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[发明专利]清洗溶剂组合物的再生方法和再生装置、以及被清洗物的清洗方法和清洗系统-CN201880069532.7在审
发明人： 安藤敬二;菅原充 -专利权人：日本瑞翁株式会社
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2020-06-12 - 主分类号： B08B3/14 文献下载
摘要：本发明提供一种能够有效地分离污垢成分的清洗溶剂组合物的再生方法。其为溶解有污垢成分的清洗溶剂组合物的再生方法，清洗溶剂组合物含有氟系溶剂和易燃性有机溶剂，该清洗溶剂组合物的再生方法包含以下工序：工序(A)，使污垢成分从溶解有污垢成分的清洗溶剂组合物中析出，得到包含析出的污垢成分和清洗溶剂组合物的混合物；工序(B)，使混合物与污垢成分亲和材料接触；和工序(C)，从与污垢成分亲和材料接触过的混合物中除去污垢成分得到再生后的清洗溶剂组合物。
清洗溶剂组合再生方法装置以及系统

[发明专利]碱性水溶液的精制方法-CN200580026016.9有效
发明人： 安藤敬二 -专利权人：旭化成化学株式会社
申请日： 2005-08-04 - 公布日： 2007-07-04 - 主分类号： C01D1/32 文献下载
摘要：本发明提供一种碱性水溶液的精制方法，所述精制方法的特征是，通过使纤维状活性炭与碱性水溶液相接触，从而将碱金属和碱土类金属以外的金属成分从该碱性水溶液中除去。本发明还提供一种碱性水溶液的精制装置。本发明具有的效果是，能够将碱性水溶液中的Ni、铁等金属杂质减少到能够使该碱性水溶液作为硅片蚀刻剂使用的程度。
碱性水溶液精制方法