|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 6个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [实用新型]一种感应耦合型等离子体处理装置-CN201520344912.0有效
-
于凌崧;邢云翮;庄文;颜景颢
-
山东专利工程总公司
-
2015-05-26
-
2015-11-11
-
H05H1/46
- 本实用新型公开了一种感应耦合型等离子体处理装置，属于等离子体处理技术领域。本实用新型处理腔室使用超材料顶板，超材料顶板包括基材层和附着在其上的金属线结构单元，在基材选定的情况下，通过改变金属线结构单元的图案、设计尺寸和/或金属线结构单元在空间中的排布获得想要的调制效果，从而可以精确控制超材料所在空间中每一点的调制，进而得到所需的调制；且在超材料顶板上设置超材料突出部，在RF天线的内侧线圈、中间线圈和外侧线圈的正下方分别形成比合成磁场更强的感应磁场；且内侧线圈、中间线圈和外侧线圈对应位置生成的等离子体能够通过施加的激发用RF的功率对等离子体的强度进行控制，处理腔室内的等离子体的控制性显著提高。
- 一种感应耦合等离子体处理装置
- [实用新型]一种电容耦合型等离子体处理装置-CN201520345093.1有效
-
邢云翮;于凌崧;庄文;刘钊
-
山东专利工程总公司
-
2015-05-26
-
2015-10-28
-
H05H1/24
- 本实用新型公开了一种电容耦合型等离子体处理装置，属于等离子体处理技术领域。本实用新型处理腔室顶部的等离子体射流放电阵列包括高压电极、阻挡介质平板和工作气流通道层。阻挡介质平板包括超材料基材层和附着在超材料基材层的金属线结构单元，在基材选定的情况下，通过改变金属线结构单元的图案、设计尺寸和/或金属线结构单元在空间中的排布获得想要的调制效果，即可改变超材料所在空间中每一单元的电磁参数ε和μ，可以设计出空间中每一点的等效电磁参数，相应地得到其等效电容，进而获得每个金属线结构单元自身的响应频率，从而可以精确控制超材料所在空间中每一点的调制，进而实现等离子体密度分布的多样化精细控制。
- 一种电容耦合等离子体处理装置
- [发明专利]一种感应耦合型等离子体处理装置-CN201510273049.9在审
-
于凌崧;王婷;邢云翮;庄文
-
山东专利工程总公司
-
2015-05-26
-
2015-09-16
-
H05H1/46
- 本发明公开了一种感应耦合型等离子体处理装置，属于等离子体处理技术领域。本发明处理腔室使用超材料顶板，超材料顶板包括基材层和附着在其上的金属线结构单元，在基材选定的情况下，通过改变金属线结构单元的图案、设计尺寸和/或金属线结构单元在空间中的排布获得想要的调制效果，从而可以精确控制超材料所在空间中每一点的调制，进而得到所需的调制；且在超材料顶板上设置超材料突出部，在RF天线的内侧线圈、中间线圈和外侧线圈的正下方分别形成比合成磁场更强的感应磁场；且内侧线圈、中间线圈和外侧线圈对应位置生成的等离子体能够通过施加的激发用RF的功率对等离子体的强度进行控制，处理腔室内的等离子体的控制性显著提高。
- 一种感应耦合等离子体处理装置
- [实用新型]蒸酒器-CN00215568.0无效
-
胡德贵;庄建立;邢昱光;商福全
-
山东专利工程总公司
-
2000-07-21
-
2001-05-23
-
C12G3/12
- 本实用新型公开了一种供餐桌上使用的蒸酒器。其特点是壳体中有蒸馏锅和冷却器,蒸馏锅底部和/或四周外壁附着半导体加热薄膜,壳体底部设置举升装置,冷却器内有直通管和冷却盘管,直通管下端与上封口固联,上端与冷却盘管相接,冷却盘管末端接近出酒口处装有三通,与之配装有酒头收集器。该装置的优点是体积小,热效率高,安全可靠,操作方便,对出酒的酒头部分自动清除,保证酒质。适用于家庭、酒店饮酒者自酿自饮。
- 酒器
|
