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[发明专利]一种大面积DLC镀层均匀沉积方法-CN202310782435.5在审
发明人：苏东艺 -专利权人： 广州今泰科技股份有限公司
申请日： 2023-06-29 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： C23C16/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种大面积DLC镀层均匀沉积方法，制膜过程中其镀件采用如下装挂方式：四片衬板围成空心方笼，且在相邻两衬板的直角连接处留设开口，使用时两镀件待镀面相对地分装在对设的一组衬板上，衬板四周超出镀件，超出部分与镀件的待镀面取平，模拟待镀面向外延伸；制膜过程中的负偏压施加于衬板和镀件上，使空心方笼周身四个方向都产生辉光放电，通过放电量叠加形成空心阴极放电效应镀膜区，采用电磁场增强PECVD法，借助空心阴极放电效应技术，制得符合静电耗散表面电阻值的掺Si类金刚石保护膜。本发明提供了一种均匀沉积指定静电耗散级电阻率值的大面积DLC镀层的方法，有利于拓展DLC在半导体封装领域大尺寸平面工件上的应用。
一种大面积 dlc 镀层均匀沉积方法

[发明专利]一种金属表面水性遮蔽间镀表面处理方法-CN202310556151.4在审
发明人：苏东艺 -专利权人： 广州今泰科技股份有限公司
申请日： 2023-05-17 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种金属表面水性遮蔽间镀表面处理方法，包括以下步骤：S1、将金属件放在水洗设备中进行预处理清洗并干燥；S2、采用间镀处理的方式用水性材料对预处理后的金属件表面不需要镀膜的第一区域进行遮蔽处理；S3、将遮蔽处理后的金属件放入至烘干机中，于60℃～500℃的条件下烘干处理15min～120min；S4、对烘干后的金属件表面进行真空镀膜处理30min～180min形成镀层，取出金属件冷却；S5、将镀膜后的金属件放在水洗设备中水洗去除位于第一区域遮蔽的水性材料并保留需要镀膜的第二区域的镀层。本发明很好地解决了现有金属表面处理工艺中采用油性材料进行遮蔽间镀不够环保以及难以清除干净的问题。
一种金属表面水性遮蔽表面处理方法

[发明专利]一种高sp3-CN202211624290.8在审
发明人：苏东艺 -专利权人： 广州今泰科技股份有限公司
申请日： 2022-12-16 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： C23C16/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种高sp3C含量的含氢碳基薄膜及其制备方法，步骤包括将表面经过处理后的导电金属工件置于真空镀膜装置的真空室中，真空室内安装了至少一个磁控靶阴极和至少一个离化源电极，采用等离子体对导电金属工件的表面进行刻蚀活化；采用磁控溅射的方式先沉积靶材Me层，然后沉积靶材Me与C混合的含碳梯度层Me/C层，从而形成Me‑Me/C过渡层；采用至少一个离化源电极在Me‑Me/C过渡层上制备厚度为1～6微米的含氢碳基涂层，得到高sp3C含量的含氢碳基薄膜。采用本发明方法制得的高sp3C含量的含氢碳基薄膜的生长速率达到100～150nm/min，含氢碳基涂层的sp3C体积含量超过45％。
一种 sp base sup

[实用新型]一种具有耐磨耐蚀类金刚石涂层的高尔夫球头-CN202223384876.X有效
发明人：苏东艺 -专利权人： 广州今泰科技股份有限公司
申请日： 2022-12-16 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有耐磨耐蚀类金刚石涂层的高尔夫球头，包括采用硬度低于HRC50的软质金属材料的高尔夫球头基体，高尔夫球头基体的表面形成有纳米硬度超过15GPa的类金刚石涂层，类金刚石涂层包括由内向外依次分布的厚度为0.4～1.0微米的过渡层和厚度为1.0～5.0微米的含氢碳基涂层，过渡层包括覆盖在高尔夫球头基体的表面上的金属层以及碳成梯度分布在金属层上的金属/C复合层。本实用新型提供的具有类金刚石涂层的高尔夫球头，涂层的sp3C的体积含量超过45％，5.5％盐雾腐蚀能力超过96小时，具有优异的耐磨耐蚀性能，涂层膜基结合力强，且表面具有较亮的光泽外观视觉效果。
一种具有耐磨耐蚀类金刚石涂层高尔夫球

