斯特朗;弗拉基米尔·德里宾斯基 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2015-09-22 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：一种脉冲UV激光组合件包含：部分反射器或分束器，其将每一基频脉冲分割成两个子脉冲且将一个子脉冲引导到布拉格光栅的一端且将另一脉冲引导到所述布拉格光栅的另一端(或另一布拉格光栅)，使得两个子脉冲都被拉伸且接收相反(正及负)频率啁啾。所述两个经拉伸子脉冲经组合以产生和频光，其具有比可由直接来自所述基频的二次谐波产生而获得的带宽窄的带宽。可直接从所述和频光或从并入所述和频光的谐波转换方案产生UV波长。所述UV激光可进一步并入其它带宽减小方案。所述脉冲UV激光可用于检验或计量系统中。
使用单片宽窄设备激光组合检验系统

[发明专利]非线性光学晶体的钝化-CN201710438881.9有效
发明人：勇-霍·庄;弗拉基米尔·德里宾斯基 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2012-10-05 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： G02F1/355 文献下载
摘要：本发明是关于非线性光学晶体的钝化。本发明的一实施例包括暴露室，其经配置以含纳具有选定氢浓度的钝化气体，所述暴露室进一步经配置以含纳供暴露于所述室内的所述钝化气体的至少一个NLO晶体；钝化气体源，其流体连接到所述暴露室，所述钝化气体源经配置以将钝化气体供应到所述暴露室的内部部分；及衬底，其经配置以将所述NLO晶体固持于所述室内，所述衬底进一步经配置以使所述NLO晶体的温度维持处于或接近选定温度，所述选定温度低于所述NLO晶体的熔化温度。
非线性光学晶体钝化

[发明专利]使用193nm激光器的固态激光器及检验系统-CN201711145150.1有效
发明人：勇-霍·亚历克斯·庄;J·约瑟夫·阿姆斯特朗;弗拉基米尔·德里宾斯基;约翰·费尔登 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2013-05-17 - 公布日： 2020-01-07 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：本发明实施例涉及使用193nm激光器的固态激光器及检验系统。本发明揭示改进的激光器系统及相关联技术，其由接近1064nm的基谐波真空波长产生大约193.368nm的紫外线UV波长。优选实施例分离出至少一级的输入波长的未消耗部分且重新定向所述未消耗部分以在另一级中使用。所述改进的激光器系统及相关联技术导致比当前用于工业中的激光器更便宜、寿命更长的激光器。这些激光器系统可用易于获得、相对便宜的组件构造。
使用 193 nm 激光器固态检验系统

[发明专利]使用193nm激光器的固态激光器及检验系统-CN201711153410.X有效
发明人：勇-霍·亚历克斯·庄;J·约瑟夫·阿姆斯特朗;弗拉基米尔·德里宾斯基;约翰·费尔登 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2013-05-17 - 公布日： 2019-09-24 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：本发明实施例涉及使用193nm激光器的固态激光器及检验系统。本发明揭示改进的激光器系统及相关联技术，其由接近1064nm的基谐波真空波长产生大约193.368nm的紫外线UV波长。优选实施例分离出至少一级的输入波长的未消耗部分且重新定向所述未消耗部分以在另一级中使用。所述改进的激光器系统及相关联技术导致比当前用于工业中的激光器更便宜、寿命更长的激光器。这些激光器系统可用易于获得、相对便宜的组件构造。
使用 193 nm 激光器固态检验系统

[发明专利]非线性光学晶体的钝化-CN201480025680.0有效
发明人： 弗拉基米尔·德里宾斯基;勇-霍·亚历克斯·庄 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2014-04-10 - 公布日： 2019-02-01 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：供在检查工具中使用的非线性光学晶体的钝化包含：在存在氟、氟化物离子及含氟化物化合物中的至少一者的情况下生长非线性光学晶体；机械地制备所述非线性光学晶体；对所述非线性光学晶体执行退火过程；及将所述非线性光学晶体暴露于含氢或含氘钝化气体。
非线性光学晶体钝化

[发明专利]具有高质量、稳定输出光束及长寿命高转换效率的非线性晶体的激光器-CN201710397661.6有效
发明人： 弗拉基米尔·德里宾斯基;勇-霍·亚历克斯·庄;约瑟夫·J·阿姆斯特朗;约翰·费尔登 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2012-06-28 - 公布日： 2018-12-14 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：本发明揭示一种具有高质量、稳定输出光束及长寿命高转换效率的非线性晶体的激光器。具体的，本发明揭示一种可以低温操作的锁模激光器系统，其可包含退火频率转换晶体及用以在所述低温标准操作期间维持所述晶体的退火状况的外壳。在一个实施例中，所述晶体可具有增加的长度。第一光束塑形光学器件可经配置以将来自光源的光束聚焦到位于所述晶体中或所述晶体接近处的光束腰处的椭圆形横截面。谐波分离块可将来自所述晶体的输出分成在空间上分离的不同频率的光束。在一个实施例中，所述锁模激光器系统可进一步包含第二光束塑形光学器件，其经配置以将椭圆形横截面的所要频率光束转换成具有例如圆形横截面的所要纵横比的光束。
具有质量稳定输出光束寿命转换效率非线性晶体激光器

