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[发明专利]检查系统和检查系统中的温度测定方法-CN201880033005.0有效
发明人：望月纯;山崎祯人 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-03-01 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：检查系统(10)具备：检查装置(30)，其具有用于载置基板(W)的载置台(21)，检查装置(30)用于对载置台(21)上的基板(W)进行检查；调温机构(63)，其用于对载置台(21)进行调温；基板收容部(17a)；温度测定基板等待部(17c)，其使温度测定基板(TW)等待；搬送装置(18)，其用于将基板(W)和温度测定基板(TW)搬送至载置台(21)上；以及照相机(16)，其用于载置台(21)上的基板(W)的对准。温度测定基板(TW)在表面具有状态根据温度而变化的温度测定构件(52)，由搬送装置(18)将温度测定基板(TW)搬送至所述载置台，并由照相机(16)拍摄温度测定构件(52)，根据温度测定构件(52)的状态变化来测定温度测定基板(TW)的温度。
检查系统中的温度测定方法

[发明专利]载置台、检查装置和温度校正方法-CN202080038993.5在审
发明人： 山崎祯人;望月纯 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-05-23 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： G01K1/143 文献下载
摘要：本发明提供载置台、检查装置和温度校正方法。载置台是载置被检查基片的载置台，具有多个温度传感器和电极焊盘。多个温度传感器分别测量载置台的多个部位的温度。电极焊盘与温度传感器分别连接，并设置于载置面。
载置台检查装置温度校正方法

[发明专利]接触精度保证方法、接触精度保证机构和检查装置-CN201880089266.4在审
发明人： 山崎祯人;望月纯 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-12-19 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供接触精度保证方法、接触精度保证机构和检查装置。接触精度保证方法包括以下操作：在使探针卡的多个探针与基片接触并用测试器进行基片检查的检查装置中，在载置台上载置具有多个第一标记的位置对准用基片；将位置对准用基片在载置台上进行位置对准；将模拟探针卡的由透明体构成的位置确认用部件安装在探针卡的安装部的规定位置，其中位置确认用部件在与位置对准用基片的第一标记对应的位置具有多个第二标记；使位置对准用基片位于位置确认用部件正下方的接触区域中的规定位置；用拍摄方向为垂直方向的位置确认用摄像机拍摄第二标记和第一标记，来检测第二标记与第一标记的水平方向的偏离，其中位置确认用摄像机设置于与位置确认用部件的上方的第二标记分别对应的位置；以及在该偏离在容许范围内的情况下，保证基片与探针卡的探针的接触精度。
接触精度保证方法机构检查装置