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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]静电卡盘的制造方法和静电卡盘-CN201810736687.3有效
  • 多贺敏;小林義之;永关一也 - 东京毅力科创株式会社
  • 2018-07-06 - 2023-03-10 - H01L21/683
  • 本发明提供一种能够抑制在基板的背面发生的放电的静电卡盘的制造方法和静电卡盘。在该静电卡盘的制造方法中，该静电卡盘通过向第一电极层施加电压来吸附基板，所述静电卡盘的制造方法包括以下步骤：在基台上的第一树脂层上形成所述第一电极层的步骤；以及向所述第一电极层上喷镀陶瓷或含有陶瓷的物质，其中，喷镀所述陶瓷或含有陶瓷的物质的步骤包括以下步骤：利用等离子体生成气体来运送从给料机投入到喷嘴内的喷镀材料的粉末，从喷嘴的前端部的开口喷射该粉末；利用500W～10kW的电力使所喷射的等离子体生成气体解离，来生成与所述喷嘴具有共同的轴芯的等离子体；以及利用生成的等离子体使喷镀材料的粉末以液状在所述第一电极层上成膜。
  • 静电卡盘制造方法
  • [发明专利]等离子体喷镀头、等离子体喷镀装置及等离子体喷镀方法-CN201810581457.4有效
  • 小林義之 - 东京毅力科创株式会社
  • 2018-06-07 - 2021-06-25 - C23C4/134
  • 本发明提供一种能够将多个喷镀枪的间隔配置为狭窄的间隔的等离子体喷镀头、等离子体喷镀装置及等离子体喷镀方法。一个实施方式的等离子体喷镀头利用等离子体来使喷镀材料的粉末熔融，并且利用熔融后的粉末在对象物进行成膜，所述等离子体喷镀头具有喷镀枪和主体部，所述喷镀枪分别包括：喷嘴，其利用等离子体生成气体来运送所述喷镀材料的粉末，并且从前端部的开口喷射该粉末；以及等离子体生成部，其利用由直流电源输出的电力分解由所述喷嘴喷射的所述等离子体生成气体，来生成与所述喷嘴具有共同的芯轴的等离子体，所述主体部将所述多个喷镀枪一体地支承，在该主体部的内部包括供制冷剂流通的制冷剂流路。
  • 等离子体喷镀头装置方法
  •  1 
  • 共 3 条
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