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[实用新型]晶圆盒-CN200820156892.4有效
发明人： 庄祈龙;许俊;高海林;时寒 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2008-12-10 - 公布日： 2009-10-07 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆盒，用于存储晶圆片，其包括盒体、设置于所述盒体底部的底座以及盒盖，还包括设置于所述底座内周上的支撑条，所述底座的内壁设有第一螺纹，所述盒盖外壁的上部设有第二螺纹，所述盒盖与所述底座通过所述螺纹螺接，可使多个晶圆盒固定在一起，放入同一个包装袋中包装出货，节约了包装及运输成本，所述支撑条的数量为八条，从而加大底座支撑固定的力度，便于操作人员旋拧所述盒盖，并可保证在真空包装过程中底座不变形，确保晶圆片的存储安全。
晶圆盒

[发明专利]一种去除半导体制程中氟残留的方法-CN200810033258.6无效
发明人：姜舜;杨洪春;陈淑美;庄祈龙 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2008-01-29 - 公布日： 2009-08-05 - 主分类号： B08B3/04 文献下载
摘要：一种去除半导体制程中氟残留的方法，涉及半导体工艺领域，包括如下步骤：a.用去离子水浸泡相关部件；b.将相关部件烘干。与现有技术相比，本发明具有以下优点：本发明能有效地去除半导体制程中相关部件上的氟残留，避免了由于氟残留造成的晶体缺陷。
一种去除半导体制程中氟残留方法

[发明专利]半导体测试管理系统-CN200710043871.1无效
发明人：吕秋玲;许俊;庄祈龙;王明珠 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2007-07-17 - 公布日： 2009-01-21 - 主分类号： G01R31/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种半导体测试管理系统，本发明的半导体测试管理系统包括电路针测图，记录晶圆的电性特性；自动缺陷检测装置，检测晶圆的缺陷信息；存储筛选软件的计算机，筛选软件具有筛选标准对晶圆的缺陷信息进行筛选。采用本发明的半导体测试管理系统不仅能同时检测晶圆的缺陷，简化测试程序，而且通过计算机操作，提高测试效率。
半导体测试管理系统

[实用新型]一种可提供多色宏观检查光源的晶圆检查光学显微镜-CN200720067981.7无效
发明人：陈亮;许俊;庄祈龙 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2007-03-20 - 公布日： 2008-03-12 - 主分类号： G02B21/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可提供多色宏观检查光源的晶圆检查光学显微镜。现有的晶圆检查光学显微镜只能提供白光进行宏观检查致使有些晶圆表面的缺陷很难被检查出来。本实用新型的晶圆检查光学显微镜包括用于对晶圆进行宏观检查的宏观检查单元、用于对晶圆进行微观检查的微观检查单元、用于载送晶圆至检查区域的晶圆载送机构以及用于控制上述构件进行晶圆检查的控制模块，其中，该宏观检查单元具有用于提供宏观检查光源的宏观光源模块，该宏观光源模块包括互连的光源灯和光源输出单元以及用于供使用者选用光源灯颜色的光源颜色选择单元，其中，该宏观光源模块的光源灯为多色灯。采用本实用新型能提高晶圆检查光学显微镜进行宏观检查的精确性和可靠性。
一种提供多色宏观检查光源光学显微镜