[发明专利]一种具有耐磨耐蚀类金刚石涂层的高尔夫球头及制备方法-CN202211624286.1在审
发明人：苏东艺 -专利权人： 广州今泰科技股份有限公司
申请日： 2022-12-16 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： C23C16/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有耐磨耐蚀类金刚石涂层的高尔夫球头及其制备方法，高尔夫球头包括表面形成有纳米硬度超过15GPa的类金刚石涂层的高尔夫球头基体，类金刚石涂层包括由内向外依次分布的厚度为0.5～0.9微米的过渡层和厚度为2.0～4.0微米的含氢碳基涂层，过渡层包括覆盖在高尔夫球头基体的表面上的金属层以及碳成梯度分布在金属层上的金属/C复合层；金属层的厚度为300～500nm，金属/C复合层的厚度为200～400nm。采用本发明制备方法能够快速高效地沉积制备具有类金刚石涂层的高尔夫球头，所制得的高尔夫球头具有优异的耐磨耐蚀性能，涂层膜基结合力强，且表面具有较亮的光泽外观视觉效果。
一种具有耐磨耐蚀类金刚石涂层高尔夫球制备方法

[发明专利]一种钒/钇共掺杂DLC涂层及其制备方法-CN202111041736.X有效
发明人：梁献文;苏东艺;黄现章;杜日昇 -专利权人： 广州今泰科技股份有限公司
申请日： 2021-09-07 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种钒/钇共掺杂DLC涂层及其制备方法，所述制备方法包括：先在基体上沉积Cr或Ti的底层，然后在底层的表面沉积CrC或TiC的过渡层，然后以钒和钇作为掺杂金属源，在过渡层的表面沉积钒钇共掺杂的DLC涂层。本发明的DLC涂层中同时掺杂了钒元素和钇元素，可大大降低DLC涂层的内应力，从而显著增强DLC涂层对基体的附着力，使膜基结合力高达70N以上。同时，钒的掺入可使涂层在摩擦过程中形成具有润滑性的化学转移膜，从而提高涂层的耐磨性能。钇的掺入可形成致密的非柱状晶纳米结构细颗粒，降低涂层的表面粗糙度，从而提高涂层的耐磨性能。钇的掺入还可提高DLC发生石墨化的温度，进而提高DLC的热稳定性。
一种掺杂 dlc 涂层及其制备方法

[实用新型]一种抗击打性能优异的高尔夫球头-CN202122726010.1有效
发明人：杜日昇;彭继华;梁献文 -专利权人： 广州今泰科技股份有限公司
申请日： 2021-11-08 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： C22C30/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种抗击打性能优异的高尔夫球头，涉及运动器材领域。包括高尔夫球头和依次涂附于所述高尔夫球头的高熵合金层、二元合金层以及三元氮化物层或四元氮化物层，所述高熵合金层包括纯金属高熵合金层和/或碳梯度高熵合金层，所述二元合金层包括依次涂附的纯二元合金层和梯度二元合金层。本申请高尔夫球头顶层界面的高强度、高韧度可以抑制裂纹萌生，二元合金层起缓冲作用，有效抑制裂纹的扩展，同时结合底层的高附着效果，硬层与软层交互重叠复合，达到刚柔相济的效果，可以有效抑制裂纹的扩展，使高尔夫球头的涂层整体达到高强度、高韧度、高硬度和抗剥落的性能。
一种抗击性能优异高尔夫球

[实用新型]一种硬质合金刀具DLC涂层-CN202122154566.8有效
发明人：梁献文;苏东艺;黄现章;杜日昇 -专利权人： 广州今泰科技股份有限公司
申请日： 2021-09-07 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： C23C16/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硬质合金刀具DLC涂层，其包括硬质合金刀具基体、氮碳化钛涂层、三氧化二铝涂层、氮化钛涂层和DLC涂层，所述氮碳化钛涂层沉积于所述硬质合金刀具基体的表面上，所述三氧化二铝涂层沉积于所述氮碳化钛涂层的表面上，所述氮化钛涂层沉积于所述三氧化二铝涂层的表面上，所述DLC涂层沉积于所述氮化钛涂层的表面上。本实用新型通过在DLC涂层与硬质合金刀具基体之间依次沉积TiCN涂层、Al2O3涂层和TiN涂层，形成诱发扩散界面，使应力得到有效释放，大大降低DLC涂层与硬质合金刀具基体之间的内应力，有效提高DLC涂层对基体的附着力。
一种硬质合金刀具 dlc 涂层

