“寺阪正训”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果3个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]液体材料气化装置及其控制方法和程序存储介质-CN202011361749.0在审
发明人： 寺阪正训;本间瞭一;费尔南德斯·亚历山大 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2021-05-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供液体材料气化装置及其控制方法和程序存储介质。液体材料气化装置包括：控制阀(1)，设置于材料流体所流通的流道，所述材料流体为液体材料或液体材料气化得到的材料气体；压力传感器(3)，设置在比所述控制阀(1)更靠下游侧；流量传感器(2)，测定材料流体的流量；以及阀控制器(4)，对所述控制阀进行控制，以使设定压力与所述压力传感器测定的测定压力的偏差变小，并且使所述流量传感器测定的测定流量成为限制流量以下，所述限制流量为根据液体材料可气化的上限流量而设定的流量。
液体材料气化装置及其控制方法程序存储介质

[发明专利]流量计算系统、存储介质、流量计算方法及流量计算装置-CN202010116156.1在审
发明人： 寺阪正训;今村耕治;堀之内修;矶部泰弘 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2020-02-25 - 公布日： 2020-09-04 - 主分类号： G01F25/00 文献下载
摘要：本发明提供流量计算系统、存储介质、流量计算方法及流量计算装置，流量计算系统具备：流体流入的容器；使流体流入容器的流入管路；检测容器内的压力的压力传感器，其还具备：压力变化数据存储部，在从由流入管路开始向容器流入流体开始到停止向容器流入流体为止的流入期间中，存储表示由压力传感器检测到的压力的时间变化的压力变化数据；流量计算部，基于根据压力变化数据计算出的压力的变化率，计算被推定为在流入期间中流过流入管路的流体的推定流量；流量修正部，基于在停止向容器流入流体开始经过了规定时间后由压力传感器检测到的第一压力以及压力变化数据中包含的比第一压力高的第二压力，对由流量计算部计算出的推定流量进行修正。
流量计算系统存储介质计算方法装置

[发明专利]加热汽化系统和加热汽化方法-CN201410218730.9有效
发明人： 寺阪正训 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2014-05-22 - 公布日： 2019-02-05 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本发明提供加热汽化系统和加热汽化方法。所述加热汽化系统(1)具备：容器(2)，通过将材料加热和汽化而生成材料气体；配管(3)，将所述材料气体导出；传感器用流道(3a)，设置在配管(3)上；流量检测部(4a)，具备设置在传感器用流道(3a)上的热式流量传感器(6)，利用所述热式流量传感器(6)测量流过配管(3)的材料气体的流量；流量调节部(4b)，调节流过流量检测部(4a)上游的配管(3)的所述材料气体的流量；以及控制部(4c)，使用流量检测部(4a)的检测结果，控制流量调节部(4b)。
加热汽化系统方法