“小野弘文”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果4个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]常闭型流量控制阀-CN202180093594.3在审
发明人： 小野弘文;山本健太 -专利权人：琳科技股份有限公司
申请日： 2021-10-26 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： F16K31/02 文献下载
摘要：本发明提供一种能够不受热影响地准确且迅速地传递压电元件的长度变化的常闭型流量控制阀，流量控制阀(A)具备基块(1)和阀开闭机构部(10)。基块(1)具备阀室(4)，所述阀室(4)设置有供液体原料L流通的阀座(3)和与该阀座(3)接触或分离而对该阀座(3)进行开闭的隔膜(5)。所述阀开闭机构部(10)具备滑动轴承部(20)、支柱部(30)、压电致动器部(40)、阀动作部(50)。滑动轴承部(20)具备设置于基块1的轴承(24)。支柱部(30)具备支柱(31)，所述支柱(31)滑动自如地插通于轴承(24)，并沿隔膜方向上下移动。压电致动器部(40)装备有压电元件(45)，所述压电元件(45)将支柱部(30)向从隔膜(5)离开的方向推起。通过阀动作部(50)和支柱部(30)的上下移动而对所述隔膜(5)进行开闭驱动。支柱(31)由低热膨胀构件构成。
常闭型流量控制

[发明专利]气化器-CN202080057826.5在审
发明人： 小野弘文;古门龙彦 -专利权人：琳科技股份有限公司
申请日： 2020-03-05 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： H01L21/31 文献下载
摘要：提供一种气化器，为了实现液体原料的高温加热，提高金属制内加热器块与耐热玻璃制的内管的紧贴性，提高从内加热器的导热。气化器(A)由雾化器(7)、气化器主体(Ah)以及加热部(Ak)构成。加热部(Ak)由内加热器块(3)和内加热器(9)构成。内管(2)由耐热玻璃制成，具有比中空的气化器主体(Ah)的内径小的外径。内加热器块(3)由沿着其中心轴(CL)分割的分割体(31～3n)和弹性材料(8)构成。弹性材料(8)配设在分割体(31～3n)之间，以将分割体(31～3n)向分离方向按压施力并使其按压于内管(2)的内周面的方式发挥作用。内加热器(91～9n)分别埋设于所述分割体(31～3n)。
气化

[发明专利]气化器-CN201980035271.1有效
发明人： 小野弘文;八木茂雄;山本健太 -专利权人：琳科技股份有限公司
申请日： 2019-04-22 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：提供在不使用喷雾器的方法中抑制突沸且气化空间的压力变动非常少的气化器。气化器(1)由容器主体(10)、设置于气化器(1)内并被加热的多孔质构件(30)、向多孔质构件(30)供给液体原料(L)的导入管(40)以及将气化的原料气体(G)排出到外部的气体排出路径(7)构成。导入管(40)的出口(41)与多孔质构件(30)接触或接近地配置。出口(41)与多孔质构件(30)接近地配置的情况下的从所述出口(41)到多孔质构件(30)的分离距离(H)在不超过从所述出口(41)到由于表面张力而从所述出口(41)成为液滴并垂下的液体原料(L)的下端的大小的范围内。
气化

[发明专利]能够在低温度下使液体原料气化的液体原料的气化方法与采用了该方法的气化器-CN200680001246.4有效
发明人： 小野弘文 -专利权人：琳科技股份有限公司
申请日： 2006-09-06 - 公布日： 2007-10-24 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本发明的课题在于提供能在低温下将供于CVD装置中成膜的液体原料气化的气化器。气化器(10)具有：被加热器(66)、(76)及(81)加热的气化室(60)，配置在气化室(60)的下端部、被加热器(81)加热的一次过滤器(80)，从气化室(60)的上方向一次过滤器(80)滴下流量调节后的液体原料(LM)的液体原料供给部(24)，向一次过滤器(80)的下面导入载气(CG)的载气导入流路(78)，和从气化室(60)的上部排出载气(CG)与气化的液体原料(VM)的混合气(VM+CG)的原料导出流路(62)。滴到一次过滤器(80)上的液体原料(LM)一部分被气化，又受到来自下方的载气(CG)产生的鼓泡作用而成为雾状。由于雾的表面积比非雾状态大，故液体原料(LM)能高效率地受热，能在低温下将液体原料(LM)气化。
能够温度液体原料气化方法采用