|
钻瓜专利网为您找到相关结果 7个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]荫罩的制造方法、荫罩的制造装置及其所用的清洗装置-CN97117133.5无效
-
二阶堂胜;平原祥子;奥土幸男;广泽大二;竹泽洋治
-
东芝株式会社
-
1997-07-02
-
1998-03-04
-
H01J9/14
- 根据本发明的清洗装置具有清洗部(121),具有气穴喷射装置,在保持基本水平的状态,在沿纵向输送的带状金属薄板的上面及下面,喷出对该带状金属薄板是惰性的清洗液,在上述金属薄板的表面附近发生气穴,进行急速的清洗;第1防漏密封部(124),设置在所述清洗部的前段,制约该金属薄板的位置,而且防止所述清洗液在与该金属薄板输送方向相反方向漏出。采用这样的清洗装置进行腐蚀后的清洗,由此可以急速地稀释除去残留于光刻胶膜檐部内侧的腐蚀液,因而可以防止开孔尺寸、形状的偏差。
- 制造方法装置及其所用清洗
|