[发明专利]一种抗冲击高硬度涂层和制备方法及应用-CN202111313781.6在审
发明人：梁献文;彭继华;杜日昇 -专利权人： 广州今泰科技股份有限公司
申请日： 2021-11-08 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： C23C14/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种抗冲击高硬度涂层和制备方法及应用，涉及新型薄膜材料领域。涂层包括高熵合金层、二元合金层以及三元或四元氮化物层，高熵合金层包括FeMnCrCo层和/或(FeMnCrCo)1‑x1Cx1梯度层；二元合金层包括TiAl层或CrAl层以及(TiAl)1‑x2Nx2梯度层或(CrAl)1‑x2(CN)x2梯度层；三元或四元氮化物层为TiAlN层、CrAlN层、(CrAlSi)1‑X3NX3层或(TiAlSi)1‑X3NX3层。本申请涂层界面的高韧度可以抑制裂纹萌生，二元合金层起缓冲作用，有效抑制裂纹的扩展，同时结合底层效果，使涂层整体达到高韧度、高强度、高硬度、抗剥落的性能。
一种冲击硬度涂层制备方法应用

[发明专利]一种含有密封氢气微孔结构的类金刚石涂层及其制备方法-CN201910225238.7有效
发明人：彭继华;黄现章 -专利权人： 广州今泰科技股份有限公司;华南理工大学
申请日： 2019-03-22 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种含有密封氢气微孔结构的类金刚石涂层及其制备方法。本发明采用全新的结构设计理念，通过控制等离子体轰击表面的离子能量范围和等离子体离化率，将类金刚石涂层中的氢以密封氢气微孔形式稳定存在于制备态涂层中，并利用这种稳定的微孔阻止裂纹的扩展，从而获得兼具高硬度和高韧性类金刚石涂层，解决了现有含氢类金刚石涂层中氢主要以形成C‑H键形式存在，且其断裂严重影响材料的各种性能的问题。
一种含有密封氢气微孔结构金刚石涂层及其制备方法

[实用新型]一种带有镜面硬质涂层的镶嵌式气缸套筒挤出模具-CN201920376901.9有效
发明人：彭继华;苏东艺;梁献文 -专利权人： 广州今泰科技股份有限公司;华南理工大学
申请日： 2019-03-22 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： B21C25/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带有镜面硬质涂层的镶嵌式气缸套筒挤出模具。所述模具由内到外依次包括模具基体、金属氮化物过渡层和镜面硬质涂层，所述金属氮化物过渡层为CrN过渡层，所述镜面硬质涂层为多元合金氮化物镜面硬质涂层或多元合金碳氮化物镜面硬质涂层。本实用新型的镶嵌式气缸套筒挤出模具表面涂覆有高光洁度的镜面硬质涂层，长期在高温下工作时具有优异的红硬性和抗氧化性，可大幅度地提高成品质量和延长模具寿命。
一种带有硬质涂层镶嵌气缸套筒挤出模具

[实用新型]一种带有镜面硬质涂层的铝合金拉罐产线用模具-CN201920376903.8有效
发明人：彭继华;苏东艺;梁献文 -专利权人： 广州今泰科技股份有限公司;华南理工大学
申请日： 2019-03-22 - 公布日： 2020-02-28 - 主分类号： C23C28/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带有镜面硬质涂层的铝合金拉罐产线用模具。所述模具由内到外依次包括模具基体、过渡层和镜面硬质涂层，所述过渡层为TiN过渡层，所述镜面硬质涂层为多元合金氮化物镜面硬质涂层。本实用新型的模具表面涂覆有高光洁度的镜面硬质涂层，采用高效率的在线离子刻蚀方法使涂层表面达到在线“抛光”效果，消除表面上与涂层结合力弱的颗粒，实现了对涂层表面随时平整化的效果。采用本实用新型的模具可大幅度提高成品质量和延长模具寿命。
一种带有硬质涂层铝合金拉罐产线用模具

