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[发明专利]一种有机薄膜晶体管加工用化学气相沉淀设备-CN202211203614.0有效
发明人：李强;丁莉峰;桑胜波;冀健龙;张强;袁进霞;宋芋茹;李磊磊 -专利权人：太原理工大学
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： C23C16/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种有机薄膜晶体管加工用化学气相沉淀设备，包括反应腔和上盖，所述反应腔的侧面设置有连通管，并且反应腔的内部设置有加热盘，所述上盖的顶部设置有第一驱动件，所述第一驱动件的输出端延伸至上盖的底部，并且输出端上设置有喷头。本发明中，由刷头组件上的清洁毛辊在气孔内旋转，将附着在气孔内壁上的残留物质刮去，同时通过导向机构带动刷头组件沿着喷头的径向方向移动，使刷头组件可以依次对不同的气孔进行清洁，本设备可以实现自动化的喷头清洁，不仅可以避免频繁打开设备的上盖，减少杂质进入反应腔，还能提高清洁效率，大幅降低工人的劳动量，在减少残留物的同时使设备的工艺参数保持稳定，提高产品的品质。
一种有机薄膜晶体管工用化学沉淀设备

[实用新型]一种高粗糙度电解铜箔过滤装置-CN202220220445.0有效
发明人：丁莉峰;李强;袁进霞;宋芋茹;牛宇岚;薛彦峰;李弘道;董红梅;王琦;赵晓红 -专利权人：太原工业学院
申请日： 2022-01-26 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： C25D21/06 文献下载
摘要：本实用新型适用于电解铜箔技术领域，提供了一种高粗糙度电解铜箔过滤装置，包括框体，框体的内部设置有隔板，隔板的顶部安装有电解箱，电解箱的上方设置有支撑板一，支撑板一的底部安装有多个电动缸，支撑板一和电解箱之间设置有网格箱，隔板的下方设置有过滤箱，过滤箱和电解箱通过进液管相连通；当电解箱中的电解液使用完成后，拧动阀门，使电解箱中的电解液通过进液管流入到过滤箱中，此时粗滤网、活性炭过滤层和细滤网对电解液进行多次过滤，去除其内部的杂质和金属颗粒，若使用者需要再次使用电解液时，开启加压泵，使加压泵将过滤后的电解液吸出，并通过出液管送至到电解箱中，本装置能够对电解液回收利用，节约资源。
一种粗糙电解铜箔过滤装置