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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]波导结构的制造-CN201980033689.9有效
发明人：弗兰克·佐格;乔舒亚·韦恩·帕克斯 -专利权人： 弗卢库斯有限公司
申请日： 2019-05-21 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G02B6/122 文献下载
摘要：一种制造波导结构以从波导层形成固体芯波导的方法可以包括：向波导层中蚀刻流体通道；向波导层中蚀刻第一空气间隙和第二空气间隙，其中，蚀刻第一空气间隙和第二空气间隙创建了在波导层中的在第一空气间隙与第二空气间隙之间的固体芯波导。一种用于制造波导结构以形成固体芯波导的方法可以包括：在衬底层中形成第一沟槽、第二沟槽和第三沟槽；以及在机械加工的衬底层上沉积波导层，其中，沉积波导层在与第一沟槽对应的位置处创建流体通道的中空芯，并且在波导层中与第二沟槽与第三沟槽之间的区域对应的位置处创建固体芯波导部分。
波导结构制造

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