[发明专利]一种金属模具钢表面复合双重处理方法-CN201611011000.7有效
发明人：彭继华;苏东艺 -专利权人： 广州今泰科技股份有限公司;华南理工大学
申请日： 2016-11-17 - 公布日： 2020-02-07 - 主分类号： C23C8/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种金属模具钢表面复合双重处理方法，包括：金属模具钢表面清洁、金属模具钢表面干燥预处理、采用辅助离子源对真空室内的模具钢表面实施离子刻蚀、采用辅助离子源，对模具实现碳氮离子共渗、碳氮离子共渗后再采用辅助离子源实施氩离子轰击刻蚀表面和采用非对称双极脉冲偏压模式施加于模具，阴极电弧放电法涂覆PVD涂层等步骤。本金属模具钢表面复合双重处理方法可以实现模具表面全覆盖、无死角的强化，同时使用阴极电弧放电法涂覆PVD涂层，通过频率、占空比的合理变化增强沟槽和盲孔对沉积粒子的接收吸附，进一步提高模具上盲孔、窄槽表面获得尽可能厚的PVD涂层，从而在模具表面制备抗氧性高、耐磨性优异的涂层。
金属模具钢表面辅助离子源双重处理模具模具表面阴极电弧放电法复合共渗盲孔碳氮涂覆离子干燥预处理模具钢表面氩离子轰击耐磨性刻蚀表面离子刻蚀偏压模式双极脉冲非对称抗氧性全覆盖无死角占空比吸附窄槽沉积制备粒子施加室内清洁

[实用新型]一种用于制造塑料瓶的模具-CN201920376905.7有效
发明人：黄现章;彭继华;苏东艺 -专利权人： 广州今泰科技股份有限公司;华南理工大学
申请日： 2019-03-22 - 公布日： 2020-01-21 - 主分类号： C23C16/513 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于制造塑料瓶的模具。所述模具由内到外依次包括基体层、过渡层和含氢类金刚石涂层，所述过渡层为Ti‑WC过渡层或Cr‑WC过渡层，所述含氢类金刚石涂层具有密闭氢气的微孔结构。本实用新型采用全新的结构设计理念，将含氢类金刚石涂层中的氢以氢气密封微孔的形式稳定存在于制备态涂层中，并利用这种稳定的微孔阻止裂纹的扩展，从而获得结构独特，兼具高硬度和高韧性的类金刚石涂层，解决了现有含氢类金刚石涂层中氢主要以形成C‑H键的形式存在，且其断裂严重影响材料的各种性能的问题。该含氢类金刚石涂层应用于瓶吹模具后，该瓶吹模具具有脱模顺畅、使用寿命高的特点。
类金刚石涂层过渡层模具本实用新型氢气微孔使用寿命微孔结构影响材料高韧性高硬度基体层塑料瓶制备态密闭脱模密封断裂应用制造

[发明专利]多用途灯丝气体离子源装置-CN201711455918.5有效
发明人：苏东艺;彭继华 -专利权人： 广州今泰科技股份有限公司;华南理工大学
申请日： 2017-12-26 - 公布日： 2020-01-03 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本发明涉及离子源设备技术领域，具体涉及了一种多用途灯丝气体离子源装置，包括第一离化腔室，第一离化腔室的一端设有第一进气口且第一离化腔室的另一端上设有第一逸出口，第一离化腔室的外侧壁上缠绕有第一线圈，第一离化腔室内设有灯丝组件，灯丝组件包括相对设置的灯丝和反射极板，反射极板位于灯丝和第一逸出口的中心线之间，灯丝和反射极之间为并联连接。本发明通过缠绕在第一离化腔室外的第一线圈以及与灯丝相对设置的反射极板，提高了气体离化效率，同时从灯丝发射出来的杂质原子会被反射极板和第一离化腔室捕获，避免杂质原子污染被加工工件。
离化灯丝腔室极板反射气体离子源装置灯丝组件相对设置杂质原子缠绕进气口被加工工件离子源设备并联连接反射极外侧壁捕获出口室外室内发射污染

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