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- [发明专利]气罐阀门自动开闭装置及其方法-CN201880050350.5有效
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金斗喆;李种声;崔元镐
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AMT 株式会社
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2018-08-02
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2022-04-08
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F17C13/04
- 本发明涉及将装载于柜上的气罐与供气管线自动连接的气罐阀门自动开闭装置及其方法，将端帽从装载于柜中的气罐上分离以后，与气体输送管线连接，然后开放阀门手柄，将气罐内的气体向气体输送管线输送的过程中气体泄漏时，不仅在非停电，停电时也可以将开放的气体喷嘴迅速地自动关闭。为此，本发明的特征是，其组成结构包括：被可升、降地设置的主板（11）和；设置于所述主板（11）的下部，使端帽（62）从气罐（60）上分离后，使连接器座（28）自动螺旋转结合于气体喷嘴（64）的气罐连接部（20）和；以第一轴（55）为中心旋转地设置于所述主板（11）上，使阀门手柄（61）向顺时针或逆时针方向旋转的阀门手柄装置（50）和；设置于所述主板（11）的上部使将气罐（60）的阀门（63）自动开闭的阀门手柄装置（50）启动的阀门手柄开闭装置（40）。
- 阀门自动开闭装置及其方法
- [发明专利]高压气罐的自动校准方法-CN201880080614.1有效
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崔元镐;金灿佑
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AMT株式会社
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2018-12-10
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2022-03-11
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F17C13/04
- 本发明涉及半导体FAB制造工艺（Fabrication Process）设备中，为了给晶圆生产线输送气体，在柜（cabinet）的提升装置上装载（loading）高压气罐后，由提升装置使被装载的高压气罐上升，然后将高压气罐的端帽和气体配管的连接器座中心自动校准（align）的高压气罐的自动校准方法，将提升装置可升、降地安装在柜中，使装载到提升装置上的高压气罐自动上升及下降以及旋转的同时，使结合于高压气罐的阀门的端帽中心与连接于气体配管的连接器座中心一致，使得高压气罐的更换实现自动化。为此，本发明的特征是，将高压气罐（200）放置在提升装置（400）上，使提升装置（400）上升，使得设置于高压气罐（200）上部的阀门（210）的端帽（213）水平方向中心与连接器座（310）的水平方向中心一致，然后使高压气罐（200）旋转同时，使端帽（213）的θ中心与连接器座（310）的θ中心一致后使提升装置（400）升、降，然后使端帽（213）的Z中心与连接器座（310）的Z中心一致。
- 压气自动校准方法
- [发明专利]高压气罐自动更换系统及其方法-CN201880066267.7有效
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崔元镐;金灿佑
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AMT株式会社
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2018-11-14
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2022-01-14
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F17C13/04
- 本发明涉及半导体制造工艺（Fabrication Process）设备中为了给晶圆生产线供应气体，将装载（loading）以及卸载（unloading）于柜（cabinet）中的高压气罐自动更换的高压气罐自动更换系统及其方法，在高压气罐提升装置上装载高压气罐后，将高压气罐自动连接到高压气罐连接装置，高压气罐内的气体被消耗到一定量时，从高压气罐连接装置上将高压气罐自动分离卸载。其特征是，包括：可升、降地设置在柜（k）内，并具备高压气罐（10）被放置的圆盘（201）的高压气罐提升装置（200）；将放置于所述高压气罐提升装置（200）的圆盘（201）上的高压气罐（10）夹紧后排列高压气罐（10）位置的高压气罐夹紧装置（300）；从通过所述高压气罐提升装置（200）上升的高压气罐（10）上去除端帽（21）后，将连接器座（41）自动连接到气体喷嘴（23），调节气体流动的高压气罐连接装置（100）；设置在所述柜（k）上控制高压气罐连接装置（100）、高压气罐提升装置（200）、高压气罐夹紧装置（300）的驱动的控制部（400）。
- 压气自动更换系统及其方法
- [发明专利]高压气罐的垫圈自动更换装置-CN201880080279.5有效
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崔元镐
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AMT株式会社
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2018-12-13
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2021-12-14
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B25B27/00
- 本发明涉及更换高压气罐时随着垫圈的变形为了保持密封而更换成新的垫圈的高压气罐的垫圈自动更换装置，从连接机构的连接器座中去除用完的垫圈以后，可以自动插入新的垫圈。根据本发明的特征，该结构包括：位于高压气罐连接机构(10)的连接器座(11)的一侧并被固定设置在基板(20)上的座(30)；可转动地设置在所述座(30)上的可动部件(31)；被设置在座(30)上使杆分别连接于固定在所述基板(20)上的托架(32)和座(30)上，进而使可动部件(31)转动的二级传动装置(33)；使可动部件(31)从所述座(30)向连接器座(11)侧进退运动的停靠传动装置(34)；设置于所述可动部件(31)上，从连接器座(11)上将用完的垫圈(50a)自动去除并依次收容的垫圈去除筒(60)；被设置在位于所述垫圈去除筒(60)上部的可动部件(31)上，将收容着的新的垫圈(50)插进连接器座(11)的垫圈插入筒(70)。
- 压气垫圈自动更换装置
- [发明专利]高压气罐的自动更换方法-CN201880081136.6有效
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崔元镐
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AMT株式会社
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2018-12-19
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2021-09-10
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F17C13/04
- 本发明的特征是，依次实施：在柜（100）中装载第一、二高压气罐（201、202），将第一高压气罐（201）的气体输送到供气管线，而第二高压气罐（202）的阀门连接件（211）是连接于连接器座（310）待机的第一步骤；通过控制部（500）检测到第一高压气罐（201）的更换时间以后，切换流道停止由第一高压气罐（201）供气，由第二高压气罐（202）供气的第二步骤；将第一高压气罐（201）的阀门手柄（213）关闭的第三步骤；从连接器座（310）上释放第一高压气罐（201）的连接状态以后，用端帽（212）关闭阀门连接件（211）的第四步骤；使第一高压气罐（201）下降至下止点的第五步骤；在连接器座（310）上将用完的垫圈自动去除的第六步骤；将第一高压气罐（201）的夹紧状态释放的第七步骤；打开柜（100）的门，将第一高压气罐（201）用第三高压气罐（203）更换以后关门的第八步骤；将第三高压气罐（203）夹紧的第九步骤；在连接器座（310）上自动插入新的垫圈的第十步骤；使第三高压气罐（203）上升至上止点以后，使阀门连接件（211）的中心和连接器座（310）的中心校准的第十一步骤；从第三高压气罐（203）上去除端帽以后，将阀门连接件（211）连接到连接器座（310）的第十二步骤；打开第三高压气罐（203）的阀门手柄（213）待机的第十三步骤。
- 压气自动更换方法
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