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[发明专利]测定器、蚀刻系统、硅浓度测定方法及硅浓度测定程序-CN201910193622.3有效
发明人：村上友佳子;植松育生;平川雅章 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2019-03-14 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： G01N21/3577 文献下载
摘要：本发明提供能够测定溶液中的微量硅浓度的测定器、蚀刻系统、硅浓度测定方法及硅浓度测定程序。根据实施方式，提供一种测定器，其包含输入输出部、存储器和处理器。输入输出部被输入测定值信息，所述测定值信息表示测定对象液的磷酸、第2酸和水的浓度，所述测定对象液包含磷酸、具有比磷酸的第1酸解离指数pKa1小的酸解离指数pK的第2酸和水。存储器保持变动值信息，所述变动值信息包含在基准液中按照成为基准硅浓度的方式添加硅时的磷酸、第2酸和水的浓度变化与基准硅浓度的关系，所述基准液含有磷酸、第2酸和水。处理器基于输入至输入输出部的测定值信息和从存储器读出的变动值信息，得到相当于测定值信息的测定对象液的硅浓度。
测定蚀刻系统浓度方法程序

[发明专利]添加剂、添加剂分散液、蚀刻原料单元、添加剂供给装置、蚀刻装置及蚀刻方法-CN201910202118.5有效
发明人：村上友佳子;平川雅章;植松育生 -专利权人：株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社
申请日： 2019-03-18 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本发明的实施方式涉及添加剂、添加剂分散液、蚀刻原料单元、添加剂供给装置、蚀刻装置及蚀刻方法。提供用于制备能够实现高的处理效率的硅的蚀刻液的添加剂及添加剂分散液、和使用了该添加剂及添加剂分散液的蚀刻技术。一实施方式所涉及的添加剂为用于制备在硅的蚀刻中所使用的蚀刻液的添加剂。添加剂包含固体状硅材料。固体状硅材料的比表面积大于12.6cm2/g。固体状硅材料的表面的至少一部分被氧化。
添加剂分散蚀刻原料单元供给装置方法

[发明专利]蚀刻液、蚀刻方法及电子部件的制造方法-CN201880002785.2在审
发明人：村上友佳子;平川雅章;植松育生 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2018-03-13 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： H01L21/308 文献下载
摘要：本发明的实施方式的蚀刻液是用于氮化硅的蚀刻的蚀刻液，其包含磷酸、具有比磷酸的第1酸解离指数pK_a1小的酸解离指数的酸、硅酸化合物和水。磷酸的质量M1与酸的质量M2之比M1/M2在0.82以上且725以下的范围内。
蚀刻液磷酸蚀刻酸解离指数硅酸化合物电子部件氮化硅制造

[发明专利]处理装置及处理液的再利用方法-CN201510567320.X有效
发明人： 平川雅章;松井绘美 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2015-09-08 - 公布日： 2019-01-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供处理装置及处理液的再利用方法。本实施方式的处理装置具备透析部、处理部和回收部。所述透析部对含有磷酸、硅化合物和水的溶液进行透析。所述处理部使用经所述透析的溶液进行被处理物的处理。所述回收部对在所述被处理物的处理中使用的溶液进行回收并供给至所述透析部。所述透析部具有使阴离子透过的透过部。所述回收部将在所述被处理物的处理中使用的溶液供给至通过所述透过部划分开的所述透析部内的区域。
处理装置再利用方法

[其他]电解水生成装置-CN201690000551.0有效
发明人：太田英男;横田昌广;千草尚;斋藤诚;小野修;平川雅章 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2016-01-29 - 公布日： 2018-09-18 - 主分类号： C02F1/46 文献下载
摘要：一种电解水生成装置，其包含：电解槽，所述电解槽包含具有阳极电极的阳极室、和与所述阳极室之间被第1隔膜隔开的、具有阴极电极的阴极室；和向阴极室供给酸性水、并且使阴极室中生成的碱性的阴极水成为酸性的第1管线。
阴极室电解水生成装置电解槽阳极室阳极电极阴极电极酸性水阴极水隔开隔膜

[发明专利]处理装置、制造处理液体的方法和制造电子器件的方法-CN201310401801.4无效
发明人：平林英明;长岛祐次;平川雅章 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2013-09-06 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：根据一个实施方案，处理装置包括电解单元、碱添加单元和处理单元。所述电解单元包括阳极电极和阴极电极。所述电解单元经配置以含有不含金属的碱、盐酸和水的电解溶液。所述碱添加单元经配置以进一步将所述不含金属的碱添加到已经过电解的溶液。所述处理单元经配置以使用已经过电解且其中进一步添加所述不含金属的碱的溶液执行对将处理物体的处理。
处理装置制造液体方法电子器件

