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[发明专利]薄膜太阳能电池的加工装置及薄膜太阳能电池的加工方法-CN201610282341.1有效
发明人： 山田充;木下知子;中谷郁祥 -专利权人：三星钻石工业股份有限公司
申请日： 2016-04-29 - 公布日： 2019-11-08 - 主分类号： H01L31/0463 文献下载
摘要：本发明提供一种有助于缩短形成划线所需时间的薄膜太阳能电池的加工装置及薄膜太阳能电池的加工方法。本发明的薄膜太阳能电池的加工装置包括：载台，供载置形成着中间层(23)的衬底(10)；刃具，在中间层(23)形成划线(30)；头，将刃具按压至中间层(23)；扫描机构，通过使头相对于载台相对移动而对刃具进行扫描；及控制装置，控制头及扫描机构的动作。控制装置是通过按压刃具而形成划线(30)的加工开始点(30X)，且在形成加工开始点(30X)后一边维持按压刃具的状态一边对刃具进行扫描，由此，在中间层(23)形成划线(30)，且使形成加工开始点(30X)时按压刃具的力即按压力强于形成划线(30)时的按压力。
薄膜太阳能电池加工装置方法

[发明专利]基板的沟槽加工工具及基板用沟槽加工装置-CN201310415056.9在审
发明人： 山田充;曾山正信 -专利权人：三星钻石工业股份有限公司
申请日： 2013-09-12 - 公布日： 2014-05-07 - 主分类号： B26D3/06 文献下载
摘要：本发明是有关于一种基板的沟槽加工工具及基板用沟槽加工装置，本发明的课题在于使工具相对于基板相对地往返移动而进行沟槽加工时，使工具的摆动角度较小，且良好地排出切削屑从而使加工品质稳定。本发明的沟槽加工工具由保持具17保持，且用于在基板上与保持具17共同相对地往返移动而在基板形成沟槽的工具，具有由保持具17保持的工具本体36、及形成于工具本体36的前端部的刀尖部37。刀尖部37具有第1刀38a、第2刀38b、及退避部39。第1刀38a形成于工具本体36的前端部，且形成于移动方向的去向移动侧的前端。第2刀38b形成于来向移动侧的前端。退避部39形成于第1刀38a与第2刀38b之间，且以向工具本体36侧凹陷的方式形成。
沟槽加工工具基板用装置

[发明专利]薄膜太阳电池的槽加工工具、方法及槽加工装置-CN201310105510.0有效
发明人： 山田充;曾山正信 -专利权人：三星钻石工业股份有限公司
申请日： 2013-03-28 - 公布日： 2013-10-23 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明是有关于薄膜太阳电池的槽加工工具、方法及槽加工装置。提供一种可产率佳的制造集成型薄膜太阳电池的太阳电池的槽加工工具。使用槽加工工具对薄膜太阳电池的薄膜进行槽加工，该槽加工工具，由棒状的本体与形成在本体前端的圆锥梯状的刃尖区域构成；刃尖区域具有刃尖区域的底面与从刃尖区域的底面朝向本体延伸的刃尖区域的侧面；借由刃尖区域的底面与刃尖区域的侧面形成的角部构成刃尖；从刃尖区域的底面朝向本体变细地形成。本发明提供的技术方案可有效地使槽加工工具的寿命变长，变形亦少，因此能长时间高精度地进行刻划加工。
薄膜太阳电池加工工具方法装置

[发明专利]沟槽加工工具及沟槽加工方法-CN201310025696.9无效
发明人： 山田充;曾山正信 -专利权人：三星钻石工业股份有限公司
申请日： 2013-01-16 - 公布日： 2013-07-24 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明有关于一种沟槽加工工具，是在积成型薄膜太阳电池的沟槽加工，即使用于加工的薄膜较厚，亦能够直线地形成固定线宽的美丽的刻划线。该沟槽加工工具由棒状的本体、以及形成于本体前端的刀刃前端区域11所构成；刀刃前端区域11由长方形的底面12、从底面12的长边方向的边相对于底面12而立起成直角的相互平行的左侧面13及右侧面14、以及沿着底面12的宽度方向的边而形成于刀刃前端区域11的前面侧或后面侧的至少任一方侧的刀刃前端部16所构成；刀刃前端部16形成有由在底面12的端缘朝向斜上方倾斜的第1刀刃面18、以及相对于第1刀刃面18而交叉成锐角的第2刀刃面19所构成的刀刃前端。
沟槽加工工具方法

[发明专利]薄膜太阳能电池用槽加工工具及该电池的槽加工装置-CN201110430427.1有效
发明人：曾山正信;沟田友彦;山田充 -专利权人：三星钻石工业股份有限公司
申请日： 2011-12-20 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供薄膜太阳能电池用槽加工工具及该电池的槽加工装置，能够利用简单的机构确保高的加工精度，并且能够高效地加工槽。该薄膜太阳能电池用槽加工工具(2)是保持于保持器(17)并用于与保持器(17)一起沿基板的预定刻划线相对地往复移动而在基板上形成槽的工具。该工具(2)具备保持于保持器(17)的工具主体(36)和刀尖部(37)。刀尖部(37)形成于工具主体(36)的末端部，并在移动方向的前往移动侧的末端和返回移动侧的末端具有刀刃(38a、38b)。另外，刀尖部(37)以其移动方向的宽度随着朝向末端变窄的方式、倾斜且对称地形成对置的前往移动侧的侧面(37a)和返回移动侧的侧面(37b)。
薄膜太阳能电池加工工具电池装置