[发明专利]193NM激光器及检验系统-CN201480013519.1有效
发明人：勇-霍·亚历克斯·庄;J·约瑟夫·阿姆斯特朗;弗拉基米尔·德里宾斯基;邓宇俊;约翰·费尔登 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2014-01-24 - 公布日： 2018-08-28 - 主分类号： H01S3/108 文献下载
摘要：一种用于产生大约193.4nm的输出波长的激光器包含基波激光器、光学参数产生器、四次谐波产生器及混频模块。耦合到所述基波激光器的所述光学参数产生器可产生经下变频信号。可耦合到所述光学参数产生器或所述基波激光器的所述四次谐波产生器可产生四次谐波。耦合到所述光学参数产生器及所述四次谐波产生器的所述混频模块可产生处于等于所述四次谐波与所述经下变频信号的频率的两倍的和的频率的激光输出。
193 nm 激光器检验系统

[发明专利]非线性光学晶体的钝化-CN201710439378.5有效
发明人：勇-霍·庄;弗拉基米尔·德里宾斯基 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2012-10-05 - 公布日： 2017-10-17 - 主分类号： G02F1/355 文献下载
摘要：本发明是关于非线性光学晶体的钝化。本发明的一实施例包括暴露室，其经配置以含纳具有选定氢浓度的钝化气体，所述暴露室进一步经配置以含纳供暴露于所述室内的所述钝化气体的至少一个NLO晶体；钝化气体源，其流体连接到所述暴露室，所述钝化气体源经配置以将钝化气体供应到所述暴露室的内部部分；及衬底，其经配置以将所述NLO晶体固持于所述室内，所述衬底进一步经配置以使所述NLO晶体的温度维持处于或接近选定温度，所述选定温度低于所述NLO晶体的熔化温度。
非线性光学晶体钝化

[发明专利]非线性光学晶体的钝化-CN201280059827.9有效
发明人：勇-霍·庄;弗拉基米尔·德里宾斯基 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2012-10-05 - 公布日： 2017-07-07 - 主分类号： G02F1/35 文献下载
摘要：本发明包括暴露室，其经配置以含纳具有选定氢浓度的钝化气体，所述暴露室进一步经配置以含纳供暴露于所述室内的所述钝化气体的至少一个NLO晶体；钝化气体源，其流体连接到所述暴露室，所述钝化气体源经配置以将钝化气体供应到所述暴露室的内部部分；及衬底，其经配置以将所述NLO晶体固持于所述室内，所述衬底进一步经配置以使所述NLO晶体的温度维持处于或接近选定温度，所述选定温度低于所述NLO晶体的熔化温度。
非线性光学晶体钝化

[发明专利]具有高质量、稳定输出光束及长寿命高转换效率的非线性晶体的激光器-CN201280044059.X有效
发明人： 弗拉基米尔·德里宾斯基;勇-霍·亚历克斯·庄;约瑟夫·J·阿姆斯特朗;约翰·费尔登 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2012-06-28 - 公布日： 2017-06-20 - 主分类号： H01S3/098 文献下载
摘要：本发明揭示一种可以低温操作的锁模激光器系统，其可包含退火频率转换晶体及用以在所述低温标准操作期间维持所述晶体的退火状况的外壳。在一个实施例中，所述晶体可具有增加的长度。第一光束塑形光学器件可经配置以将来自光源的光束聚焦到位于所述晶体中或所述晶体接近处的光束腰处的椭圆形横截面。谐波分离块可将来自所述晶体的输出分成在空间上分离的不同频率的光束。在一个实施例中，所述锁模激光器系统可进一步包含第二光束塑形光学器件，其经配置以将椭圆形横截面的所要频率光束转换成具有例如圆形横截面的所要纵横比的光束。
具有质量稳定输出光束寿命转换效率非线性晶体激光器

[发明专利]183纳米激光器及检验系统-CN201580053715.6在审
发明人：勇-霍·亚历克斯·庄;J·约瑟夫·阿姆斯特朗;弗拉基米尔·德里宾斯基;邓宇俊;约翰·费尔登 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2015-10-02 - 公布日： 2017-06-13 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：一种用于产生处于大约183nm的输出波长的激光器输出光的激光器组合件包含基频激光器、光学参数系统OPS、五次谐波产生器及混频模块。所述基频激光器产生处于基频频率的基频光。所述OPS产生处于经下变频频率的经下变频信号。所述五次谐波产生器产生所述基频光的五次谐波。所述混频模块混合所述经下变频信号与所述五次谐波以产生处于等于五次谐波频率与所述经下变频频率的和的频率的所述激光器输出光。所述OPS通过产生处于所述经下变频频率的经下变频种子信号且接着混合所述经下变频种子信号与所述基频光的一部分而产生所述经下变频信号。所述频率混合、频率转换或谐波产生中的至少一者利用经退火、经氘处理或经氢处理的CLBO晶体。
183 纳米激光器检验系统

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