[发明专利]使用光波导的测定系统-CN201210090898.7有效
发明人：东野一郎;葛西晋吾;和田嵩辉;绳田功;平川雅章;高濑智裕;大宫可容子;山内健资;中山忠弘;新田勇 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2012-03-30 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： G01N33/543 文献下载
摘要：根据一个实施方式，提供一种使用了光波导的测定系统。测定系统具有光波导、磁性微粒、磁场施加部、光源及受光元件。光波导具有感应区，该感应区固定化了和测定对象物质特异性结合的第1物质。各个磁性微粒固定化了和上述测定对象物质特异性结合的第2物质。磁场施加部生成使上述磁性微粒移动的磁场。光源使光入射到上述光波导。受光元件接收从上述光波导出射的光。
使用波导测定系统

[发明专利]测试元件，测试试剂盒，测试装置和测试方法-CN201110252145.7有效
发明人：东野一郎;和田嵩辉;大宫可容子;葛西晋吾;平川雅章 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2011-08-30 - 公布日： 2012-05-02 - 主分类号： G01N21/78 文献下载
摘要：本发明涉及测试元件，测试试剂盒，测试装置和测试方法。根据一个实施方式，所述测试元件包括：基板，一对光学元件单元，光波导单元，检测单元和保持单元。基板具有透光性。一对光学元件单元彼此分开排列在基板主表面。光波导单元设置于基板主表面。检测单元设置于光学元件单元之间的光波导单元的主表面。光波导单元的主表面是接触基板的侧的对侧。保持单元是框架形状，且保持单元的一端设置为从检测单元的主表面突出。检测单元包括发色剂及保持所述发色剂的膜形成体。
测试元件试剂盒装置方法

[发明专利]葡萄糖传感器芯片-CN201010589163.X无效
发明人： 平川雅章;植松育生 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2010-12-15 - 公布日： 2011-06-15 - 主分类号： G01N21/78 文献下载
摘要：本发明提供一种具有测定灵敏度高的传感膜的葡萄糖传感器芯片。其具备包含相互分离地设置于基板(2)的主表面上的一对光栅(4)的光波导层(3)、和设置于一对光栅(4)间的光波导层(3)部分上的传感膜(5)，传感膜(5)由膜形成高分子化合物、交联性高分子化合物和多孔质化低分子化合物形成，膜中保持有显色剂、用于氧化或还原葡萄糖的第1酶、及与第1酶的产物反应而生成使显色剂显色的物质的第2酶。
葡萄糖传感器芯片

[发明专利]光学式葡萄糖测定仪片及其制造方法-CN200710149401.3有效
发明人：植松育生;平川雅章;大宫可容子 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2007-07-20 - 公布日： 2008-01-23 - 主分类号： A61B5/1477 文献下载
摘要：本发明提供抑制乃至防止传感检测膜中的第1、第2酶随时间推移的劣化可能的光学式葡萄糖测定仪片。该光学式葡萄糖测定仪片具备基片，在基片的主面上形成的、用于使光入射到上述基片内、使光放出到上述基片外的一对光学元件，在位于光学元件之间的上述基片主面上形成的葡萄糖传感检测膜，该传感检测膜含有发色剂、使葡萄糖氧化或者还原的第1酶、通过和该第1酶的生成物反应而产生使上述发色剂发色的物质的第2酶和负离子性纤维素衍生物，上述传感检测膜具有上述第1、第2酶中的任一个酶用放入缓冲剂的离子性聚合物被覆，而且这些酶和发色剂保持在上述负离子性纤维素衍生物上的结构。
光学葡萄糖测定及其制造方法

[发明专利]显色反应检测仪及其制造方法-CN200710142158.2无效
发明人：高濑智裕;绳田功;植松育生;平川雅章 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2007-06-29 - 公布日： 2008-01-23 - 主分类号： G01N21/78 文献下载
摘要：本发提供一种对温度变化造成的检测值的变化进行补偿的显色反应检测仪及其制造方法。本发明提供一种显色反应检测仪，其特征在于该显色反应检测器包括支承部，该支承部支承传感器芯片，该传感器芯片具有衬底，设置于上述衬底上的传导波层，与设置于上述传导波层上，通过由被检查体释放的物质，产生显色反应的薄膜；光源，该光源将光导入支承于上述支承部上的传感器芯片；光检测器，该光检测器检测从上述传感器芯片释放的光；测定温度的温度传感器；控制部，该控制部根据上述光检测器的检测的结果，上述温度传感器的测定的结果，对上述传感器芯片的显色反应量进行运算。
显色反应检测及其制造方法

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