“库罗什·萨阿达特曼德”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果2个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]离子布植机-CN201510298722.4有效
发明人：万志民;库罗什·萨阿达特曼德;威廉·P·普拉托夫 -专利权人：汉辰科技股份有限公司
申请日： 2015-06-03 - 公布日： 2019-07-09 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：离子布植机，包括离子源以及至少一个光学组件。离子源提供一道离子束，而光学组件是配置于离子束的传递路径上，用以将离子束调整为非平行离子束，借以用非平行离子束的不同部分同时对一个工件的不同区域进行离子布植。光学组件可以是磁性组件，像是磁四极矩或是分别位于二个相分离支架上的多数个线圈。光学组件也可以是电性组件，像是分别位于二个相分离支架上的多数个电极。不同的光学组件分别可以用来将离子束予以发散或收敛，借以将离子源提供的离子束调整为平行度较差的非平行离子束。
离子布植机

[发明专利]为离子植入建立中电流带状离子束的方法及其离子束系统-CN201410541752.9在审
发明人：罗伯特·凯姆;查尔斯·M·弗里;大卫·豪格伦德;威廉·P·普拉托夫;库罗什·萨阿达特曼德 -专利权人：汉辰科技股份有限公司
申请日： 2014-10-14 - 公布日： 2015-08-12 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明提供一种为离子植入建立中电流带状离子束的方法，其系提供一包含有工作气体及运载气体的离子源，并藉由调整工作气体及运载气体的比例，以控制离子源中一工作离子束的强度，之后并利用质量分析仪将运载气体自工作离子束分离。亦可藉由于离子源下游设置一或多个机械式电流限制装置来控制工作离子束的强度。此方法可控制到达晶圆的带状离子束总强度约在3μA到3mA之间。
离子植入建立电流带状离子束方法及其系统